干燥量测模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干燥量测模块，适用于测试装置以及至少一个电子组件，测试装置通过接触件及基座接触电子组件。干燥量测模块包括盖体、湿度传感器以及干燥气体进气接头。盖体内部具有腔室，其中电子组件配置于腔室。盖体上形成有开口、嵌合口以及干燥通道，开口、嵌合口以及干燥通道连通于腔室，接触件穿设于开口，且基座嵌合于嵌合口；湿度传感器穿设于干燥通道；干燥气体进气接头配置于盖体上且连通于干燥通道。于干燥通道。于干燥通道。

【技术实现步骤摘要】
干燥量测模块


[0001]本技术涉及一种干燥量测模块，更特别地涉及一种可在测试装置测试同时提供干燥腔室的干燥量测模块。

技术介绍

[0002]在半导体及精密电子产业的制程当中，经常需要对制作完成的二极管或半导体等电子组件进行通电测试以确保产品的合格率。一般而言，在进行上述通电测试时，会将电子组件的工作环境温度降至一定程度以下，且使承载电子组件的平台保持低温，从而提高组件之间的导电性能。然而，当工作环境温度下降时，空气中的水气容易遇冷并凝结至承载平台上，对测试结果造成影响。目前实际操作上的一般作法，是将安置测试机台的整个厂房通过干燥系统维持一定的干燥度，由此防止水气凝结，但是长时间维持如此庞大空间的干燥度，成本以及能源的消耗都相当庞大可观。

技术实现思路

[0003]基于本技术的至少一个实施例，本技术的干燥量测模块可通过盖体配合干燥气体进气接头注入干燥气体，使得电子组件测试时需要干燥的空间体积大幅缩小，减少成本以及能源的消耗。另一方面，通过穿设于干燥通道的湿度传感器，也能在测试过程中随时监测腔室的实时湿度，进而提升测试过程的质量。
[0004]本技术提供一种干燥量测模块，适用于测试装置以及至少一个电子组件，测试装置通过接触件及基座接触电子组件。干燥量测模块包括盖体、湿度传感器以及干燥气体进气接头。盖体内部具有腔室，其中电子组件配置于腔室。盖体上形成有开口、嵌合口以及干燥通道，开口、嵌合口以及干燥通道连通于腔室，接触件穿设于开口，且基座嵌合于嵌合口；湿度传感器穿设于干燥通道；干燥气体进气接头配置于盖体上且连通于干燥通道。
[0005]通过上述结构，本技术的干燥量测模块可通过盖体配合干燥气体进气接头注入干燥气体，使得电子组件测试时需要干燥的空间体积大幅缩小，减少成本以及能源的消耗。另一方面，通过穿设于干燥通道的湿度传感器，也能在测试过程中随时监测腔室的实时湿度，进而提升测试过程的质量。
[0006]可选地，干燥量测模块还包括第一光传感器以及第二光传感器，且盖体上还形成有光通孔。第一光传感器配置于盖体上且对应于光通孔，第二光传感器配置于腔室内且对应于电子组件。
[0007]可选地，干燥量测模块还包括连接件以及定位滑动机构。第一光传感器以及定位滑动机构配置于连接件上，且第一光传感器通过定位滑动机构可滑动地配置于盖体上。
[0008]可选地，上述的定位滑动机构包括铅直滑动机构以及收光滑动机构。第一光传感器分别通过铅直滑动机构以及收光滑动机构在接触件的移动方向以及光通孔的中心轴方向上相对于盖体滑动。
[0009]可选地，上述的第一光传感器为积分球，且第二光传感器为光二极管。
[0010]可选地，上述的干燥通道包括进气通道、排气通道以及贯孔。干燥气体进气接头连接于进气通道，腔室配置于进气通道以及排气通道之间，湿度传感器穿设于贯孔且一部分配置于排气通道上。
[0011]可选地，上述的测试装置还包括导电件，且导电件暂时性地接触接触件。盖体上还形成有槽部，且导电件穿设于槽部。
[0012]可选地，干燥量测模块还包括底座以及测试滑动机构。盖体、湿度传感器、干燥气体进气接头以及导电件相对于底座固定且通过测试滑动机构相对于电子组件以及接触件在一个方向上往返移动。
[0013]可选地，上述的开口在上述方向上的长度大于接触件在上述方向上的长度。
[0014]可选地，上述的开口为圆形、方形或长条形。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中需求要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本技术的干燥量测模块的一个实施例的立体示意图；
[0017]图2是图1所示的盖体的立体示意图；
[0018]图3是图2的前视示意图；
[0019]图4是图2另一角度的立体示意图；
[0020]图5是图3沿着A
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A剖面的剖视示意图；
[0021]图6是图1所示的第一光传感器的示意图；
[0022]图7是图6沿着B
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B剖面的剖视示意图；
[0023]图8是图1的干燥量测模块与一测试装置共同测试一电子组件时的立体示意图；
[0024]图9是图8的侧视示意图；
[0025]图10是图9沿着C
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C剖面的剖视示意图；
[0026]图11是图10中圆形区域的放大示意图；
[0027]图12是本技术的干燥量测模块的另一实施例与另一测试装置共同测试电子组件时的立体示意图；
[0028]图13是图12所示的盖体的立体示意图；
[0029]图14是图12的侧视示意图；
[0030]图15是图14沿着D
‑
D剖面的剖视示意图；
[0031]图16是图15中圆形区域的放大示意图。
[0032]附图标记说明：
[0033]1、1
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干燥量测模块
[0034]100
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底座
[0035]110
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基座
[0036]200、200
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盖体
[0037]210
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嵌合口
[0038]300
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湿度传感器
[0039]400
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第一光传感器
[0040]500
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第二光传感器
[0041]600
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干燥气体进气接头
[0042]700
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连接件
[0043]800
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定位滑动机构
[0044]810
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铅直滑动机构
[0045]820
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收光滑动机构
[0046]900
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测试滑动机构
[0047]2、2
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测试装置
[0048]21、21
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干燥量测模块，适用于测试装置以及至少一个电子组件，所述测试装置包括接触件及基座，且所述测试装置通过所述接触件及所述基座接触所述电子组件，其特征在于，所述干燥量测模块包含：盖体，内部具有腔室，其中所述电子组件配置于所述腔室，所述盖体上形成有开口、嵌合口以及干燥通道，所述开口、所述嵌合口以及所述干燥通道连通于所述腔室，所述接触件穿设于所述开口，且所述基座嵌合于所述嵌合口；湿度传感器，穿设于所述干燥通道；以及干燥气体进气接头，配置于所述盖体上且连通于所述干燥通道。2.根据权利要求1所述的干燥量测模块，其特征在于，还包括第一光传感器以及第二光传感器，所述盖体上还形成有光通孔，所述第一光传感器配置于所述盖体上且对应于所述光通孔，所述第二光传感器配置于所述腔室内且对应于所述电子组件。3.根据权利要求2所述的干燥量测模块，其特征在于，还包括连接件以及定位滑动机构，所述第一光传感器以及所述定位滑动机构配置于所述连接件上，且所述第一光传感器通过所述定位滑动机构可滑动地配置于所述盖体上。4.根据权利要求3所述的干燥量测模块，其特征在于，所述定位滑动机构包括铅直滑动机构以及收光滑动机构，所述第一光传感器分别通过所述铅直滑动机构以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭永聪，
申请(专利权)人：上利新科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：