【技术实现步骤摘要】
镀膜生产线用新型挡板
[0001]本技术涉及玻璃镀膜生产
,尤其涉及一种镀膜生产线用新型挡板。
技术介绍
[0002]玻璃镀膜线溅射腔室中的挡板可以有效阻止靶材溅射到腔室壁上,在保养时将挡板拆卸后进行喷砂处理,达到快速清理覆渣、重复使用的目的。
[0003]但在挡板的正常使用过程中常常会发生挡板上的膜层脱落掉到玻璃上造成膜面质量缺陷的情况,尤其是在靶材高低功率切换时,掉渣现象尤为严重,甚至整个生产周期都会持续发生崩渣现象,从而造成大量的废品。因此,需要提供一种可有效降低挡板掉渣的方案,以保证产品质量。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的挡板崩渣的技术问题之一。为此,本技术提供一种能降低挡板崩渣而掉渣几率的镀膜生产线用新型挡板。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:所述镀膜生产线用新型挡板,包括横截面呈L型的挡板本体,所述挡板本体的水平侧的上表面开设有沿其长度方向的多排凹槽。
[0006]在本技术提供的镀膜生产线用新型挡板的一种较佳实施例中,所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜生产线用新型挡板,包括横截面呈L型的挡板本体,其特征在于:所述挡板本体的水平侧的上表面开设有沿其长度方向的多排凹槽。2.根据权利要求1所述的镀膜生产线用新型挡板,其特征在于:所述挡板本体的竖直侧设有散热机构,所述散热机构包括热量传递层和散热管,所述热量传递层焊接于所述散热管。3.根据权利要求2所述的镀膜生产线用新型挡板,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:司立彬,冯恩,潘清涛,
申请(专利权)人:望美实业集团有限公司,
类型:新型
国别省市:
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