一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于激光加工技术领域，涉及一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置，包括腔体、中空旋转平台、旋转轴、摆臂、喷嘴装置和管路组件，腔体围合形成有容腔，中空旋转平台安装于腔体上并位于腔体的外围，旋转轴的输入端与中空旋转平台插接，输出端伸至容腔内，旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，驱动装置设置于中空旋转平台上；于容腔内，摆臂连接于旋转轴的输出端，喷嘴装置设置于摆臂上；在驱动装置的驱动下，旋转轴旋转以带动摆臂摆动，整个摆动过程，因喷射液是从外部管路顺着旋转轴依次传送到腔体内的管路组件和喷嘴装置中，管路组件并没有与腔体接触，故可避免发生摩擦破损，利于减少维护和清理工作，以及提高整个的稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置


[0001]本专利技术涉及激光加工
，尤其涉及一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置。

技术介绍

[0002]在高速电子元器件制备时，已逐渐采用低介电常数膜及铜质材料作为晶圆材料，但是这些晶圆难以使用普通的金刚石刀片进行切割加工。通常采用冷加工的激光开槽技术进行切割，具体地，将短脉冲激光聚焦到晶圆表面后进行照射，激光脉冲被低介质常数膜连续吸收，但吸收到一定程度的热能后，低介电常数膜会瞬间汽化，由于相互作用的原理，被汽化的物质会消耗掉晶片的热能，以此实现微热影响的冷加工。为提高生产效率，有效地防止因崩缺、表层脱落等不良因素造成的加工质量问题，更进一步地，通常采用短脉冲激光先在切割道内刻蚀，形成凹槽；然后再使用金刚石刀片在凹槽中间区域实施全切割加工，从而将晶圆切割成若干个小的晶粒。
[0003]目前，晶圆激光开槽工艺一般包含晶圆涂胶(如给晶圆涂覆保护液，后续可简称为胶水)、晶圆激光开槽(利用激光刻蚀，形成凹槽)和晶圆清洗(利用纯水将保护液和激光开槽产生的杂质清洗掉)这三个工序。其中涂胶或清洗工序需使用喷嘴摆臂机构来完成，且在运行过程中摆臂机构会进行0
°
～100
°
的旋转。然而，在现有的涂胶装置或清洗装置中，涂胶液或清洗液等的输送管道均需走腔体的内壁开设的走线孔，因摆臂机构的旋转较频繁，这些输送管道在与腔体内壁的频繁摩擦中必然容易发生破损，故此，不利于进行涂胶或清洗，同时，也需操作人员经常对这些输送管道进行维护以及及时地清理(输送管路破损后，胶水流出，一段时间内会固化，摆臂机构、涂胶腔和清洗腔的内部残留有胶块，清理时费时费力)。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例的目的在于提供一种旋转式液体喷射装置，用于解决现有的涂胶装置或清洗装置的输送管道容易破损，不利于进行涂胶或清洗，以及需经常维护和及时清理的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种旋转式液体喷射装置，采用了如下所述的技术方案：
[0006]该旋转式液体喷射装置包括支架、腔体、摆臂组件、喷嘴装置和管路组件；
[0007]所述腔体设置于所述支架上，并围合形成有用于容置工件的容腔；
[0008]所述摆臂组件包括安装框架、中空旋转平台、旋转轴、摆臂和驱动装置，所述安装框架设置于所述腔体上并位于所述腔体的外围；
[0009]所述中空旋转平台安装于所述安装框架上，所述中空旋转平台沿其轴线方向开设有安装通孔；
[0010]所述旋转轴的输入端通过插接于所述安装通孔以安装于所述中空旋转平台上，输
出端伸至所述容腔内；所述旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，于靠近所述旋转轴的输入端的一端，所述输送通孔能通过连接头与外部管路连通；
[0011]所述摆臂具有连接端和自由端，于所述容腔内，所述摆臂的连接端连接于所述旋转轴的输出端上；
[0012]所述驱动装置设置于所述中空旋转平台上，用于驱动所述旋转轴旋转以带动所述摆臂在预定范围内摆动；
[0013]所述喷嘴装置在所述容腔内设置于所述摆臂的自由端上；
[0014]于靠近所述旋转轴的输出端的一侧，所述管路组件的一端连通所述旋转轴的所述输送通孔，另一端连通所述喷嘴装置。
[0015]在一些实施例中，所述中空旋转平台包括旋转定子、旋转动子和安装座，所述旋转定子沿其中心轴线开设有第一通孔，所述旋转动子沿其中心轴线开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相通，并共同形成所述安装通孔；
[0016]所述旋转定子设置于所述安装框架上，所述旋转动子以其轴线为转动中心转动设置于所述旋转定子的顶面上，所述安装座设置于所述旋转定子的底面上并位于所述第一通孔的外围；
[0017]所述驱动装置安装于所述安装座上，用于驱动所述旋转动子带动所述旋转轴旋转。
[0018]在一些实施例中，所述安装框架包括安装板、固定板和两个相对设置的立板，所述安装板和所述固定板水平设置，各所述立板的顶端和底端分别连接于所述安装板和所述固定板的同一侧上；所述安装框架形成有安装腔；
[0019]所述中空旋转平台的旋转定子和旋转动子容置于所述安装腔内；所述旋转轴的输入端伸出所述安装板，输出端伸出所述固定板。
[0020]在一些实施例中，所述旋转式液体喷射装置包括感应装置，所述感应装置包括固定座和感应器，所述固定座设置于所述中空旋转平台上并设置有一个所述感应器；所述安装板上还设置有所述感应器。
[0021]在一些实施例中，所述喷嘴装置包括第一喷嘴组件，所述第一喷嘴组件包括设置于所述摆臂一侧上的涂胶喷嘴和第一管接头，所述管路组件包括第一管路和第二管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第一管路的一端，所述第一管接头的一端连接有所述第一管路的另一端；所述第一管接头的另一端连接有所述第二管路的一端，所述涂胶喷嘴的靠近第一管接头的一端连接有所述第二管路的另一端。
[0022]在一些实施例中，所述第一喷嘴组件还包括设置于所述摆臂上的第一转接块，所述第一转接块与所述涂胶喷嘴位于所述摆臂的同一侧上；所述第一转接块上设置有至少两个所述第一管接头，用于不同管径的所述第一管接头的转换。
[0023]在一些实施例中，所述输送通孔设置有多个，所述旋转轴的输出端上设置有多个第三管接头，各所述第三管接头与对应的所述输送通孔连通；所述第一管路的一端连接于对应的所述第三管接头上，并与所述输送通孔相通。
[0024]在一些实施例中，所述喷嘴装置还包括第二喷嘴组件，所述第二喷嘴组件包括设置于所述摆臂另一侧上的清洗喷嘴和第二管接头，所述管路组件还包括第三管路和第四管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第三管路的一端，所述第二管接头的一端连接有所
述第三管路的另一端；所述第二管接头的另一端连接有所述第四管路的一端，所述清洗喷嘴的靠近所述第二管接头的一端连接有所述第四管路的另一端。
[0025]在一些实施例中，所述旋转式液体喷射装置还包括载台和移动组件，所述腔体的底部开设有与所述容腔相通的开口；所述载台设置于所述移动组件上，所述移动组件与所述腔体相互独立设置，所述移动组件能穿过所述开口伸至所述容腔内，用于带动所述载台在所述容腔内进行升降及旋转运动。
[0026]为了解决上述技术问题，本专利技术实施例还提供了一种激光加工装置，采用如下所述的技术方案：所述激光加工装置包括上述的旋转式液体喷射装置。
[0027]与现有技术相比，本专利技术实施例提供的旋转式液体喷射装置及激光加工装置主要有以下有益效果：
[0028]该旋转式液体喷射装置通过将中空旋转平台设置在腔体上并位于腔体的外围，并将旋转轴的输入端插接于中空旋转平台的安装通孔，输出端伸至容腔内，以此在驱动装置的驱动下，旋转轴发生旋转以带动与之连接并设置有喷嘴装置的摆臂在预定范围内摆动，在喷嘴装置摆动工作的过程中，因喷射液是从外部管路顺着位于腔体外的旋转轴的输入端通过旋转轴的输送通孔依次传送到腔体内的管路组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转式液体喷射装置，其特征在于，包括支架、腔体、摆臂组件、喷嘴装置和管路组件；所述腔体设置于所述支架上，并围合形成有用于容置工件的容腔；所述摆臂组件包括安装框架、中空旋转平台、旋转轴、摆臂和驱动装置，所述安装框架设置于所述腔体上并位于所述腔体的外围；所述中空旋转平台安装于所述安装框架上，所述中空旋转平台沿其轴线方向开设有安装通孔；所述旋转轴的输入端通过插接于所述安装通孔以安装于所述中空旋转平台上，输出端伸至所述容腔内；所述旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，于靠近所述旋转轴的输入端的一端，所述输送通孔能通过连接头与外部管路连通；所述摆臂具有连接端和自由端，于所述容腔内，所述摆臂的连接端连接于所述旋转轴的输出端上；所述驱动装置设置于所述中空旋转平台上，用于驱动所述旋转轴旋转以带动所述摆臂在预定范围内摆动；所述喷嘴装置在所述容腔内设置于所述摆臂的自由端上；于靠近所述旋转轴的输出端的一侧，所述管路组件的一端连通所述旋转轴的所述输送通孔，另一端连通所述喷嘴装置。2.根据权利要求1所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述中空旋转平台包括旋转定子、旋转动子和安装座，所述旋转定子沿其中心轴线开设有第一通孔，所述旋转动子沿其中心轴线开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相通，并共同形成所述安装通孔；所述旋转定子设置于所述安装框架上，所述旋转动子以其轴线为转动中心转动设置于所述旋转定子的顶面上，所述安装座设置于所述旋转定子的底面上并位于所述第一通孔的外围；所述驱动装置安装于所述安装座上，用于驱动所述旋转动子带动所述旋转轴旋转。3.根据权利要求2所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述安装框架包括安装板、固定板和两个相对设置的立板，所述安装板和所述固定板水平设置，各所述立板的顶端和底端分别连接于所述安装板和所述固定板的同一侧上；所述安装框架形成有安装腔；所述中空旋转平台的旋转定子和旋转动子容置于所述安装腔内；所述旋转轴的输入端伸出所述安装板，输出端伸出所述固定板。4.根据权利要求3所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述旋转式液体喷射装置包括感应装置，所述感应装置包括固...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，杨楚风，柳啸，熊胜亮，陈畅，王亭入，安珂，卢红利，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：