一种晶圆自动预对准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆、第一滑轨、固定架、顶柱、承片台、第一电机、真空泵、第二滑轨、第二电机、第一固定块、第一传感器、第二传感器、螺母块、第一固定板、第二固定块、垫板、第一滑块、第三固定块、丝杆、第二固定板、第一支撑板、第二滑块、挡块、联轴器、盖板、第二支撑板、底板、外壳、第二凹槽和第五固定块，该实用新型专利技术利用真空泵通过管道抽取吸气口内部的空气，实现晶圆被吸附在承片台上，有利于晶圆的快速定位装夹，该装置利用第一电机带动晶圆沿X方向运动，利用电机升降杆的升降带动晶圆沿Y方向运动，配合第一传感器和第二传感器的检测，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。有利于提高工作效率。有利于提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动预对准装置


[0001]本技术涉及IC制造
，具体为一种晶圆自动预对准装置。

技术介绍

[0002]晶圆预对准是半导体制造的重要环节之一,预对准机用来检测晶圆的偏心及缺口(或切边)并实现单个晶圆的定位以及晶圆之间的一致性,对半导体制造精度的保证起到了重要作用。
[0003]随着晶圆尺寸的提高,对晶圆预对准的精度要求也相应提高,因此,有必要对晶圆预对准的相关技术进行系统研究，一般的绷膜环晶圆预对准机构定位装夹复杂，工序多，工作效率低下，耗费大量时间；传统的绷膜环晶圆预对准机构定心对准的精度和效率都很低，并且部分步骤还需要人工操作，不能实现自动定心对准。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆自动预对准装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆、第一滑轨、固定架、顶柱、承片台、第一电机、真空泵、第二滑轨、第二电机、第一固定块、第一传感器、第二传感器、螺母块、第一固定板、第二固定块、垫板、第一滑块、第三固定块、丝杆、第二固定板、第一支撑板、第二滑块、挡块、联轴器、盖板、第二支撑板、底板、外壳、第一通孔、第二通孔、第四固定块、支撑臂、固定口、吸气口、第一凹槽、第二凹槽和第五固定块，所述底板顶部一侧靠近侧边位置与第二支撑板底部焊接，所述第二支撑板一侧底部与第一电机底部固定连接，所述第一电机输出端与联轴器一端固定连接，所述联轴器另一端与丝杆一端固定连接，所述丝杆中心一侧贯穿第一固定块中心，所述第一固定块与丝杆中心一端通过轴承转动连接，且第一固定块底部与第二滑轨顶部一侧固定连接，所述第二滑轨底部与底板顶部焊接，所述丝杆中部套接有螺母块，所述丝杆另一端与第三固定块中心套接，所述第三固定块与丝杆通过轴承转动连接，所述螺母块底部与第一滑块顶部固定连接，所述第一滑块位于第二滑轨上方，所述螺母块顶部与垫板底部通过螺栓固定连接，所述垫板顶部两侧与第二固定块底部焊接，所述第二固定块顶部与第一固定板底部通过螺栓固定连接，所述第一固定板顶部与第二电机底部通过螺栓固定连接，所述第二电机输出端与承片台底部固定连接，所述承片台顶部中心开设有若干吸气口，所述吸气口一侧设置有固定口，所述底板顶部位于第二支撑板相邻一侧与第二固定板底部通过螺栓固定连接，所述第二固定板顶部一侧与第一支撑板底部焊接，所述第一支撑板一侧与第一滑轨一侧固定连接，所述第一支撑板一侧顶部与挡块一侧固定连接，所述第二固定板顶部中心与电机升降杆底部焊接，所述电机升降杆输出端与第二滑块底部固定连接，所述第二滑块一侧与第一滑轨另一侧贴合，所述第一滑轨顶部与固定架底部通过螺栓固定连接，所述固定架顶部与顶柱底部固定连接，所述底板顶部位于第一支撑板相对一侧与真空泵底部
固定连接。
[0006]进一步的，所述底板四条边位置分别开设有若干第一凹槽，所述第一凹槽一侧与外壳底部一侧贴合，所述外壳底部与底板通过螺栓固定连接，所述外壳顶部一侧与支撑臂底部固定焊接，所述支撑臂顶部中心开设有第二凹槽，所述第二凹槽底部一侧与第四固定块底部通过螺栓固定连接，所述第四固定块底部与第二传感器顶部固定连接，所述第二凹槽底部中心与第五固定块底部固定连接，所述第五固定块底部与第一传感器顶部固定连接，所述支撑臂顶部与盖板底部通过螺栓固定连接，所述外壳顶部中心一侧开设有第二通孔，所述第二通孔一侧设置有第一通孔。
[0007]进一步的，所述顶柱中心与第一通孔的中心在同一直线上，所述第二电机输出轴穿过第二通孔，所述承片台底部位于外壳顶部上方5
‑
10cm处。
[0008]进一步的，所述固定口和吸气口均通过管道与真空泵相连。
[0009]进一步的，所述第一滑轨与第二滑块连接处、第二滑轨与第一滑块连接处、丝杆与螺母块连接处、丝杆与第一固定块的转动连接处和丝杆与第三固定块的转动连接处均涂有润滑油。
