【技术实现步骤摘要】
一种真空系统用控制装置
[0001]本技术涉及一种控制装置,具体是一种真空系统用控制装置。
技术介绍
[0002]真空系统是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、冷阱等,借助于真空管道,按一定要求组合而成,并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是在指定的时间、空间内获得真空,保持真空,确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施。
[0003]罗茨泵和真空泵是真空系统中的组成部分,现有真空系统中的罗茨泵和真空泵在工作的过程中会对地面造成较大的冲击力,因此需要对其进行进一步优化。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种真空系统用控制装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种真空系统用控制装置,包括箱体,所述箱体的内壁固定连接有罗茨泵、真空泵、继电器和控制器,所述罗茨泵和真空泵之间设置有第二横管,所述第二横管的一端与罗茨泵的出口端固定连接,所述第二横管的另一端与真空泵的入口端固定连接,所述真空泵的出口端固定连接 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空系统用控制装置,包括箱体(9),其特征在于:所述箱体(9)的内壁固定连接有罗茨泵(1)、真空泵(2)、继电器(10)和控制器(12),所述罗茨泵(1)和真空泵(2)之间设置有第二横管(11),所述第二横管(11)的一端与罗茨泵(1)的出口端固定连接,所述第二横管(11)的另一端与真空泵(2)的入口端固定连接,所述真空泵(2)的出口端固定连接有第一横管(7),所述第一横管(7)的一端贯穿于箱体(9)的外壁后伸至外部,所述罗茨泵(1)的入口端通过管道连接有电池阀(14),所述电池阀(14)的一端固定连接有连接管(13),所述箱体(9)的一侧设置有真空室(17),所述连接管(13)的一端与真空室(17)的内腔连通,所述箱体(9)下方对称设置有四个套筒(5),四个所述套筒(5)底部均固定连接有底座(6),四个所述套筒(5)的内腔设置有限位块(21),所述限位块(21)顶部固定连接有连接杆(4),所述连接杆(4)顶端与箱体(9)底部固定连接,所述连接杆(4)外侧套设有弹簧(3),所述弹簧(3)顶端与箱体(9)底部固定连接,所述弹簧(3)底端与...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩丽东,
申请(专利权)人:宁波市双嘉仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:
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