【技术实现步骤摘要】
本技术涉及清洗设备，特别涉及一种侧边刷洗装置和清洗机。
技术介绍
1、在微电子和半导体制造时需要使用载具将光阻桶从仓库运输到无尘车间内，而由于载具在转运过程中，不可避免的会沾染上灰尘等杂质，所以为避免载具携带灰尘等杂质进入无尘车间，需要对载具的外表面进行清洗。其中，载具的清洁不仅要对其表面进行全面的清水冲洗，还需要通过毛刷进行深度清理，现有技术中对于载具的清洗是通过人工手动完成的，效率较低，且成本较高。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提出一种侧边刷洗装置以及清洗机，旨在对载具进行高效的自动化清洗和刷洗。
2、为实现上述目的，本技术提出的侧边刷洗装置，包括：骨架、刷洗机构、冲洗机构、导轨组件以及驱动件；所述刷洗机构安装于所述骨架，所述刷洗机构具有供待清洗载具容置的中空腔体；所述冲洗机构安装于所述骨架；所述导轨组件与所述刷洗机构滑动连接；所述驱动件驱动连接所述刷洗机构，用于驱动所述刷洗机构沿所述导轨组件运动。
3、在一实施方式中，所述刷洗机构包括多个毛刷组件，多个...
【技术保护点】
1.一种侧边刷洗装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述刷洗机构包括多个毛刷组件，多个所述毛刷组件围合形成具有所述中空腔体的环形结构，每个所述毛刷组件包括安装件、第一毛刷以及毛刷夹具；所述第一毛刷通过所述毛刷夹具安装于所述安装件，所述第一毛刷和所述毛刷夹具沿刷洗机构的运动方向层叠设置多个，每个所述第一毛刷与所述毛刷夹具一对一地对应设置。
3.如权利要求2所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述毛刷夹具沿所述第一毛刷的延伸方向开设安装槽，所述第一毛刷安装于所述安装槽。
4.如权利要求2所述的侧边刷洗装...
【技术特征摘要】
1.一种侧边刷洗装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述刷洗机构包括多个毛刷组件，多个所述毛刷组件围合形成具有所述中空腔体的环形结构，每个所述毛刷组件包括安装件、第一毛刷以及毛刷夹具；所述第一毛刷通过所述毛刷夹具安装于所述安装件，所述第一毛刷和所述毛刷夹具沿刷洗机构的运动方向层叠设置多个，每个所述第一毛刷与所述毛刷夹具一对一地对应设置。
3.如权利要求2所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述毛刷夹具沿所述第一毛刷的延伸方向开设安装槽，所述第一毛刷安装于所述安装槽。
4.如权利要求2所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述安装件包括第一安装部和第二安装部；所述第一安装部包括立板和侧板，所述侧板设于所述立板的一侧，所述第二安装部相对设置于所述立板远离所述侧板的一侧；所述毛刷夹具安装于所述侧板和所述第二安装部之间。
5.如权利要求4所述的侧边刷洗装置，其特征在于，所述毛刷组件还包括第二毛刷，所述安装件还包括第三安装部，所述第三安...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗嘉盛，吴奥明，王雪刚，
申请(专利权)人：深圳亿博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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