热场发射电子源以及电子束应用装置制造方法及图纸

本发明专利技术使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。二电极的电绝缘的绝缘体(307)。二电极的电绝缘的绝缘体(307)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热场发射电子源以及电子束应用装置


[0001]本专利技术涉及以电子显微镜为代表的电子束应用装置所使用的电子源或者搭载电子源的电子束应用装置。

技术介绍

[0002]为了可视微细构造，广泛使用扫描电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)。SEM除了用于金属等材料的形态观察、生物体试样的微细的形状、形态的观察以外，还用于半导体微细图案的尺寸检查、缺陷检查等。在SEM中，一边向测定试样照射电子射线一边进行扫描，检测从测定试样发射的信号电子(二次电子或反射电子)，从而得到扫描图像(SEM像)。
[0003]得到SEM像时的重要点之一是将从电子源发射的电子束保持为恒定。这是因为，若发射的电子量减少，则通常照射到试样的电流也减少，得到的SEM像的亮度降低。SEM像的亮度降低不仅造成信号电子量减少，信号噪声比降低，从而不仅亮度而且图像的不光滑也变大。若该不光滑增加，则SEM像的视觉辨认度降低。并且，在使用所得到的SEM像进行检查的情况下，有引起检查精度降低的问题的担忧。
[0004]为了稳定地保持从电子源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种热场发射电子源，其特征在于，具有：针状的电子源；金属线，其固定上述电子源，并将上述电子源进行加热；心柱，其固定于绝缘子，并对上述金属线进行通电；第一电极，其具有第一开口部，并且上述电子源的前端从上述第一开口部突出地配置；第二电极，其具有第二开口部；绝缘体，其以上述第一开口部的中心轴与上述第二开口部的中心轴一致的方式对上述第一电极和上述第二电极进行定位，获得上述第一电极与上述第二电极的电绝缘；以及遮蔽部件，其设于上述金属线与上述第一电极之间，遮蔽来自上述金属线的光。2.根据权利要求1所述的热场发射电子源，其特征在于，具有支撑部件，该支撑部件固定于上述绝缘子，并支撑上述遮蔽部件，上述支撑部件经由传热材料而与制冷剂接触。3.一种热场发射电子源，其特征在于，具有：针状的电子源；金属线，其固定上述电子源，并将上述电子源进行加热；心柱，其固定于绝缘子，并对上述金属线进行通电；第一电极，其具有第一开口部，并且上述电子源的前端从上述第一开口部突出地配置；第二电极，其具有第二开口部；以及绝缘体，其以上述第一开口部的中心轴与上述第二开口部的中心轴一致的方式对上述第一电极和上述第二电极进行定位，获得上述第一电极与上述第二电极的电绝缘，上述绝缘体经由传热材料而与制冷剂接触。4.根据权利要求3所述的热场发射电子源，其特征在于，上述绝缘体的热导率比30W/m
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K大。5.根据权利要求3所述的热场发射电子源，其特征在于，上述绝缘体中的成为上述第一电极与上述传热材料的路径的部分由热导率比30W/m
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K大的金属形成。6.一种热场发射电子源，其特征在于，具有：针状的电子源；金属线，其固定上述电子源，并将上述电子源进行加热；心柱，其固定于绝缘子，并对上述金属线进行通电；第一电极，其具有第一开口部，并且上述电子源的前端从上述第一开口部突出地配置；第二电极，其具有第二开口部；以及绝缘体，其以上述第一开口部的中心轴与上述第二开口部的中心轴一致的方式对上述第一电极和上述第二电极进行定位，获得上述第一电极与上述第二电极的电绝缘，由反射率比上述第一电极的材料的反射率高的材料将上述第一电...

【专利技术属性】
技术研发人员：松永宗一郎，片桐创一，糟谷圭吾，武居亚纪，川野源，土肥隆，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：