玻璃面板小批量样品用湿刻机制造技术

本实用新型专利技术公开的一种玻璃面板小批量样品用湿刻机，用于对玻璃面板的湿刻工艺。玻璃面板小批量样品用湿刻机包括湿刻单元、水洗单元、干燥单元、驱动单元。湿刻单元设有用于放置刻蚀液的湿刻槽。水洗单元设于湿刻单元末端，用于将从湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗。干燥单元设于水洗单元的末端。驱动单元安装于湿刻、水洗、干燥单元的上方，驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件，水平驱动单元用于将玻璃面板从湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间得水平传送，垂直升降组件用于玻璃面板在湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。本技术方案可以对铜湿刻工艺导入前的各项药液研究需求及制程调试需求，极大的缩短客户铜刻蚀工艺的导入时间。蚀工艺的导入时间。蚀工艺的导入时间。

【技术实现步骤摘要】
玻璃面板小批量样品用湿刻机


[0001]本技术涉及平板显示
，尤其涉及湿刻工艺用的玻璃面板小批量样品用湿刻机。

技术介绍

[0002]国内平板显示行业虽然已经发展近20年，然而90％及其以上的工厂目前仍旧使用纯铝工艺或者钼铝钼工艺，无法满足消费者对于视觉享受的高追求。随着4K、8K显示逐步走进大众生活，越来越多的工厂选择使用铜工艺。
[0003]相较于纯铝工艺刻蚀液(盐酸、醋酸和磷酸的溶液)，铜刻蚀液(双氧水)对设备的要求更高，原本适用于纯铝工艺的湿刻机无法满足新的刻蚀液和工艺的要求。
[0004]对量产工厂来讲，在样品阶段对现行设备盲目的改造生产样品一则耗费巨大，不符合工厂降成本的要求。二则本身对铜湿刻工艺知之甚少，而国内同行急需获得铜湿刻工艺在不同铜蚀刻液和刻蚀条件下的工艺呈现和产品表现，突破三星、LG等行业领先者的技术封锁。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种可以在量产前小规模调试满足铜工艺制程需求的玻璃面板小批量样品用湿刻机。
[0006]本技术公开一种玻璃面板小批量样品用湿刻机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃面板小批量样品用湿刻机，用于对玻璃面板的湿刻工艺，其特征在于，包括湿刻单元，设有用于放置刻蚀液的湿刻槽；水洗单元，设于所述湿刻单元末端，用于将从所述湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗；干燥单元，设于所述水洗单元的末端，用于将完成所述水洗的玻璃面板进行干燥；驱动单元，安装于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元的上方，所述驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件，所述水平驱动单元用于将玻璃面板从所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间的水平传送，所述垂直升降组件用于玻璃面板在所述湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。2.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机，其特征在于，所述湿刻槽内设有用于加速刻蚀液循环流动的增压管路。3.如权利要求2所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机，其特征在于，所述水洗单元包括第一水洗槽和第二水洗槽，所述第一水洗槽设于所述湿刻槽得末端，所述第二水洗槽设于所述第一水洗槽的末端。4.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机，其特征在于，还包括框体，所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元设置于框体下部，所述驱动单元设于所述框体的顶部。5.如权利要求4所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴奥明，姜爱华，
申请(专利权)人：深圳亿博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：