一种高纯铝平面靶材磨削加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，包括工作台，所述工作台上设置有电磁吸盘和磨削组件，所述磨削组件位于所述电磁吸盘的一侧，所述电磁吸盘上设置有用于与所述电磁吸盘吸附配合的两个U形夹具，所述U形夹具包括侧板和平行设置在所述侧板上的两个夹臂，所述侧板上设置有第一缓冲垫，所述侧板通过所述第一缓冲垫与高纯铝平面靶材相抵接，所述夹臂上设置有第二缓冲垫，所述夹臂通过所述第二缓冲垫与高纯铝平面靶材相抵接；优点是能够对高纯铝平面靶材进行有效的定位，且不易刮伤高纯铝平面靶材，稳定可靠。稳定可靠。稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯铝平面靶材磨削加工装置


[0001]本技术属于高纯铝加工
，尤其是涉及一种高纯铝平面靶材磨削加工装置。

技术介绍

[0002]平面靶材的平面在进行磨削加工时，首先将待打磨的工件放在磨床的电磁吸盘上，然后启动电磁吸盘，电磁吸盘通过电磁力将待打磨的工件进行吸附，以对待打磨的工件进行固定，然后使用砂轮进行打磨。
[0003]而对于高纯铝平面靶材而言，铝含量大于99.8%，其导磁性较差，电磁吸盘启动后无法对导磁性差的高纯铝平面靶材进行有效的吸附定位，目前常规的做法是在高纯铝平面靶材的四周设置能够被电磁吸盘吸附配合的铁块，高纯铝平面靶材的四周与铁块相抵接。但是高纯铝平面靶材质软，变形抗力差，铁的硬度远大于铝，铁块在对高纯铝平面靶材进行定位时，容易刮伤高纯铝平面靶材的侧壁，最终导致不良率较高。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，能够对高纯铝平面靶材进行有效的定位，且不易刮伤高纯铝平面靶材，稳定可靠。
[0005]本技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种高纯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设置有电磁吸盘(2)和磨削组件(3)，所述磨削组件(3)位于所述电磁吸盘(2)的一侧，其特征在于：所述电磁吸盘(2)上设置有用于与所述电磁吸盘(2)吸附配合的两个U形夹具(4)，所述U形夹具(4)包括侧板(41)和平行设置在所述侧板(41)上的两个夹臂(42)，所述侧板(41)上设置有第一缓冲垫(43)，所述侧板(41)通过所述第一缓冲垫(43)与高纯铝平面靶材相抵接，所述夹臂(42)上设置有第二缓冲垫(44)，所述夹臂(42)通过所述第二缓冲垫(44)与高纯铝平面靶材相抵接。2.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一缓冲垫(43)、所述第二缓冲垫(44)为铝板，所述铝板的铝含量大于等于99.8%。3.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述侧板(41)包括第一连接板(411)、第二连接板(412)和丝杆(413)，所述第一连接板(411)上开设有第一螺孔(414)，所述第二连接板(412)上开设有第二螺孔(415)，所述丝杆(413)的一端依次穿过所述第二螺孔(415) 和所述第一螺孔(414)，所述丝杆(413)的另一端连接有手柄(416)，所述第一缓冲垫(43)、一个所述夹臂(42)分别设置在所述第一连接板(411)上，另一个所述夹臂(42)固定设置在所述第二连接板(412)上。4.根据权利要求3所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一缓冲垫(43)和所述第一连接板(411)之间设置有第一压力传感器(45)，所述第二缓冲垫(44)和所述夹臂(42)之...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑾，叶翔，周建波，李春生，张飞，
申请(专利权)人：宁波锦越新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：