一种双向粗糙度检测硅棒处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种硅棒领域，尤其涉及一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明专利技术的技术问题是：提供一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明专利技术的技术实施方案为：一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有安装机架、运行控制屏、第一轴承架板、第二轴承架板、长距离电动滑柱和粗糙度检测系统等；运行控制屏与安装机架相连接。本发明专利技术实现了对硅棒表面环向和纵向的双向粗糙度检测，粗糙度合格的硅棒直接进行加热氧化处理，粗糙度不合格的则直接进行表面重新打磨处理直至其粗糙度合格并且能够对检测装置与硅棒接触的位置进行扫刷，而且还能够对砂纸进行弹动、振动，将砂纸打磨面积累的硅粉除去的效果。的效果。的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种双向粗糙度检测硅棒处理装置


[0001]本专利技术涉及一种硅棒领域，尤其涉及一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。
[0003]目前，现有技术中硅棒常常用来进行硅片切割，在进行切割之前需要对硅棒进行粗糙度检测，但是现有技术中人工进行硅棒表面粗糙度检测，人工无法对硅棒表面进行精准检测，同时人工检测无法将硅棒表面完全检测，只会针对硅棒表面部分区域进行粗糙度检测，即部分表面粗糙度不一的硅棒其表面的粗糙程度不同但并未检测到其表面某些粗糙度较大的位置，即影响后续硅棒切片，得到的硅片外环面不平整，并且人工检测过程中只会针对一个方向对硅棒表面进行粗糙度检测，无法得到更能反映硅棒表面真实粗糙程度的值，影响后续硅棒切片的质量。
[0004]针对上述问题，我们提出了一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术中硅棒常常用来进行硅片切割，在进行切割之前需要对硅棒进行粗糙度检测，但是现有技术中人工进行硅棒表面粗糙度检测，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有：安装机架；运行控制屏，运行控制屏与安装机架相连接；第一轴承架板，第一轴承架板上方与安装机架进行焊接；其特征是，还包括有：第二轴承架板，第二轴承架板上方与安装机架进行焊接；长距离电动滑柱，长距离电动滑柱与安装机架相连接；粗糙度检测系统，粗糙度检测系统与安装机架相连接，粗糙度检测系统与第一轴承架板相连接，粗糙度检测系统与长距离电动滑柱相连接；打磨调整系统，打磨调整系统与安装机架相连接，打磨调整系统与粗糙度检测系统相连接，打磨调整系统与第一轴承架板相连接，打磨调整系统与第二轴承架板相连接；高温氧化系统，高温氧化系统与安装机架相连接，高温氧化系统与打磨调整系统相连接，高温氧化系统与第二轴承架板相连接。2.按照权利要求1所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：粗糙度检测系统包括有：动力电机，动力电机下方与安装机架进行螺栓连接；第一转轴杆，第一转轴杆与动力电机输出轴进行固接，第一转轴杆与安装机架进行转动连接，第一转轴杆与打磨调整系统相连接；第一传动轮，第一传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；第二传动轮，第二传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；第三传动轮，第三传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；第四传动轮，第四传动轮外环面通过皮带与第一传动轮进行传动连接；第一平齿轮，第一平齿轮轴心与第四传动轮进行固接，第一平齿轮轴心与安装机架进行转动连接；第二平齿轮，第二平齿轮与第一平齿轮进行啮合；第一电动推杆，第一电动推杆与第二平齿轮进行转动连接，第一电动推杆与安装机架相连接；第三平齿轮，第三平齿轮与第二平齿轮进行啮合；第一丝杆，第一丝杆与第三平齿轮进行固接，第一丝杆与安装机架进行转动连接，第一丝杆与第一轴承架板进行转动连接；内螺纹滑动板，内螺纹滑动板内侧与第一丝杆进行传动连接；第一限位滑杆，第一限位滑杆外表面与内螺纹滑动板进行滑动连接，第一限位滑杆与安装机架进行焊接，第一限位滑杆与第一轴承架板进行焊接；第二电动推杆，第二电动推杆上方与内螺纹滑动板相连接；摩擦检测计，摩擦检测计上方与第二电动推杆进行螺栓连接；第五传动轮，第五传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接；第二转轴杆，第二转轴杆外表面与第五传动轮进行固接，第二转轴杆与安装机架进行转动连接；轮刷，轮刷轴心与第二转轴杆进行固接；
第六传动轮，第六传动轮外环面通过皮带与第三传动轮进行传动连接；第三转轴杆，第三转轴杆与第六传动轮进行固接，第三转轴杆与第一轴承架板进行转动连接；第四平齿轮，第四平齿轮轴心与第三转轴杆进行固接；第五平齿轮，第五平齿轮与第四平齿轮进行啮合；第一固定筒，第一固定筒外表面与第五平齿轮进行固接；电动滑动台，电动滑动台上方与第一固定筒进行转动连接，电动滑动台与长距离电动滑柱进行滑动连接；第二固定筒，第二固定筒与电动滑动台进行转动连接。3.按照权利要求2所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：打磨调整系统包括有：第一锥齿轮，第一锥齿轮轴心与第一转轴杆进行固接；第二锥齿轮，第二锥齿轮与第一锥齿轮进行啮合，；第七传动轮，第七传动轮轴心与第二锥齿轮进行固接，第七传动轮与安装机架进行转动连接；第八传动轮，第八传动轮外环面通过皮带与第七传动轮进行传动连接，第八传动轮与安装机架进行转动连接；第九传动轮，第九传动轮与第八传动轮进行传动连接；第三锥齿轮，第三锥齿轮轴心与第九传动轮进行固接；第四锥齿轮，第四锥齿轮与第三锥齿轮进行啮合；第四转轴杆，第四转轴杆与第四锥齿轮进行固接；第十传动轮，第十传动轮轴心与第四转轴杆进行固接，第十传动轮与高温氧化系统相连接；第三轴承架板，第三轴承架板与第四转轴杆进行转动连接，第三轴承架板与第九传动轮进行转动连接，第三轴承架板下方与安装机架进行螺栓连接；第十一传动轮，第十一传动轮与第九传动轮进行传动连接，第十一传动轮与第二轴承架板进行转动连接，第十一传动轮与高温氧化系统相连接；第十二传动轮，第十二传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，第十二传动轮另一侧与第八传动轮进行传动连接，第十二传动轮与第一轴承架板进行转动连接；第十三传动轮，第十三传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，并且第十三传动轮另一侧与第十二传动轮进行传动连接；第六平齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文解，
申请(专利权)人：张文解，
类型：发明
国别省市：