一种双层管制造技术

本发明专利技术涉及一种双层管。本发明专利技术内管内部形成流体的输送通道，内管和外管之间的空间形成保温通道；输送通道和保温通道在上游端以流路连通，使流体分流至输送通道和保温通道；保温通道下游具有排液口；输送通道中的流体被继续向下游用户单元输送，保温通道中的流体经排液口被排放出双层管；保温通道中设置支撑体，对内管外侧面和外管内侧面之间的空间高度起到支撑作用。本发明专利技术提高输送流体抵抗环境热干扰的能力，有利于保持流体输送过程中的温度精度。双层管使用与输送流体同源的流体作为保温材料；在保温通道中设置支撑体，有利于保持保温通道截面的均匀延伸；有利于维持保温流体的保温性能。保温性能。保温性能。

【技术实现步骤摘要】
一种双层管


[0001]本专利技术属于流体输送
，涉及一种双层管。

技术介绍

[0002]在半导体等精密制造领域，经常需要对流体进行精密的温度控制。例如，浸没式光刻机需要向曝光空间持续供给温度波动幅度小于0.01℃的超纯水以保证水的光学性质均一；又如，浸没式光刻机还使用流体流对设备内部环境和零部件进行温度控制，包括向工件台供给恒温水流，使工件台的温度维持在22℃附近，以及包括向投影物镜系统供给较低温度的惰性气体流使镜片被冷却。在这些场合，可能需要流体流具有高度的温度精度，例如流体流的温度随时间波动的幅度小于0.1℃甚至小于0.01℃。在输送流体的过程中，环境中的热扰动会降低流体的温度精度，导致流体从流体源输送至用户单元后温度精度不能满足使用需求。
[0003]解决流体在输送过程中受到热扰动问题的方法之一是对流体管道采取保温措施，降低流体与环境之间发生的热交换。现有的对流体管道进行保温的技术方案有在流体管道外部包覆聚氨酯等发泡材料，但是包覆发泡材料容易产生碎屑污染物，在高洁净度的半导体工业中是不利的；而且包覆操作容易存在包覆厚度不均匀、贴附不可靠等问题，降低对流体管道的保温可靠性。一种改进的管道保温方案是在流体管道外侧再设置一层管道，并且在两层管道之间的夹层空间填充保温材料(例如授权公告号为CN203585592U的中国技术专利)，这种方法可以保证包覆在流体管道外侧的保温材料的均匀性，但是往往需要定制，成本相对较高，而且受限于保温材料的保温性能和体积等因素，可能仍然难以满足流体温度精度要求高的场合。/>[0004]公开号为CN105465554A的中国专利技术专利申请公开了一种用于物料输送的保温双层管管路装置，采用双层管道设置，内层管道内部用于输送受保温的物料，内层管道和外层管道之间的空间供给循环蒸汽实现对物料的保温。这种方案改善了保温性能的均匀性，并且可以根据保温需求调整蒸汽的供给参数。但是这种方案需要额外增加一套蒸汽制备和循环系统，成本较高。
[0005]另外，现有的可以在保温层填充流体的保温双层管一般采用形状固定的硬质管道，往往需要定制管道及相应的接头，成本较高；而且在对管线布置灵活性要求高的设备内部空间或者现场装配场合下使用不便。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的就是提供一种双层管，双层流体管道使用软质的管道，并且内管和外管分离，可以根据现场情况便捷地组装为双层管，并进一步用于对远距离输送流体的保温应用。
[0007]本专利技术包括内管和外管，内管位于外管内部，内管内部形成流体的输送通道，内管和外管之间的空间形成保温通道；输送通道和保温通道在上游端以流路连通，使流体分流
至输送通道和保温通道；保温通道下游具有排液口；输送通道中的流体被继续向下游用户单元输送，保温通道中的流体经排液口被排放出双层管；保温通道中设置支撑体，对内管外侧面和外管内侧面之间的空间高度起到支撑作用。
[0008]所述内管和外管是软质材料。
[0009]所述内管和外管材料包含含氟塑料。
[0010]所述内管的外侧壁面向外延伸形成所述支撑体，支撑体在周向上具有间隔，支撑体之间的间隔沿轴向延伸形成贯通空间。
[0011]所述支撑体外侧面与外观内侧面之间存在间隙。
[0012]所述支撑体的径向内侧宽度大于径向外侧宽度。
[0013]所述支撑体在轴向上是不连续的。
[0014]所述支撑体呈径向内侧宽而径向外侧窄的梯形凸台结构。
[0015]多个所述支撑体由连接体连接为支撑管，支撑管置于内管和外管之间的空间。
[0016]所述连接体包括纬线连接体和经线连接体，支撑体在周向上通过纬线连接体连接并保持一定间隔，支撑体在轴向上通过经线连接体连接并保持一定间隔。
[0017]使用本专利技术所述的双层管，设置保温层包裹在输送流体外部，能够提高输送流体抵抗环境热干扰的能力，有利于保持流体输送过程中的温度精度。双层管使用与输送流体同源的流体作为保温材料，不需要额外的保温流体以及配套的供给系统；持续更新保温流体，使保温流体具有最接近于输送流体的温度，有利于维持保温流体的保温性能。在保温通道中设置支撑体，使双层管弯折处的保温通道截面不会发生显著改变，有利于保持保温通道截面的均匀延伸，有利于维持保温流体的保温性能。
附图说明
[0018]图1为本专利技术实施例一的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术实施例一的右视结构示意图；
[0020]图3为本专利技术实施例二的结构示意图；
[0021]图4为本专利技术实施例三的A型管接头结构示意图；
[0022]图5为本专利技术实施例三的B型管接头结构示意图；
[0023]图6为本专利技术实施例三的B型管接头结构示意图；
[0024]图7为本专利技术实施例三的的管接头的安装方法；
[0025]图8为软质双层管在折弯处出现接触的示意图；
[0026]图9为本专利技术实施例五的结构示意图；
[0027]图10为本专利技术实施例五的装配示意图；
[0028]图11为本专利技术实施例五的装配示意图；
[0029]图12为本专利技术实施例六的结构示意图；
[0030]图13为本专利技术实施例六的一种支撑体结构示意图；
[0031]图14为本专利技术实施例七的结构示意图。
具体实施方式
[0032]实施例一
[0033]如图1和图2所示，一种双层管1A，包括内管13和外管15，内管13位于外管15内部，内管13和外管15基本等长；内管13内部形成流体的输送通道14，内管13和外管15之间的空间形成保温通道16；保温通道16的上游具有输送进口11，下游具有输送出口12；内管13的上游具有内外通孔161，内外通孔161连通输送通道14和保温通道16；保温通道16的下游设置排液端162，排液端162具有排液口163，用于将保温通道16中的流体排出到管外。
[0034]被输送的流体经输送进口11进入双层管1A后，一部分流体沿输送通道14向下游流动，经输送出口12流出双层管1A；另一部分流体穿过内外通孔161进入保温通道16，沿保温通道16向下游流动，经排液口163排出保温通道16。保温通道16中的流体接受外部环境的热扰动产生温度改变，这种温度改变的幅度是沿管道径向向内逐渐减小的，因此保温通道16中靠近内管13的流体具有较小的温度改变幅度；由于内管阻隔了输送通道14和保温通道16中的流体之间的对流，因此削弱了环境热扰动经热对流影响输送通道14中的流体温度的路径，有利于输送通道14中流体的温度保持；在双层管1A的下游，保温通道16中的流体相对输送通道14中的流体的温度精度更低，将输送通道14中的流体继续向下游的用户单元输送，将保温通道16中的流体排放。使保温通道16中的流体也不断流动更新，可以避免保温通道16中的流体不断积累环境热干扰形成温度漂移，有利于减小保温通道16和输送通道14中流体的温度差，有利于对输送通道14中流体的保温。由于保温通道16与输送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双层管，包括内管和外管，其特征在于：内管位于外管内部，内管内部形成流体的输送通道，内管和外管之间的空间形成保温通道；输送通道和保温通道在上游端以流路连通，使流体分流至输送通道和保温通道；保温通道下游具有排液口；输送通道中的流体被继续向下游用户单元输送，保温通道中的流体经排液口被排放出双层管；保温通道中设置支撑体，对内管外侧面和外管内侧面之间的空间高度起到支撑作用。2.如权利要求1所述的双层管，其特征在于：所述内管和外管是软质材料。3.如权利要求1所述的双层管，其特征在于：所述内管和外管材料包含含氟塑料。4.如权利要求1所述的双层管，其特征在于：所述内管的外侧壁面向外延伸形成所述支撑体，支撑体在周向上具有间隔，支撑体之间的间隔沿轴向延...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴敏，彭杰峰，徐宁，付新，
申请(专利权)人：浙江启尔机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：