探针卡针尖压力检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了探针卡针尖压力检测设备，包括底座，底座上设置有供待测探针卡放置的检测区。底座上还设置有观察机构和检测机构，检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，三维微调平台上设置有检测其Z向输出轴升降高度的高度传感器，三维微调平台的Z向输出轴固结有压力传感器，压力传感器的测试头上设置有测试顶针，测试顶针位于检测区正上方；观察机构包括固定在底座上的龙门固定架，龙门固定架上设置有能十字移动的运动座，运动座上固结有体式显微镜，体式显微镜位于检测区正上方。结构简单，操作便捷，可快速检测针尖的压力和变形量。和变形量。和变形量。

【技术实现步骤摘要】
探针卡针尖压力检测设备


[0001]本技术涉及探针卡检测
，尤其涉及探针卡针尖压力检测设备。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡包括基板和设置基板上的探针，探针卡使用时，探针要与待测芯片抵靠，因此探针卡在出厂时，对于其上的探针的压力检测至关重要。
[0003]目前探针卡针尖检测方法普遍通过探针卡针尖的变形量计算压力，检测方法单一，操作复杂，不够直观。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供探针卡针尖压力检测设备，结构简单，操作便捷，可快速检测针尖的压力和变形量。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：探针卡针尖压力检测设备，包括底座，所述底座上设置有供待测探针卡放置的检测区，其特征在于：所述底座上还设置有观察机构和检测机构，所述检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，所述三维微调平台上设置有检测其Z向输出轴升降高度的高度传感器，所述三维微调平台的Z向输出轴固结有压力传感器，所述压力传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.探针卡针尖压力检测设备，包括底座，所述底座上设置有供待测探针卡放置的检测区，其特征在于：所述底座上还设置有观察机构和检测机构，所述检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，所述三维微调平台上设置有检测其Z向输出轴升降高度的高度传感器，所述三维微调平台的Z向输出轴固结有压力传感器，所述压力传感器的测试头上设置有测试顶针，所述测试顶针位于检测区正上方；所述观察机构包括固定在底座上的龙门固定架，所述龙门固定架上设置有能十字移动的运动座，所述运动座上固结有体式显微镜，所述体式显微镜位于检测区正上方。2.根据权利要求1所述的探针卡针尖压力检测设备，其特征在于：所述三维微调平台固定在检测区一侧，所述压力传感器通过横梁与三维微调平台的Z向输出轴固结，所述横梁两端分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨夫明，
申请(专利权)人：苏州矽利康测试系统有限公司，
类型：新型
国别省市：