圆筒状溅射靶的捆包体的制造方法及捆包体技术

本发明专利技术的课题在于提供捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，并且能够在保持使圆筒状溅射靶横卧的状态的情况下容易地打开包装。本发明专利技术涉及下述捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】圆筒状溅射靶的捆包体的制造方法及捆包体
本专利技术涉及圆筒状溅射靶的捆包体的制造方法，更详细而言，涉及圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法、以及所述捆包体。
技术介绍
圆筒状溅射靶(也称为圆筒型溅射靶或旋转溅射靶)的主体部具有圆筒状的形状(以下，将具有圆筒状的形状的主体部也称为圆筒部)。通过在使圆筒状溅射靶旋转的同时对圆筒部的表面进行溅射，从而能够在与圆筒状溅射靶相对地输送的对象物上形成来源于所溅射的材料的膜。圆筒状溅射靶通常被保护膜保护，被保护膜保护的圆筒状靶以被片状缓冲材料捆包的状态流通，在这样的状态下被搬运·保存等。圆筒状溅射靶通过用片状缓冲材料捆包而被保护，由此，能防止因冲击等而在溅射靶的表面(特别是作为溅射面的圆筒部表面)产生损伤。更详细而言，如图6所示，在以往的圆筒状溅射靶的捆包体70中，对于圆筒状溅射靶61而言，将1张片状缓冲材料63沿周向R缠绕2周(图示的方式中，为了容易辨别而在圆筒状溅射靶61与片状缓冲材料63之间及片状缓冲材料63的层间示出间隙。这样的间隙存在或不存在均可)，利用胶带67(在单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180921 JP 2018-1768461.捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。


2.如权利要求1所述的捆包体的制造方法，其中，所述片状缓冲材料通过被折叠而形成了2层或2层以上的层。


3.如权利要求1或2所述的捆包体的制造方法，其中，使所述片状缓冲材料的两端部以它们中的一个端部的外侧面与另一个端部的内侧面接触的方式叠合。


4.如权利要求1或2所述的捆包体的制造方法，其中，使所述片状缓冲材料的两端部以它们中的一个端部的内侧面与另一个端部的内侧面接触的方式叠合。


5.如权利要求1～4中任一项所述的捆包体的制造方法，其中，将所述片状缓冲材料的两端部在所述圆筒状溅射靶的长度方向上非连续地相互固定。


6.如权利要求1～5中任一项所述的捆包体的制造方法，其中，利用选自由胶带、粘接剂及粘合剂组成的组中的至少一者将所述片状缓冲材料的两端部相互固定。


7.如权利要求1～6中任一项所述的捆包体的制造方法，其中，所述片状缓冲材料为气泡缓冲材料。


8.如权利要求1～7中任一项所述的捆包体的制造方法，其中，所述圆筒状溅射靶具有500mm以上的长度，并且具有20kg以上的质量。


9.如权利要求1～8中任一项所述的捆包...

【专利技术属性】
技术研发人员：塚田洋行，西冈宏司，黑田稔显，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP