处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法。其技术课题为，容易地掌握处理装置可否稳定地运转。解决手段为：提供了如下结构，至少具有：对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部，基于从由部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和数据匹配控制部所获取的用力监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息。的信息。的信息。

【技术实现步骤摘要】
处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法
[0001]本申请是申请日为2017年3月6日，申请号为201710128701.7，专利技术名称为“处理装置、装置管理控制器、以及装置管理方法”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及对衬底进行处理的衬底处理装置，例如，涉及可掌握对衬底进行成膜处理的半导体制造装置的运转状态的技术。

技术介绍

[0003]在半导体制造领域中，为了谋求衬底处理装置的运转率和生产效率的提高，以器件制造商(半导体器件的制造商)为主体进行着装置的信息管理。作为基本的监视方法，通常使用如下方法：通过服务器收集半导体制造装置的信息，利用统计解析技术等来检查装置的异常。
[0004]例如，在专利文献1中记载了对数据的健全性进行管理的方法，在专利文献2中记载了与发生了数据异常时的异常解析有关的技术，在专利文献3中记载了对构成衬底处理装置的部件进行保养管理的技术。这些技术是与衬底处理装置连接的管理装置对衬底处理装置的运转状态进行管理的技术。/>[0005]但是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种处理装置，其特征在于，具备装置管理控制器和显示装置，所述装置管理控制器至少具有对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、和对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部，所述装置管理控制器构成为，基于所述部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据及所述装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据中的至少一个监视结果数据，导出对装置的运用状态进行评价的信息，所述显示装置构成为，将至少一个画面显示于操作画面，该至少一个画面是显示所述保养时期监视结果数据及所述装置状态监视结果数据中的至少一个监视结果数据的画面以及显示对所述装置的运用状态进行评价的信息的画面中的至少一个画面。2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述装置管理控制器构成为，基于从由所述保养时期监视结果数据和所述装置状态监视结果数据构成的组中选择的至少一个监视结果数据中的、被判定为异常的监视结果数据，导出对所述装置的运用状态进行评价的信息。3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述装置管理控制器构成为，针对包含装置的结构部位的多个诊断对象项目的每一个，对所述保养时期监视结果数据或者所述装置状态监视结果数据判定异常的程度。4.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述部件管理控制部构成为，分别对构成装置的结构部件的部件数据和与所述部件数据对应的阈值进行比较，根据所述部件数据是否超过了阈值来判定更换时期。5.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述装置状态监视控制部构成为，对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据和与所述装置数据对应的标准数据进行比较，来判定所述装置数据是否异常。6.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，所述装置状态监视控制部构成为，能够与具有所述标准数据的主装置通信连接，从所述主装置获取所述标准数据。7.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，所述装置管理控制器构成为，根据对所述装置数据和所述基准数据进行比较而判定为异常的所述装置状态监视结果数据的数量，使所述显示装置以不同方式显示。8.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，还具有存储部，该存储部分别存储构成装置的结构部件的部件数据、和与所述部件数据对应的阈值，所述装置管理控制器构成为，根据对所述部件数据和所述基准数据进行比较而判定为异常的所述保养时期监视结果数据的数量，使所述显示装置进行图标显示。9.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述显示装置构成为，能够在显示从所述保养时期监视结果数据和所述装置状态监视结果数据中选择的至少一个监视结果数据的画面上，作为成为所述装置状态监视的对象的装置的结构部位，显示表示反应室、移载室、装载室、搬送系统的项目。10.根据权利要求9所述的处理装置，其特征在于，
与所述反应室有关的诊断对象是从由反应室温度、反应室压力、向反应室供给的气体(处理气体和稀释气体等)的流量、将反应室的气体排出的排气压、向反应室的结构物供给的冷却水的流量构成的组中选择的至少一个。11.根据权利要求9所述的处理装置，其特征在于，所述显示装置构成为，能够将产生了所述异常的所述装置的结构部位以能够辨别出为异常的方式显示。12.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述显示装置还具有示意性地显示装置的整体概要图的画面，所述显示装置构成为能够将与产生了所述异常的装置的结构部位相当的部分以能够辨别出为异常的方式显示。13.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，还具有数据匹配控制部，该数据匹配控制部对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视，所述数据匹配控制部构成为，分别对与顾客必需能力项目有关的所述设备数据和成为该设备数据的基准的基准数据进行比较，来判定所述设备数据是否异常，所述顾客必需能力项目是从工厂设备供给的项目。14.根据权利要求13所述的处理装置，其特征在于，所述数据匹配控制部构成为，根据对所述设备数据和所述基准数据进行比较而判定为异常的所述设备数据的有无，来显示表示产生了异常的图标。15.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述显示装置还具有显示对装...

【专利技术属性】
技术研发人员：浅井一秀，山本一良，林原秀元，川岸隆之，屋敷佳代子，宫田幸男，岩仓裕幸，奥野正则，藤元贤一，锻治隆一，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：