一种用于离子源的阴极制造技术

本实用新型专利技术公布了一种用于离子源的阴极，包括阴极，阴极顶部圆心处开有散气孔，散气孔内顶端固定连接有抽气管，阴极下部开有安装槽，安装槽上端内壁上固定连接有石墨杆。通过在阴极的顶部开出0.5mm直径的小孔，这样当阴极内部产生杂气时会从散气孔把杂气抽走，这样当内部气体被抽走后就不会发生因局部离子浓度过高而导致的打火，大大减少了阴极和石墨的损毁，增加了阴极和石墨使用效率，减少了阴极和石墨的使用成本，也提高了设备运行的连贯性以及产能。以及产能。以及产能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于离子源的阴极


[0001]本技术属于离子源
，具体涉及一种用于离子源的阴极。

技术介绍

[0002]离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置,阴极是离子源内的一个重要配件，但是现有的阴极，当阴极内部和石墨经过高温工作时会产生轻微放气，这时产生的杂气就会在阴极内部聚集，由于阴极电子的释放就会把多余的气体产生离化形成离子，当局部离子浓度高时而且又没有及时被抽走就会产生局部打火，增加石墨杆被打断几率；同时当最终产生的杂气要被抽走时，在抽走过程中就会经过相对比较狭小的缝隙，此缝隙就是石墨和阴极的结合处，也是电流相对比较大的地方，当气体经过时会瞬间被电离，导致此处离子浓度高对石墨陶瓷和上陶瓷以及阴极产生消耗甚至打火打坏配件。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本实用提供了一种用于离子源的阴极，解决了阴极内杂气聚集的问题。
[0004]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种用于离子源的阴极，包括阴极，所述阴极顶部圆心处开有散气孔，所述散气孔内顶端固定连接有抽气管，所述阴极下部开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子源的阴极，包括阴极(1)，其特征在于：所述阴极(1)顶部圆心处开有散气孔(2)，所述散气孔(2)内顶端固定连接有抽气管(3)，所述阴极(1)下部开有安装槽(4)，所述安装槽(4)上端内壁上固定连接有石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：张威，周常河，刘年生，丁自强，由玉兴，马帅，
申请(专利权)人：江苏星浪光学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：