一种蓝宝石热场位置调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种蓝宝石热场位置调节装置，应用在蓝宝石单晶生长炉，该装置包括调节杆，调节杆包括手柄、支撑块、杆体和推移部，杆体的一端与手柄连接，杆体的另一端与推移部连接，杆体靠近手柄的一侧设有外螺纹，外螺纹的一侧设有若干个密封槽以及设置在密封槽内的密封圈，支撑块内设有内螺孔，支撑块的一端与炉壁的外壁固定，在蓝宝石单晶生长炉的炉壁上环绕设置有若干通孔，杆体贯穿支撑块和炉壁，与支撑块螺纹相连，密封圈与通孔形成密封；本实用新型专利技术不需要拆装热场，只需要调节调节杆的位置即可对热场进行调节，本实用新型专利技术能够减少人力成本，缩短热场调节时间，提高生产效率和蓝宝石生长质量。和蓝宝石生长质量。和蓝宝石生长质量。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石热场位置调节装置


[0001]本技术一种蓝宝石热场位置调节装置，属于蓝宝石晶体制备工具


技术介绍

[0002]泡生法一种从熔融液体中生长单晶体的晶体生长法，现在广泛应用于蓝宝石单晶的生长。蓝宝石生长过程中，晶体需要一个径向的生长梯度，晶体在坩埚中，所以坩埚和热场的距离至关重要，在梯度不均匀时需要对热场进行移动，热场重量大，热场内有一层钨钼保温材料，但是热场拆装时保温材料容易造成损坏，因此亟须一种不需要拆装热场且能调节热场的装置。

技术实现思路

[0003]本技术一种蓝宝石热场位置调节装置，克服了现有技术存在的不足，提供一种可对蓝宝石单晶炉中的热场进行位移调节的装置，使热场建立合理的温度梯度。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种蓝宝石热场位置调节装置，应用在蓝宝石单晶生长炉，包括调节杆，调节杆包括手柄、支撑块、杆体和推移部，杆体的一端与手柄连接，杆体的另一端与推移部连接，杆体靠近手柄的一侧设有外螺纹，外螺纹的一侧设有若干个密封槽以及设置在密封槽内的密封圈， 支撑块内设有内螺孔，支撑块的一端与炉壁的外壁固定，在蓝宝石单晶生长炉的炉壁上环绕设置有若干通孔，杆体贯穿支撑块和炉壁，与支撑块螺纹相连，密封圈与通孔形成密封。
[0005]优选的，所述推移部为金属圆柱。
[0006]优选的，所述调节杆的数量为8个，均匀环绕分布在所述炉壁上。
[0007]优选的，所述密封槽和密封圈的数量均为3个。
[0008]本技术与现有技术相比具有以下有益效果。
[0009]在蓝宝石单晶生长炉安装本技术后，需要对热场调节时，不需要拆装热场，只需要调节调节杆的位置即可对热场进行调节。本技术能够减少人力成本，缩短热场调节时间，提高蓝宝石生产效率和生长质量。
附图说明
[0010]图1为本技术提供的调节杆的结构示意图。
[0011]图2为本技术的结构示意图。
[0012]图3为沿图2中A-A线的剖视图。
[0013]图中，1-手柄，2-支撑块，3-外螺纹，4-密封槽，5-密封圈，6-杆体，7-推移部，8-炉壁，9-真空层，10-热场外壳，11-坩埚。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术做进一步的说明。
[0015]如图1、图2所示，本技术一种蓝宝石热场位置调节装置，应用在蓝宝石单晶生长炉，包括调节杆，调节杆包括手柄1、支撑块2、杆体6和推移部7，杆体6的一端与手柄1连接，杆体6的另一端与推移部连接，杆体6靠近手柄1的一侧设有外螺纹3，外螺纹3的一侧设有若干个密封槽4以及设置在密封槽4内的密封圈5， 支撑块2内设有内螺孔，支撑块2的一端与炉壁8的外壁固定，在蓝宝石单晶生长炉的炉壁8上环绕设置有若干通孔，杆体6贯穿支撑块2和炉壁8，与支撑块2螺纹相连，密封圈5与通孔形成密封。
[0016]本实施例中，推移部7为金属圆柱。密封槽4和密封圈5的数量均为3个。调节杆的数量为8个，均匀环绕分布在炉壁8上。手柄1与杆体6为可拆卸设计。
[0017]对本技术的工作过程和原理进一步说明：如图3所示，在在蓝宝石单晶生长炉的炉壁8上环绕地开设8个通孔，通孔的直径大小需使得杆体6通过，支撑块2与通孔同轴设置。杆体6上的密封槽4和密封圈5构成密封部，密封部的长度要超过炉壁8的壁厚。炉壁1内的热场有一个热场外壳10。手柄1的推移部贴紧热场外壳10。热场外壳10内放置坩埚11。设置密封部的原因是炉壁8与热场外壳10之间存在真空层9，需要保证在移动热场时不破坏真空层9的真空。热场大约重1吨。热场外壳10由不锈钢制作，到炉壁8的距离为1-5cm。当热场内的温度梯度不均匀时，通过旋转各个方向的手柄1，使推移部7推动热场外壳10，可以对热场进行0-2cm的位置平移。通过测量手柄1伸出炉壁8的距离，来确定热场外壳10的准确位置。当热场调节完毕，不需要热场移动时，拧紧手柄1，固定热场位置，可以解决外部震动对热场的影响。通过本调节装置，移动热场不需要拆装炉子，可以有效的调整热场内的温度梯度，进而提高蓝宝石生长的质量。
[0018]上面结合附图对本技术的实施例作了详细说明，但是本技术并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗旨的前提下作出各种变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石热场位置调节装置，应用在蓝宝石单晶生长炉，其特征在于：包括调节杆，调节杆包括手柄（1）、支撑块（2）、杆体（6）和推移部（7），杆体（6）的一端与手柄（1）连接，杆体（6）的另一端与推移部连接，杆体（6）靠近手柄（1）的一侧设有外螺纹（3），外螺纹（3）的一侧设有若干个密封槽（4）以及设置在密封槽（4）内的密封圈（5）， 支撑块（2）内设有内螺孔，支撑块（2）的一端与炉壁（8）的外壁固定，在蓝宝石单晶生长炉的炉壁（8）上环绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，李庆，张国威，
申请(专利权)人：山西中聚晶科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：