检测元件、放射线检测装置以及康普顿相机制造方法及图纸

检测元件，具备：露出电极，在绝缘基板的第1面侧露出，并且包括第1露出电极、配置在第1露出电极的第1方向上的第2露出电极、配置在与第1露出电极的第1方向相交的第2方向上的第3露出电极、以及配置在第2露出电极的第2方向和第3露出电极的第1方向上的第4露出电极；第1电极图案，配置在第1面的相反侧，包括与第1露出电极和第2露出电极连接的图案以及与第3露出电极和第4露出电极连接的图案；第2电极图案，具有第1露出部，包括沿着第2方向配置的图案，第1露出部在第1面侧露出，与露出电极分离地配置；和第3电极图案，具有第2露出部，包括沿着第3方向配置并且通过第1电极图案和第2电极图案夹着第3电极图案的图案，第2露出部在第1面侧露出，并与露出电极以及第2电极图案分离地配置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测元件、放射线检测装置以及康普顿相机
本公开涉及检测元件、放射线检测装置以及康普顿相机。
技术介绍
基于像素型电极的气体电子放大型的放射线检测装置的研究正在推进。这样的放射线检测装置通过使用像素型电极来检测放射线。此时，能够检测带电粒子的轨迹(例如，专利文献1)。使用该手法的放射线检测装置作为正电子放射断层成像(PET：PositronEmissionTomography)检查、单一光子放射断层成像(SPECT：SinglePhotonEmissionComputedTomography)检查之类的使用发出极微量的放射线的药剂(放射性同位素)作为标记，从而进行疾病的诊断、治疗的核医学用的图像装置而使用。此外，作为其他领域，期待作为监测环境中的放射线剂量的装置的应用。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-6047号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题根据专利文献1所公开的放射线检测装置，放射线(带电粒子)通过和气体相互作用而产生电子，并且在像素型电极处捕捉该电子，由此间接地检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测元件，其特征在于，具备：/n露出电极，作为在绝缘基板的第1面侧露出地配置的多个露出电极，至少包括第1露出电极、配置在所述第1露出电极的第1方向上的第2露出电极、配置在与所述第1露出电极的第1方向相交的第2方向上的第3露出电极、以及配置在所述第2露出电极的所述第2方向且配置在所述第3露出电极的所述第1方向上的第4露出电极；/n第1电极图案，作为配置在所述绝缘基板的第1面的相反侧的第2面侧的第1电极图案，至少包括通过第1贯通电极与所述第1露出电极和所述第2露出电极连接的图案、以及通过第2贯通电极与所述第3露出电极和所述第4露出电极连接的图案；/n第2电极图案，作为具有第1露出部的第2电...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180913 JP 2018-1716461.一种检测元件，其特征在于，具备：
露出电极，作为在绝缘基板的第1面侧露出地配置的多个露出电极，至少包括第1露出电极、配置在所述第1露出电极的第1方向上的第2露出电极、配置在与所述第1露出电极的第1方向相交的第2方向上的第3露出电极、以及配置在所述第2露出电极的所述第2方向且配置在所述第3露出电极的所述第1方向上的第4露出电极；
第1电极图案，作为配置在所述绝缘基板的第1面的相反侧的第2面侧的第1电极图案，至少包括通过第1贯通电极与所述第1露出电极和所述第2露出电极连接的图案、以及通过第2贯通电极与所述第3露出电极和所述第4露出电极连接的图案；
第2电极图案，作为具有第1露出部的第2电极图案，至少包括与所述第1露出电极和所述第3露出电极对应且沿着所述第2方向配置的图案、以及与所述第2露出电极和所述第4露出电极对应且沿着所述第2方向配置的图案，所述第1露出部在所述第1面侧露出，并与所述露出电极分离地配置；和
第3电极图案，作为具有第2露出部的第3电极图案，至少包括沿着将所述第1露出电极和所述第4露出电极连结的第3方向配置，并且配置为通过所述第1电极图案和所述第2电极图案夹着所述第3电极图案的图案，所述第2露出部在所述第1面侧露出，并与所述露出电极以及所述第2电极图案分离地配置。


2.根据权利要求1所述的检测元件，其特征在于，
所述第2电极图案具有包围一个所述露出电极的第1开口部，
所述第3电极图案具有包围一个所述露出电极的第2开口部，
所述第1开口部的宽度大于所述第2开口部的宽度。


3.根据权利要求1所述的检测元件，其特征在于，
所述第3电极图案的所述第2露出部与所述第2电极图案配置在相同的层。


4.根据权利要求3所述的检测元件，其特征在于，
所述露出电极与所述第2电极图案配置在相同的层。


5.根据权利要求1所述的检测元件，其特征在于，
所述第1电极图案、所述第2电极图案以及所述第3电极图案的至少任意一者在包围所述第1露出电极、所述第2露出电极以及所述第4露出电极的区域中被电连接。


6.根据权利要求1所述的检测元件，其特征在于，
在所述第2面侧中，具有所述第1电极图案上的绝缘层。


7.根据权利要求1所述的检测元件，其特征在于，
所述第1露出电极和所述第2露出电极被相邻地配置，
所述第1露出电极和所述第3露出电极被相邻地配置，
所述第1露出电极和所述第4露出电极被相邻地配置。


8.根据权利要求7所述的检测元件，其特征在于，
所述第1露出电极和所述第2露出电极的距离、所述第1露出...

【专利技术属性】
技术研发人员：高田淳史，谷森达，太田浩平，本村知久，大东良一，岛田修，
申请(专利权)人：国立大学法人京都大学，大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP