一种陶瓷干燥用治具制造技术

本实用新型专利技术是一种陶瓷干燥用治具，包括主体支撑架，主体支撑架包括左右平行对应设置的立板，左右立板之间由下向上等距设有若干层水平的陶瓷放置组件，在左右立板的内侧固接有对应的支撑座。本实用新型专利技术通过设置安有若干层陶瓷放置组件的主体支撑架，增加了干燥箱的产能，提高了工作效率，通过设置供陶瓷放置组件前后滑动的支撑槽以及支撑座，便于干燥不同厚度的陶瓷部件，通过设置圆形分布在十字支撑柱上的限位柱二和限位柱一，便于干燥不同尺寸的圆形陶瓷部件，提高了治具的使用范围，通过设置环形垫圈一和环形垫圈二，避免了陶瓷部件因接触滑动支撑架而产生金属玷污的情况，同时也避免了划伤陶瓷部件。避免了划伤陶瓷部件。避免了划伤陶瓷部件。

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷干燥用治具


[0001]本技术涉及陶瓷干燥承载工装
，尤其涉及一种陶瓷干燥用治具。

技术介绍

[0002]制造半导体芯片的工艺设备中，会使用到许多圆环的陶瓷部件，这类部件在工艺腔体中起到绝缘的作用，表面不可以有金属玷污。在清洗陶瓷的时候，也需要避免金属玷污，所以陶瓷部件清洗完成后在干燥箱中进行干燥的时候，需要单独分开，避免与其它部件接触，使得干燥箱每层只能放两个陶瓷部件，这样导致干燥箱的利用率很低，大大减少了干燥箱的产能。

技术实现思路

[0003]本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种陶瓷干燥用治具。
[0004]本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：
[0005]一种陶瓷干燥用治具，包括主体支撑架，主体支撑架包括左右平行对应设置的立板，立板上均布有若干通孔结构，左右立板的底部之间安有前后对应的下连接杆，左右立板的顶端之间安有前后对应的上连接杆，位于上连接杆与下连接杆之间的左右立板之间由下向上等距设有若干层水平的陶瓷放置组件，在左右立板的内侧固接有对应的支撑座，每个支撑座上设有供陶瓷放置组件前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷干燥用治具，其特征在于，包括主体支撑架，主体支撑架包括左右平行对应设置的立板(1)，立板(1)上均布有若干通孔结构，左右立板(1)的底部之间安有前后对应的下连接杆(2)，左右立板(1)的顶端之间安有前后对应的上连接杆(5)，位于上连接杆(5)与下连接杆(2)之间的左右立板(1)之间由下向上等距设有若干层水平的陶瓷放置组件(4)，在左右立板(1)的内侧固接有对应的支撑座(3)，每个支撑座(3)上设有供陶瓷放置组件(4)前后滑动的支撑槽。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷干燥用治具，其特征在于，所述陶瓷放置组件(4)为5层。3.根据权利要求1所述的一种陶瓷干燥用治具，其特征在于，所述主体支撑架为不锈钢支架。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷干燥用治具，其特征在于，所述陶瓷放置组件(4)包括滑动支撑架(41)，滑动支撑架(41)的左右外端滑动在相应的支撑槽内，在滑动支撑架(41)的内部固接有十字支撑柱(42)，在十...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，马有杰，贺贤汉，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：