【技术实现步骤摘要】
一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法
[0001]本申请是2017年8月23日提交的名称为“一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法”,申请号为201710729368.5的中国专利技术申请的分案申请。
[0002]本专利技术属于等离子体化学气相沉积
,具体涉及到一种纳米防护涂层的制备方法。
技术介绍
[0003]防霉菌、防潮湿、防盐雾(简称三防)是电子器件在存储、运输及使用过程中需要解决的重要问题。而霉菌、盐雾和潮湿通常导致电子器件由于短路而失效。因此,对于应用于电子行业的防护涂层,除了具有优异的“三防”性能,还必须有良好的绝缘性。
[0004]目前,采用防护涂层对电子产品进行防护,是提高电子产品使用寿命的有效方法。获得防护涂层通常有两种方法,液相法和气相法。液相法通常采用三防漆,对电子产品进行涂敷后,利用热固化或光固化,在电路板上形成一层致密有机涂层,用于保护线路板及其相关设备免受环境的侵蚀。三防漆具有良好的耐高低温性能;其固化后成一层透明保护膜,具有优越的绝缘、防潮、防漏电、防震、防尘、防腐蚀、防老化、耐电晕等性能。但液相方法会产生废水、废气和废液,使用的溶剂会对电子器件基板本身产生一定损伤,此外其厚度大多为几十微米,难以控制在纳米级别,对于一些需要散热和信号传输的电子器件功能会有一定影响。
[0005]气相法则包括蒸镀、等离子体气相沉积等方法。最典型的蒸镀涂层为派瑞林涂层,由美国Union Carbide Co.开发并大量应用在电子产品防护当中。派瑞林涂层是一种对二甲苯的聚合物,先将对二 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)前处理:将基材置于纳米涂层制备设备的反应腔室内,对反应腔室连续抽真空,将反应腔室内的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性气体He、Ar或He和Ar混合气体,开启运动机构,使基材在反应腔室内产生运动;(2)高绝缘性涂层制备:通入单体蒸汽到反应腔室内,至真空度为30~300毫托,开启等离子体放电,进行化学气相沉积,在基材表面化学气相沉积制备高绝缘性纳米涂层;所述单体蒸汽成分为:至少一种有机物单体和至少一种多官能度不饱和烃及烃类衍生物的混合物,所述单体蒸汽中多官能度不饱和烃及烃类衍生物所占的质量分数为15~65%;所述通入单体蒸汽的流量为10~1000μL/min;(3)后处理:停止通入单体蒸汽,同时停止等离子体放电,持续抽真空,保持反应腔室真空度为10~200毫托,1~5min后通入空气至一个大气压,停止基材的运动,然后取出基材即可;或者,停止通入单体蒸汽,同时停止等离子体放电,向反应腔室内充入空气或惰性气体至压力2000
‑
5000毫托,然后抽真空至10
‑
200毫托,进行上述充气和抽真空步骤至少一次,通入空气至一个大气压,停止基材的运动,然后取出基材即可;所述有机物单体包括:对二甲苯、苯、甲苯、四氟化碳、d
‑
甲基苯乙烯、聚对二氯甲苯、二甲基硅氧烷、分子量500
‑
50000的聚二甲基硅氧烷、烯丙苯、十氟联苯、十氟联苯酮、全氟烯丙基苯、四氟乙烯、六氟丙烯、1H,1H
‑
全氟辛基胺、全氟碘代十二烷、全氟三丁胺、1,8
‑
二碘代全氟辛烷、全氟己基碘烷、全氟碘代丁烷、全氟碘代癸烷、全氟辛基碘烷、1,4
‑
二(2
′
,3
′‑
环氧丙基)全氟丁烷、十二氟
‑2‑
甲基
‑2‑
戊烯、2
‑
(全氟丁基)乙基甲基丙烯酸酯、2
‑
(全氟辛基)乙基甲基丙烯酸酯、2
‑
(全氟辛基)碘代乙烷、全氟癸基乙基碘、1,1,2,2
‑
四氢全氟己基碘、全氟丁基乙烯、1H,1H,2H
‑
全氟
‑1‑
癸烯、2,4,6
‑
三(全氟庚基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、全氟己基乙烯、3
‑
(全氟正辛基)
‑
1,2
‑
环氧丙烷、全氟环醚、全氟十二烷基乙烯、全氟十二烷基乙基碘、二溴对二甲苯、1,1,4,4
‑
四苯基
‑
1,3
‑
丁二烯;所述多官能度不饱和烃及烃类衍生物包括:1,3
‑
丁二烯、异戊二烯、1,4
‑
戊二烯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗坚,
申请(专利权)人:江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。