一种可用于同面及异面电极测试的探针台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可用于同面及异面电极测试的探针台，包括基座，基座上设有载物台，载物台一侧设有测试臂，测试臂与正面探针相连接；所述基座设有贯穿的螺孔，螺孔内设有与螺孔适配的螺杆，螺杆的顶部固定设有背面探针，载物台上设有供背面探针通过的测试通孔。本实用新型专利技术采用三探针异面设计，可满足同面电极器件和异面电极器件的测试需要，应用范围广。广。广。

【技术实现步骤摘要】
一种可用于同面及异面电极测试的探针台


[0001]本技术涉及测试设备，特别是涉及一种可用于同面及异面电极测试的探针台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。通过连接仪器及待测物实现器件的参数提取，通过自带的驱动及测试软件能够独立实现器件的电学特性测试。目前，已有的探针台只能用于测试同面电极器件，而还没有异面电极器件的测试设备。

技术实现思路

[0003]技术目的：本技术的目的是提供一种可用于同面及异面电极测试的探针台，可实现同面电极和异面电极的测试。
[0004]技术方案：本技术的可用于同面及异面电极测试的探针台，包括基座，基座上设有载物台，载物台一侧设有测试臂，测试臂与正面探针相连接；所述基座设有贯穿的螺孔，螺孔内设有与螺孔适配的螺杆，螺杆的顶部固定设有背面探针，载物台上设有供背面探针通过的测试通孔。
[0005]其中，所述螺杆呈倒T型，顶部设有绝缘平台，内部设有中空通道；背面探针穿过绝缘平台，并与中空通道内的导线焊接连接；即：背面探针的上端伸出螺杆顶部的绝缘平台，下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可用于同面及异面电极测试的探针台，其特征在于：包括基座，基座上设有载物台，载物台一侧设有测试臂，测试臂与正面探针相连接；所述基座设有贯穿的螺孔，螺孔内设有与螺孔适配的螺杆，螺杆的顶部固定设有背面探针，载物台上设有供背面探针通过的测试通孔。2.根据权利要求1所述的可用于同面及异面电极测试的探针台，其特征在于：所述螺杆呈倒T型，顶部设有绝缘平台，内部设有中空通道；背面探针穿过绝缘平台，并与中空通道内的导线相焊接。3.根据权利要求1所述的可用于同面及异面电极测试的探针台，其特征在于：测试臂包括主臂和探针臂，探针臂的一端与主臂相连接，探针臂的另一端与导电板相连接，导电板上固定设有正面探针。4.根据权利要求3所述的可用于同面及异面电极测试的探针台，其特征在于：所述主臂和探针臂铰接使探针臂可左右转动，...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏航，王威，支国伟，潘丹成，熊威，季善银，
申请(专利权)人：金陵科技学院，
类型：新型
国别省市：