一种连续不间断的光刻机放料装置制造方法及图纸

一种连续不间断的光刻机放料装置，包括光刻机、输送机台、上输送装置和下输送装置；其中，所述光刻机放料盒包括放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板，所述放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一和放料板二对称设置，并且放料板一和放料板二的相对面上设有一组放料槽，所述一组放料槽沿竖直方向平行设置。本实用新型专利技术的连续不间断的光刻机放料装置，除了能够通过上输送装置和下输送装置能够轮流进行光刻机放料盒的输送外，使用此光刻机放料盒，可满足全自动化光刻机的全自动工作流程，实现光刻机自动化作业，对于厚度很小的基板（硅片/陶瓷片）也有很大程度的保护作用。基板（硅片/陶瓷片）也有很大程度的保护作用。基板（硅片/陶瓷片）也有很大程度的保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种连续不间断的光刻机放料装置


[0001]本技术属于机械基础件及制造
，具体地，涉及一种连续不间断的光刻机放料装置。

技术介绍

[0002]光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
[0003]根据操作的简便性，光刻机一般分为三种，手动、半自动、全自动。
[0004]1、手动光刻机多通过手调旋钮改变其X、Y轴及θ角度完成对准，精度不高。
[0005]2、半自动光刻机可借助电荷耦合元件进行对准。
[0006]3、全自动光刻机多用程序控制基板的上、下载及曝光时长等，可满足工厂批量生产的需求。
[0007]在现在的生产制造企业中，面对大批量生产，多采用全自动光刻机。光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现。由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有保护柜，光刻的过程通常在保护柜内进行。但是，现有的光刻机通常在每次检测前都需要打开柜门以放入原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：包括光刻机（1）、输送机台（2）、上输送装置（3）和下输送装置（4），所述输送机台（2）的一端设置在光刻机（1）的内部，并且输送机台（2）的另一端延伸出光刻机（1）外部，所述上输送装置（3）和下输送装置（4）均沿输送机台（2）的长度方向设置在输送机台（2）上，并且上输送装置（3）和下输送装置（4）的一端位于光刻机（1）内，所述上输送装置（3）位于下输送装置（4）的正上方，所述上输送装置（3）和下输送装置（4）上均设有若干光刻机放料盒（5）；其中，所述光刻机放料盒（5）包括放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）、挡板二（54）和底部支撑板（55），所述放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）和挡板二（54）的截面为矩形，并且放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）和挡板二（54）均固定设置在底部支撑板（55）上，所述放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）、挡板二（54）和底部支撑板（55）构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一（51）和放料板二（52）对称设置，并且放料板一（51）和放料板二（52）的相对面上设有一组放料槽（56），所述一组放料槽（56）沿竖直方向平行设置。2.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述放料槽（56）的截面为等腰梯形。3.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述挡板一（53）和挡板二（54）沿竖直方向的高度小于放料板一（51）和放料板二（52）沿竖直方向的高度。4.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述上输送装置（3）和下输送装置（4）均包括输送驱动组件（31）、传动单元一（32）、传动单元二（33）和输送小车（34），所述输送驱动组件（31）设置在输送机台（2）上，并且输送驱动组件（31）位于输送机台（2）的一端，所述传动单元一（32）和传动单元二（33）分别设置在输送机台（2）两侧的内壁上，所述输送小车（34）分别和传动单元一（32）和传动单元二（33）连接，所述输送小车（34）和输送机台（2）滚动连接。5.根据权利要求4所述的连续不间断的光刻机放料装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：周莹，
申请(专利权)人：镇江晶鼎光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：