芯片单面刷洗装置及芯片自动清洗设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及芯片刷洗机领域，特别涉及一种芯片单面刷洗装置，包括：芯片固定单元、旋转单元、毛刷单元、和喷水单元。芯片固定单元设置在机架上方，用于固定芯片。旋转单元一端与机架固定，一端与芯片固定单元固定，用于带动芯片固定单元旋转，进而带动芯片旋转。毛刷单元设置在芯片固定单元的周侧，用于刷洗固定在芯片固定单元上的芯片。喷水单元设置在芯片固定单元的周侧，用于冲洗固定在芯片固定单元上的芯片。本实用新型专利技术中，旋转单元旋转带动固定在芯片固定单元上的芯片旋转，同时毛刷相对芯片摆动，刷洗芯片，增加了毛刷与芯片的接触频率，提高了刷洗芯片的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
芯片单面刷洗装置及芯片自动清洗设备
本技术涉及芯片刷洗机领域，特别涉及芯片单面刷洗装置。
技术介绍
传统上，晶圆在经过蚀刻或掺杂植入制程后，会进行清洗制程，一般称之为卡罗制程。其中清洗制程是在包括有数个提供不同化学物质溶液、氨水/过氧化氢混合溶液的槽体的湿式清洗台设备中进行。目前，在晶圆片的刷洗工序中，大部分采用的是人工刷洗，也有部分采用刷洗设备清洗，现有的刷洗设备清洗效率低下，满足不了现有市场的需求。因此，需要提供一种芯片单面刷洗装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种芯片单面刷洗装置，通过旋转单元旋转带动固定在芯片固定单元上的芯片旋转，同时毛刷相对芯片摆动，刷洗芯片，增加了毛刷与芯片的接触频率，提高了刷洗芯片的工作效率，解决了芯片单面刷洗装置效率低下的问题。一种芯片单面刷洗装置，设置在机架上，用于刷洗芯片，包括：芯片固定单元，设置在所述机架上方，用于固定芯片；旋转单元，一端与所述机架固定，一端与所述芯片固定单元固定，用于带动所述芯片固定单元旋转，进而带动所述芯片旋转；毛刷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片单面刷洗装置，设置在机架上，用于刷洗芯片，其特征在于，包括：/n芯片固定单元，设置在所述机架上方，用于固定芯片；/n旋转单元，一端与所述机架固定，一端与所述芯片固定单元固定，用于带动所述芯片固定单元旋转，进而带动所述芯片旋转；/n毛刷单元，设置在所述芯片固定单元的周侧，用于刷洗固定在所述芯片固定单元上的芯片；/n喷水单元，设置在所述芯片固定单元的周侧，用于冲洗固定在所述芯片固定单元上的芯片；/n其中，所述毛刷单元包括与所述机架固定的连接件、和设置在所述连接件底端的毛刷；所述毛刷和所述连接件可旋转的连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片单面刷洗装置，设置在机架上，用于刷洗芯片，其特征在于，包括：
芯片固定单元，设置在所述机架上方，用于固定芯片；
旋转单元，一端与所述机架固定，一端与所述芯片固定单元固定，用于带动所述芯片固定单元旋转，进而带动所述芯片旋转；
毛刷单元，设置在所述芯片固定单元的周侧，用于刷洗固定在所述芯片固定单元上的芯片；
喷水单元，设置在所述芯片固定单元的周侧，用于冲洗固定在所述芯片固定单元上的芯片；
其中，所述毛刷单元包括与所述机架固定的连接件、和设置在所述连接件底端的毛刷；所述毛刷和所述连接件可旋转的连接。


2.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗装置，其特征在于，所述连接件包括第一旋转轴，套设在第一旋转轴上的第一旋转套、和设置在所述第一旋转轴一端的旋转块；所述毛刷通过所述旋转轴旋转。


3.根据权利要求2所述的芯片单面刷洗装置，其特征在于，所述旋转块上呈锐角设置有两个毛刷。


4.根据权利要求3所述的芯片单面刷洗装置，其特征在于，所述喷水单元包括第一喷头和第二喷头；
所述第一喷头贯穿所述毛刷，设置在所述毛刷底部中央；
所述第二喷头设置在所述喷水单元顶部。


5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛小宾，李伟，
申请(专利权)人：深圳市赛平精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44