一种半导体加工用输送设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体加工用输送设备，包括加工台主体、移动板、输送组件和夹持组件，所述加工台主体的一侧内壁上固定有输送组件；所述输送组件包括第二滑槽、第一电机、转动板、第一转轴、连接板、第二滑块、第二转轴、限位块、扭转弹簧、第一连杆和限位槽，所述加工台主体的一侧内壁上镶嵌安装有第一电机，所述加工台主体的一侧内壁上安装有转动板，该实用新型专利技术采用了输送装置，可以对半导体进行间隔输送到指定位置，然后进行加工，避免重复的开启和关闭电机，提高电机的使用效果，并且提高了半导体的加工效率；还采用了夹持装置，可以方便夹持半导体，并且可以快速拆下，提高半导体的加工效率。加工效率。加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用输送设备


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，具体为一种半导体加工用输送设备。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件；无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的；大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联；常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种在加工半导体时通常需要输送设备，但现在的输送设备一般是连续性的，而加工半导体时需要有一定的间隔时间，这样导致输送时，需要不间断的开启和关闭输送装置，长时间操作会导致装置损坏，并且在加工过程中，在对半导体进行夹持时，不易安装和拆卸，导致加工进度缓慢，降低加工效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半导体加工用输送设备，方便间隔的输送半导体，避免重复的开启和关闭输送装置，提高使用性，并且提高半导体夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用输送设备，其特征在于，包括加工台主体(1)、移动板(2)、输送组件(3)和夹持组件(4)，所述加工台主体(1)的一侧内壁上固定有输送组件(3)；所述输送组件(3)包括第二滑槽(31)、第一电机(32)、转动板(33)、第一转轴(34)、连接板(35)、第二滑块(36)、第二转轴(37)、限位块(38)、扭转弹簧(39)、第一连杆(310)和限位槽(311)，所述加工台主体(1)的一侧内壁上镶嵌安装有第一电机(32)，所述加工台主体(1)的一侧内壁上安装有转动板(33)，且第一电机(32)的输出轴一端固接于转动板(33)的内部，所述加工台主体(1)位于转动板(33)一侧的内壁上安装有连接板(35)，所述连接板(35)与转动板(33)之间的内壁上转动连接有第一转轴(34)，所述加工台主体(1)的两侧内壁上均开设有第二滑槽(31)，所述第二滑槽(31)的一侧内壁上滑动连接有第二滑块(36)，所述第二滑块(36)之间的外壁上焊接固定有第一连杆(310)，且连接板(35)的一端铰接于第一连杆(310)的外壁上，所述第二滑块(36)的一侧外壁上转动连接有第二转轴(37)，所述第二转轴(37)的另一端固定连接有限位块(38)，所述限位块(38)的一侧外壁上焊接固定有扭转弹簧(39)，且扭转弹簧(39)的另一端焊接于第二滑块(36)，所述加工台主体(1)的一侧内壁上安装有移动板(2)，所述移动板(2)的一侧外壁上对应限位块(38)分布开设有限位槽(311)，所述移动板(2)的顶端外壁上固定有夹持组件(4)。2.根据权利要求1所述的半导体加工用输送设备，其特征在于，所述夹持组件(4)包括第三滑槽(41)、第二电机(42)、双向丝杆(43)、夹持块(44)、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋楷，张碧波，
申请(专利权)人：苏州茂昌电子有限公司，
类型：新型
国别省市：