光学构件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种能够比较廉价地制造的轻质的光学构件及其有效的制造方法，该光学构件是因温度上升而导致的变形被抑制，且外观颜色被充分黑色化或暗色化的光学构件。本发明专利技术的光学构件的特征在于：具有由钛或钛合金构成的基材和形成于该基材的表面的掺碳氧化钛层。掺碳氧化钛层中的碳的含量优选为0.1～15at％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学构件及其制造方法
本专利技术涉及一种要求表面的黑色化或暗色化的光学构件及其制造方法。
技术介绍
对于构成数码相机、数码摄像机和带照相机的手机等光学设备的各种光学部件(框架、框架内部的各种支撑部、快门叶片和光圈等)所使用的光学构件而言，除了要求轻质以外，还要求表面的光反射率低，通常使表面的黑色度变高。另外，对于作为光刻工序中使用的光学部件即防护膜组件用的防护膜框而言，也通过使表面成为黑色或暗色，能够更容易且可靠地进行使用前的异物无附着检査等。即，从检査性的观点考虑，要求防护膜框的表面为黑色或暗色。另外，也有时在高温环境下保持这些光学部件，当热膨胀所导致的变形较大时，光学部件无法充分表现其性能。特别是，对于曝光装置而言，由于有提高生产率(生产量)的要求，为了增大光源输出或回路线宽度的微细化，进行了曝光光源的短波长化，在作为光路的光学构件中，温度上升所导致的变形成了问题。目前，由于比重小并且切削加工性良好的原因，作为光学构件可以使用铝，但铝的线膨胀系数高，铝制的光学构件容易因温度上升而发生变形。对此，关于光学构件的原材料，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学构件，其特征在于：/n具有：/n由钛或钛合金构成的基材；和/n形成于所述基材的表面的掺碳氧化钛层。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180831 JP 2018-1629701.一种光学构件，其特征在于：
具有：
由钛或钛合金构成的基材；和
形成于所述基材的表面的掺碳氧化钛层。


2.如权利要求1所述的光学构件，其特征在于：
所述掺碳氧化钛层中的碳的含量为0.1～15at％。


3.如权利要求1或2所述的光学构件，其特征在于：
所述碳以Ti－C键的状态掺杂。


4.如权利要求1～3中任一项所述的光学构件，其特征在于：
表面的明度指数L*值为40以下。


5.如权利要求1～4中任一项所述的光学构件，其特征在于：
反射率为25％以下。


6.如权利要求1～5中任一项所述的光学构件，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭塚章，大嶋毅士，中野耕一，
申请(专利权)人：日本轻金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP