一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构，它包括炉体、炉盖、上隔热屏、坩埚盖、坩埚、加热梯和保温结构，炉体、炉盖为中空循环水结构，上隔热屏通过钼螺杆将堆叠在一起呈梯形状钼片接连在一起，坩埚盖为至少2层外径相同的圆环钼片通过钨丝连接在一起；坩埚包括上半段、下半段两部分；上半段直径不变呈桶状，下半段坩埚直径逐渐变小呈梯形状，保温结构由侧保温层与底部保温层构成。本实用新型专利技术采用梯形坩埚工作稳定、便于维修、坩埚底部不易变形、使用寿命长。使用寿命长。使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构


[0001]本技术涉蓝宝石晶体生长领域，具体涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构。

技术介绍

[0002]蓝宝石俗称刚玉，主要成分是Al2O3，是一种常见的简单配位型氧化物晶体。自然界中的蓝宝石由于含有一些杂质离子而呈现出不同的颜色，单纯的氧化铝晶体是呈无色透明的，因为其具有独特的晶格构、优异的机械性能、光学性能和化学稳定性，可应用于2000℃的高温环境下，蓝宝石经过多年实践检验，现如今已成为各国红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料和大规模集成电路的衬底材料，被广泛用于科学技术、国防与民用工业等领域。
[0003]目前，泡生法是大尺寸蓝宝石晶体生长的主要方法，大尺寸蓝宝石单晶在出材率和控制成本方面有明显优势，为降低生产成本、增加产能，各蓝宝石生产厂家也纷纷投向大尺寸研究热潮。但现阶段大尺寸晶体生长面临两大问题难以解决；1.大尺寸晶体因放肩时径向温度梯度大、结晶速度快、应力释放不集中带来的肩部缺陷。2.由于晶体直径大、轴向、径向温度梯度分布不合理致使晶体后期结晶速率超出极限生长速率，由于晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构，其特征在于它包括炉体、炉盖、上隔热屏、坩埚盖、坩埚、加热体和保温结构，炉体、炉盖为中空循环水结构，上隔热屏通过钼螺杆将堆叠在一起呈梯形状钼片接连在一起，钼片之间通过钼螺母间隔支撑，钼片中间留有圆形观察孔；坩埚盖为至少2层外径相同的圆环钼片通过钨丝连接在一起，每层圆环钼片中心设置有直径逐渐增大的通孔，圆环钼片之间通过钼螺母间隔；坩埚包括上半段、下半段两部分；上半段直径不变呈桶状，下半段坩埚直径逐渐变小呈梯形状，上半段与下半段为一体结构，且坩埚底部直径与托盘大小相同；保温结构由侧保温结构与底部保温结构构成，侧保温结构由至少10层直径不同的钼桶通...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，马宗羽，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：