一种边缘耦合器制造技术

技术编号:28061640 阅读:32 留言:0更新日期:2021-04-14 13:40
本发明专利技术设计一款边缘耦合器,可以直接与激光器耦合,也可以迁移应用到各种需要模斑变换的光路耦合场景。该边缘耦合器在垂直方向上设计了两层波导阵列结构,在波导阵列光输出端设计聚光波导结构,该聚光波导将两层波导阵列结构的光聚合,并输出耦合后的光束。该聚光波导可以通过光刻工艺直接与两层波导阵列物理连接,可以利用古斯

【技术实现步骤摘要】
一种边缘耦合器


[0001]本专利技术涉及光耦合半导体器件,具体涉及一种用于耦合激光器或光纤光束的边缘耦合器。

技术介绍

[0002]随着信息技术的发展,高度集成化小型化逐步成为各类半导体器件发展的主流方向。光通信领域,由于光束耦合的特殊需求,光器件封装工艺复杂、组件繁多,封装尺寸较大,减小光器件对光模块尺寸优化具有重要意义。
[0003]目前业内光电芯片与激光器、光纤之间的耦合大多采用多透镜方案,例如激光器出光端,采用透镜先将激光器的出射光(发射高斯光束)准直、聚焦到光波导,过程中会使用两组透镜阵列,增加了激光器耦合的工艺复杂度,同时增大了封装后半导体器件的尺寸。
[0004]公司已开发了平面多波导阵列边缘耦合器,用于匹配激光器或光纤的大光模斑尺寸,在光束传播慢轴方向的耦合效率得到了一定改善。但是,在激光器出光端口,其快轴方向的偏移角度较慢轴方向更大,现有的平面多波导阵列设置于慢轴平面,无法将边缘耦合器的模斑尺寸与光束快轴方向的偏移角度匹配,快轴方向的光泄露,严重制约了耦合效率的提高。

技术实现思路

[0005本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘耦合器,其特征在于:包括第一包覆层、第二包覆层、基板、聚光波导层以及两层条形波导阵列,所述条形波导阵列中的第一层设置于第一包覆层、第二包覆层之间,所述条形波导阵列中的第二层设置于所述第二包覆层、基板之间;所述聚光波导光输入端与第一层、第二层所述条形波导阵列的光输出端耦接,所述聚光波导汇聚所述条形波导阵列的第一层、第二层传输的光束。2.根据权利要求1所述的边缘耦合器,其特征在于:所述聚光波导为薄片形,其与两层条形波导阵列平行设置;所述聚光波导光输入端置于两层条形波导阵列光输出端之间,其间设置间隙。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑俊守周奇黄小伟王宗旺夏晓亮
申请(专利权)人:杭州芯耘光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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