[0010]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0011]1.该技术利用真空泵通过管道抽取吸气口内部的空气，实现晶圆被吸附在承片台上，有利于晶圆的快速定位装夹，有利于提高工作效率。
[0012]2.该技术利用第一电机带动晶圆沿X方向运动，利用电机升降杆的升缩带动晶圆沿Y方向运动,通过第二电机带动晶圆沿中心点转动，并且配合第一传感器和第二传感器的检测，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1是本技术的局部结构立体图；
[0015]图2是本技术的外壳结构示意图；
[0016]图3是本技术的整体结构立体示意图；
[0017]图4是本技术的图1中A区域局部放大图；
[0018]图5是本技术的图1中B区域局部放大图；
[0019]图中：1、电机升降杆；2、第一滑轨；3、固定架；4、顶柱；5、承片台；6、第一电机；7、真空泵；8、第二滑轨；9、第二电机；10、第一固定块；11、第一传感器；12、第二传感器；13、螺母块；14、第一固定板；15、第二固定块；16、垫板；17、第一滑块；18、第三固定块；19、丝杆；20、第二固定板；21、第一支撑板；22、第二滑块；23、挡块；24、联轴器；25、盖板；26、第二支撑板；27、底板；28、外壳；29、第一通孔；30、第二通孔；31、第四固定块；32、支撑臂；33、固定口；34、吸气口；35、第一凹槽；36、第二凹槽；37、第五固定块。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆1、第一滑轨2、固定架3、顶柱4、承片台5、第一电机6、真空泵7、第二滑轨8、第二电机9、第一固定块10、第一传感器11、第二传感器12、螺母块13、第一固定板14、第二固定块15、垫板16、第一滑块17、第三固定块18、丝杆19、第二固定板20、第一支撑板21、第二滑块22、挡块23、联轴器24、盖板25、第二支撑板26、底板27、外壳28、第一通孔29、第二通孔30、第四固定块31、支撑臂32、固定口33、吸气口34、第一凹槽35、第二凹槽36和第五固定块37，底板27顶部一侧靠近侧边位置与第二支撑板26底部焊接，第二支撑板26一侧底部与第一电机6底部固定连接，第一电机6输出端与联轴器24一端固定连接，联轴器24另一端与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆(1)、第一滑轨(2)、固定架(3)、顶柱(4)、承片台(5)、第一电机(6)、真空泵(7)、第二滑轨(8)、第二电机(9)、第一固定块(10)、第一传感器(11)、第二传感器(12)、螺母块(13)、第一固定板(14)、第二固定块(15)、垫板(16)、第一滑块(17)、第三固定块(18)、丝杆(19)、第二固定板(20)、第一支撑板(21)、第二滑块(22)、挡块(23)、联轴器(24)、盖板(25)、第二支撑板(26)、底板(27)、外壳(28)、第一通孔(29)、第二通孔(30)、第四固定块(31)、支撑臂(32)、固定口(33)、吸气口(34)、第一凹槽(35)、第二凹槽(36)和第五固定块(37)，其特征在于：所述底板(27)顶部一侧靠近侧边位置与第二支撑板(26)底部焊接，所述第二支撑板(26)一侧底部与第一电机(6)底部固定连接，所述第一电机(6)输出端与联轴器(24)一端固定连接，所述联轴器(24)另一端与丝杆(19)一端固定连接，所述丝杆(19)中心一侧贯穿第一固定块(10)中心，所述第一固定块(10)与丝杆(19)中心一端通过轴承转动连接，且第一固定块(10)底部与第二滑轨(8)顶部一侧固定连接，所述第二滑轨(8)底部与底板(27)顶部焊接，所述丝杆(19)中部套接有螺母块(13)，所述丝杆(19)另一端与第三固定块(18)中心套接，所述第三固定块(18)与丝杆(19)通过轴承转动连接，所述螺母块(13)底部与第一滑块(17)顶部固定连接，所述第一滑块(17)位于第二滑轨(8)上方，所述螺母块(13)顶部与垫板(16)底部通过螺栓固定连接，所述垫板(16)顶部两侧与第二固定块(15)底部焊接，所述第二固定块(15)顶部与第一固定板(14)底部通过螺栓固定连接，所述第一固定板(14)顶部与第二电机(9)底部通过螺栓固定连接，所述第二电机(9)输出端与承片台(5)底部固定连接，所述承片台(5)顶部中心开设有若干吸气口(34)，所述吸气口(34)一侧设置有固定口(33)，所述底板(27)顶部位于第二支撑板(26)相邻一侧与第二固定板(20)底部通过螺栓固定连接，所述第二固定板(20)顶部一侧与第一支撑板(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：田金泉，李涛，王广禄，陈曦，柯华榕，
申请(专利权)人：憬承光电科技厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：