一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统。它包括电磁感应加热系统和设置在其内的一组退火工装，一组退火工装包括垂直设置的至少一个退火工装，退火工装为“凹”字形结构，内外边都是正方形结构，中间一个凹槽，凹槽的内表面镶嵌有铁环层，铁环层包括一层镶入凹槽底面的分布均匀但彼此绝缘的微米级铁环，蓝宝石晶体片装在退火工装内，电磁感应加热系统包括可调节参数的交变磁场。本实用新型专利技术可以提高蓝宝石单晶片的退火质量，同时有效地降低退火工艺的综合成本等特点。时有效地降低退火工艺的综合成本等特点。时有效地降低退火工艺的综合成本等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统


[0001]本技术属于蓝宝石加工
，具体涉及一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统。

技术介绍

[0002]蓝宝石单晶具有优异的光学性能、机械强度和化学稳定性，因而被广泛地应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光窗口材料和LED灯的衬底等军事和民用领域。蓝宝石单晶片是由蓝宝石晶锭经过一系列加工过程形成。其中，退火是一道加工工序，它是指利用加热炉对清洗后的蓝宝石晶体片，进行一系列不同温度范围的加热与保温，消除蓝宝石晶体片内部的应力的过程。
[0003]目前，蓝宝石单晶片的退火主要利用经过程序控制的电阻丝加热炉子。利用这些炉子进行退火操作有以下几项不足: (1) 由于热传导、对流和辐射的效率低，电阻炉子的热能的转换效率低，电能浪费巨大；(2) 蓝宝石单晶片的温度不均一，影响退火效果；(3) 炉子中的加热体热容大，升温或降温都比较缓慢，延长了工艺时间，降低了退火效率。因此，需要一种新的蓝宝石单晶片的退火方法与工艺，降低退火过程中的综合成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统，其特征在于它包括电磁感应加热系统和设置在其内的一组退火工装，一组退火工装包括垂直设置的至少一个退火工装，退火工装为“凹”字形结构，内外边都是正方形结构，中间一个凹槽，凹槽的内表面镶嵌有铁环层，铁环层包括一层镶入凹槽底面的分布均匀但彼此绝缘的微米级铁环，蓝宝石晶体片装在退火工装内，电磁感应加热系统包括可调节参数的交变磁场。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统，其特征在于所述的退火工装连接热电偶，热电偶连接电脑。3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石单晶片...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，李岩，
申请(专利权)人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：