多层光栅结构制造技术

本发明专利技术提供了一种多层光栅结构。多层光栅结构包括：基底结构；光栅结构，光栅结构与基底结构连接，光栅结构为多个，多个光栅结构间隔设置，光栅结构包括至少两个光栅层，且相邻两个光栅层的折射率不同；其中，光栅结构为倾斜光栅结构，倾斜光栅结构与基底结构之间的夹角小于45

【技术实现步骤摘要】
多层光栅结构


[0001]本专利技术涉及衍射光学设备
，具体而言，涉及一种多层光栅结构。

技术介绍

[0002]随着未来科技的不断创新，虚拟现实(VR)，增强现实(AR)，混合现实(MR)已经逐步进入工业教育等行业，其中在AR增强现实方面，光波导技术是不可缺少的一步，光栅作为目前光波导主流设计方案中主要的耦入、转折、耦出元件，对其性能要求也是十分苛刻的。目前很难实现在整个视场角下光栅都具有高效率且具有良好的角度均匀性，以至于不同视场角的光很难平衡到一个均匀且高效的效果，由于常规光栅(单一材料光栅)特性使得大多数设计的光栅会出现某个角度下衍射级次效率很高，而在其他角度时效率很低。因此不同角度下效率不均匀现象是目前光波导设计中较为关键且亟待解决的问题。
[0003]也就是说，现有技术中光栅结构存在衍射效率不均匀的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种多层光栅结构，以解决现有技术中光栅结构存在衍射效率不均匀的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种多层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层光栅结构，其特征在于，包括：基底结构(10)；光栅结构(20)，所述光栅结构(20)与所述基底结构(10)连接，所述光栅结构(20)为多个，多个所述光栅结构(20)间隔设置，所述光栅结构(20)包括至少两个光栅层，且相邻两个所述光栅层的折射率不同；其中，所述光栅结构(20)为倾斜光栅结构，所述倾斜光栅结构与所述基底结构(10)之间的夹角小于45
°
，所述光栅结构(20)的光栅周期小于1.5倍入射波长。2.根据权利要求1所述的多层光栅结构，其特征在于，沿垂直于所述基底结构(10)的方向所述光栅结构(20)的光栅层中远离所述基底结构(10)的光栅层为第一光栅层(21)，与所述第一光栅层(21)连接的光栅层为第二光栅层(22)，所述第一光栅层(21)的折射率小于所述第二光栅层(22)的折射率。3.根据权利要求1所述的多层光栅结构，其特征在于，所述倾斜光栅结构的截面面积向远离所述基底结构(10)的方向逐渐减小。4.根据权利要求2所述的多层光栅结构，其特征在于，所述第一光栅层(21)的折射率大于等于1.45且小于等于2.9，所述第一光栅层(21)的深度大于等于10nm且小于等于600nm。5.根据权利要求2所述的多层光栅结构，其特征在于，所述第一光栅层(21)的材料包括氮化硅、氮氧化硅、二氧化钛、二氧化铈、氧化铝、五氧化二钽、二氧化硅、掺杂二氧化硅、硼磷酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、聚合物、氧化铍、氟化钙、氟化铈、冰晶石、氟化铬、氟化镧、氟化锶、氟化镱中的一种。6.根据权利要求2所述的多层光栅结构，其特征在于，所述第二光栅层(22)的折射率大于等于1.5且小于等于4.8；和/或所述第二光栅层(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹正坤，孙理斌，汪杰，陈远，
申请(专利权)人：宁波舜宇奥来技术有限公司，
类型：发明
国别省市：