一种硅柱生产用检测设备制造技术

本发明专利技术涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种硅柱生产用检测设备，其通过对硅柱进行自动检测，可有效节省人工检测时的时间，简化检测方式，提高工作效率，节省人力，同时设备稳定性较高，有效提高检测精度和检测质量，提高实用性和可靠性；包括工作台、转动台、弓形架、中控箱和两组螺套，转动台的底端外侧为阶梯型，转动台的底端中部转动安装在工作台上，转动台的底端外侧与工作台分离，转动台的顶部连通设置有定位槽，定位槽的内壁上侧设置为斜面，转动台的底端外侧设置有动力装置，动力装置的底部固定在工作台上。置的底部固定在工作台上。置的底部固定在工作台上。

【技术实现步骤摘要】
一种硅柱生产用检测设备


[0001]本专利技术涉及检测设备的
，特别是涉及一种硅柱生产用检测设备。

技术介绍

[0002]众所周知，硅柱主要是生产电子元件晶圆的基础材料，硅柱主要由硅元素组成，为保证晶圆的圆周度达到规定要求，需对生产后的硅柱外壁的圆周度进行检测，现有检测方式主要是工人通过卡尺对硅柱上不同高度和不同角度的外壁直径进行检测，然而采用此种方式时，工人手的稳定性较差，卡尺容易发生倾斜，导致检测值出现偏差，检测精度和质量较差，同时人工检测的方式较为繁琐，检测速度较低，影响工作效率。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种通过对硅柱进行自动检测，可有效节省人工检测时的时间，简化检测方式，提高工作效率，节省人力，同时设备稳定性较高，有效提高检测精度和检测质量，提高实用性和可靠性的硅柱生产用检测设备。
[0004]本专利技术的一种硅柱生产用检测设备，包括工作台、转动台、弓形架、中控箱和两组螺套，转动台的底端外侧为阶梯型，转动台的底端中部转动安装在工作台上，转动台的底端外侧与工作台分离，转动台的顶部连通设置有定位槽，定位槽的内壁上侧设置为斜面，转动台的底端外侧设置有动力装置，动力装置的底部固定在工作台上，转动台的外侧壁左侧和右侧均设置有抱紧装置，两组抱紧装置的安装方向相反，弓形架的底部左侧和右侧分别安装在工作台的左侧和右侧，中控箱安装在弓形架的左侧，两组螺套分别转动安装在弓形架的顶部左侧和右侧，两组螺套的顶部和底部均伸出至弓形架的外侧，两组螺套上均螺装套设有螺杆，两组螺杆的顶部设置有第一连接板，两组螺套的外壁上侧均固定有外齿套，两组外齿套均位于弓形架的上方，两组外齿套的外侧设置有动力环，动力环的外侧壁上侧设置为倾斜面，动力环的倾斜面上和动力环的内壁上均设置有齿，动力环内壁上的齿分别与两组外齿套的外侧啮合，动力环的底部前侧和后侧均滑动设置有滑槽板，两组滑槽板的底部均设置有第二连接板，两组第二连接板的内测均固定在弓形架上，弓形架的顶部左侧设置有第一电机，第一电机的右侧输出端设置有第一锥齿轮，第一锥齿轮的底部与动力环倾斜面左侧上的齿啮合，两组螺杆的底部均设置有移动板，两组移动板的外侧均设置有滑块，两组滑块的外侧均滑动设置有导轨，两组导轨的外侧均竖向安装在弓形架的内壁左侧和右侧，两组滑块上均设置有第一油缸推杆，两组第一油缸推杆的位置分别与两组移动板的位置对应，两组第一油缸推杆的内测输出端上均设置有压力计，两组压力计的内测均设置有激光测距仪，中控箱分别与动力装置、抱紧装置、第一电机、第一油缸推杆、压力计和激光测距仪信号连接；将外界硅柱的底部放入转动台内的定位槽内，转动台上的斜面可对硅柱底部进行导向，中控箱控制两组抱紧装置对硅柱进行固定，中控箱控制打开动力装置，动力装置带动转动台和硅柱进行转动，转动台在工作台上转动，中控箱通过两组第一油缸推杆控制两组压力计和两组激光测距仪相互接近，两组激光测距仪的内测均与硅柱的外壁接近，
中控箱控制打开两组激光测距仪，两组激光测距仪分别对两组激光测距仪与硅柱外壁之间的距离进行检测并将检测值传递至中控箱内，由于硅柱处于转动状态，两组激光测距仪可对硅柱外壁圆周方向的距离进行实时检测，从而根据检测值的变化范围来检测硅柱在规定高度的圆周度，中控箱控制打开第一电机，第一电机通过第一锥齿轮带动动力环转动，动力环在两组滑槽板上滑动，动力环同步带动两组外齿套转动，两组外齿套带动两组螺套转动，两组螺套分别与两组第一连接板螺装连接，两组螺套同步推动两组螺杆进行上下移动，两组螺杆带动第一连接板进行上下移动，同时两组螺杆带动两组移动板进行同步上下移动，两组移动板带动两组滑块分别在两组导轨上滑动，两组滑块带动两组第一油缸推杆、两组压力计和两组激光测距仪进行同步移动，两组激光测距仪的内测可对硅柱外壁不同高度位置进行圆周度检测工作，从而对硅柱外壁进行全面检测处理，当两组激光测距仪的内侧与硅柱的外壁接触时，两组激光测距仪可对两组压力计产生挤压力，两组压力计将挤压接触信号传递至中控箱内，中控箱控制第一电机停止运行，两组激光测距仪停止移动，此时硅柱处于倾斜状态，重新调整硅柱安装位置，从而提高对硅柱的检测效果，通过对硅柱进行自动检测，可有效节省人工检测时的时间，简化检测方式，提高工作效率，节省人力，同时设备稳定性较高，有效提高检测精度和检测质量，提高实用性和可靠性。
[0005]本专利技术的一种硅柱生产用检测设备，动力装置包括两组第一转轴、两组蜗杆、两组第二锥齿轮、第二转轴、两组第三锥齿轮和第二电机，转动台的底端外侧环形均匀设置有多组齿，两组第一转轴分别位于转动台的前下侧和后下侧，两组第一转轴的左侧和右侧均转动设置有第三连接板，两组第一转轴的左端均穿过左侧两组第三连接板，四组第三连接板的底部均固定在工作台上，两组第一转轴的左端均穿过左侧两组第三连接板，两组蜗杆分别安装在两组第一转轴的右侧，两组蜗杆分别位于右侧两组第三连接板的左方，两组蜗杆的顶部分别与转动台底部前侧的齿和后侧的齿啮合，两组第二锥齿轮分别安装在两组第一转轴的左端，第二转轴位于两组第二锥齿轮的左方，两组第三锥齿轮分别安装在第二转轴的前侧和后侧，两组第三锥齿轮分别与两组第二锥齿轮啮合，第二转轴的前端和后端分别转动设置有第四连接板，两组第四连接板的底部均固定在工作台上，第二电机安装在工作台上，第二电机的后侧输出端穿过前侧第四连接板并与第二转轴的前端传动连接，第二电机与中控箱信号连接；中控箱控制打开第二电机，第二电机带动第二转轴和两组第三锥齿轮转动，两组第三锥齿轮分别与两组第二锥齿轮啮合，两组第三锥齿轮分别通过两组第二锥齿轮带动两组第一转轴和两组蜗杆转动，两组蜗杆转动方向相反，两组蜗杆均与转动台上的齿啮合，两组蜗杆同步带动转动台转动，从而带动转动台内的硅柱转动，提高适应性。
[0006]本专利技术的一种硅柱生产用检测设备，抱紧装置包括两组第五连接板、两组第二油缸推杆、弧形推板、弧形夹板和三组第六连接板，左侧抱紧装置上的两组第五连接板分别按安装在转动台侧壁前侧和后侧，两组第二油缸推杆的右侧分别安装在两组第五连接板上，弧形推板的前侧和后侧分别安装在两组第二油缸推杆的左侧，弧形夹板位于弧形推板的右上方并通过三组第六连接板固定在弧形推板上，两组第二油缸推杆均与中控箱信号连接；中控箱控制两组第二油缸推杆拉动弧形推板向右移动，弧形推板通过三组第六连接板带动弧形夹板向右移动，弧形夹板的内壁与硅柱的外壁接触，从而使两组抱紧装置上的弧形夹板对硅柱外壁两侧进行抱紧固定处理，方便对硅柱进行固定，提高实用性。
[0007]本专利技术的一种硅柱生产用检测设备，还包括两组第一导向杆和两组连接块，两组
移动板的内侧均连通设置有导向槽，两组导向槽的底部分别与两组移动板的底部连通，两组第一导向杆分别滑动位于两组导向槽内，两组连接块的底部分别安装在两组压力计上，两组连接块的顶部均穿过两组导向槽的底部并分别安装在两组第一导向杆上；两组压力计移动时，两组压力计分别通过两组连接块带动两组第一导向杆在两组导向槽内滑动，通过设置两组第一导向杆、两组连接块和两组导向槽，可方便对两组压力计本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅柱生产用检测设备，其特征在于，包括工作台(1)、转动台(2)、弓形架(3)、中控箱(4)和两组螺套(5)，转动台(2)的底端外侧为阶梯型，转动台(2)的底端中部转动安装在工作台(1)上，转动台(2)的底端外侧与工作台(1)分离，转动台(2)的顶部连通设置有定位槽，定位槽的内壁上侧设置为斜面，转动台(2)的底端外侧设置有动力装置，动力装置的底部固定在工作台(1)上，转动台(2)的外侧壁左侧和右侧均设置有抱紧装置，两组抱紧装置的安装方向相反，弓形架(3)的底部左侧和右侧分别安装在工作台(1)的左侧和右侧，中控箱(4)安装在弓形架(3)的左侧，两组螺套(5)分别转动安装在弓形架(3)的顶部左侧和右侧，两组螺套(5)的顶部和底部均伸出至弓形架(3)的外侧，两组螺套(5)上均螺装套设有螺杆(6)，两组螺杆(6)的顶部设置有第一连接板(7)，两组螺套(5)的外壁上侧均固定有外齿套(8)，两组外齿套(8)均位于弓形架(3)的上方，两组外齿套(8)的外侧设置有动力环(9)，动力环(9)的外侧壁上侧设置为倾斜面，动力环(9)的倾斜面上和动力环(9)的内壁上均设置有齿，动力环(9)内壁上的齿分别与两组外齿套(8)的外侧啮合，动力环(9)的底部前侧和后侧均滑动设置有滑槽板(10)，两组滑槽板(10)的底部均设置有第二连接板(11)，两组第二连接板(11)的内测均固定在弓形架(3)上，弓形架(3)的顶部左侧设置有第一电机(12)，第一电机(12)的右侧输出端设置有第一锥齿轮(13)，第一锥齿轮(13)的底部与动力环(9)倾斜面左侧上的齿啮合，两组螺杆(6)的底部均设置有移动板(14)，两组移动板(14)的外侧均设置有滑块(15)，两组滑块(15)的外侧均滑动设置有导轨(16)，两组导轨(16)的外侧均竖向安装在弓形架(3)的内壁左侧和右侧，两组滑块(15)上均设置有第一油缸推杆(17)，两组第一油缸推杆(17)的位置分别与两组移动板(14)的位置对应，两组第一油缸推杆(17)的内测输出端上均设置有压力计(18)，两组压力计(18)的内测均设置有激光测距仪(19)，中控箱(4)分别与动力装置、抱紧装置、第一电机(12)、第一油缸推杆(17)、压力计(18)和激光测距仪(19)信号连接。2.如权利要求1所述的一种硅柱生产用检测设备，其特征在于，动力装置包括两组第一转轴(20)、两组蜗杆(22)、两组第二锥齿轮(23)、第二转轴(24)、两组第三锥齿轮(25)和第二电机(27)，转动台(2)的底端外侧环形均匀设置有多组齿，两组第一转轴(20)分别位于转动台(2)的前下侧和后下侧，两组第一转轴(20)的左侧和右侧均转动设置有第三连接板(21)，两组第一转轴(20)的左端均穿过左侧两组第三连接板(21)，四组第三连接板(21)的底部均固定在工作台(1)上，两组第一转轴(20)的左端均穿过左侧两组第三连接板(21)，两组蜗杆(22)分别安装在两组第一转轴(20)的右侧，两组蜗杆(22)分别位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴禹凡，高洪庆，
申请(专利权)人：太仓治誓机械设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：