一种散热性好的磁浮平面电机及其工作方法技术

本发明专利技术公开一种散热性好的磁浮平面电机及其工作方法，包括通电线圈阵列、永磁体阵列，通电线圈阵列安装于基板上，永磁体阵列设置于载物台内，基板安装于上座体上，基板上方设置有安装罩，载物台上安装有四个安装壳，安装壳上设置有缓冲板，上座体上安装有四个散热鳍片，散热鳍片可以加速上座体内腔的散热，上座体内设置有四个挡板，四个散热鳍片与四个挡板一一对应，挡板的设置可以保证磁浮平面电机不使用时外界的灰尘不会通过散热鳍片进入上座体内,上座体内设置有第一合流腔、第二合流腔。本发明专利技术可以满足不同高度的调节，进而满足不同高度的载物台的使用，同时万向轮可以从升降板内调节进出，方便磁浮平面电机的移动。

【技术实现步骤摘要】
一种散热性好的磁浮平面电机及其工作方法
本专利技术涉及磁浮平面电机设计
，具体涉及一种散热性好的磁浮平面电机及其工作方法。
技术介绍
随着光刻技术的进步和半导体工业的快速发展，对于光刻设备有四项基本性能指标：线宽均匀性(CD，CriticalDimensionUniformity)、焦深(Focus)、套刻(Overlay)和产率(Throughput)。为了提高线宽均匀性，工件台或掩模台必须提高水平向精密定位能力；为了提高焦深误差精度，工件台或掩模台必须提高垂向精密定位能力；为了提高光刻机套刻误差精度，工件台或掩模台必须提高其内部模态来提升动态定位特性。光刻定位平台需在一个近似平面的空间范围内进行六自由度精密运动控制，包括：在水平X轴、Y轴方向实现大行程运动，用于实现晶圆的快速步进和精密扫描；在Z轴方向实现微小运动以及绕Z轴、Y轴和Z轴的微小转动，用于实现调焦调平。由于磁浮平面电机不仅可实现多自由度运动，且与传统H型或十字型平面电机结构相比，具有结构简单紧凑，整体刚度高，驱动简单，无机械摩擦和无反冲等优点，利于实现更高的加速性能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，包括通电线圈阵列(4)、永磁体阵列(6)，所述通电线圈阵列(4)安装于基板(2)上，所述永磁体阵列(6)设置于载物台(5)内，所述基板(2)安装于上座体(1)上，所述基板(2)上方设置有安装罩(3)，所述载物台(5)上安装有四个安装壳(8)，所述安装壳(8)上设置有缓冲板(10)，所述上座体(1)上安装有四个散热鳍片(11)，所述上座体(1)内设置有四个挡板(15)，四个散热鳍片(11)与四个挡板(15)一一对应，所述上座体(1)内设置有第一合流腔(16)、第二合流腔(17)，所述第一合流腔(16)与第二合流腔(17)之间转动设置有四个蛇形管(18)...

【技术特征摘要】
1.一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，包括通电线圈阵列(4)、永磁体阵列(6)，所述通电线圈阵列(4)安装于基板(2)上，所述永磁体阵列(6)设置于载物台(5)内，所述基板(2)安装于上座体(1)上，所述基板(2)上方设置有安装罩(3)，所述载物台(5)上安装有四个安装壳(8)，所述安装壳(8)上设置有缓冲板(10)，所述上座体(1)上安装有四个散热鳍片(11)，所述上座体(1)内设置有四个挡板(15)，四个散热鳍片(11)与四个挡板(15)一一对应，所述上座体(1)内设置有第一合流腔(16)、第二合流腔(17)，所述第一合流腔(16)与第二合流腔(17)之间转动设置有四个蛇形管(18)，所述上座体(1)下方设置有下座体(33)，所述下座体(33)内设置有两个固定板(27)，两个固定板(27)之间设置有冷却水箱(22)、冷凝泵(25)，所述固定板(27)下方设置有升降板(32)。


2.根据权利要求1所述的一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，四个安装壳(8)分别安装于载物台(5)四侧边，所述安装壳(8)内设置有两个缓冲弹簧(9)，两个缓冲弹簧(9)均连接缓冲板(10)，所述缓冲板(10)滑动贯穿安装壳(8)一侧，所述安装壳(8)四处拐角位置均安装有防撞块(7)。


3.根据权利要求1所述的一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，四个散热鳍片(11)对称安装于上座体(1)两侧，所述上座体(1)内转动设置有两个第一丝杠(12)，所述第一丝杠(12)两端螺纹面沿中部呈对称设置，所述第一丝杠(12)两端螺纹连接两个调节块(14)，所述调节块(14)与挡板(15)固定连接，所述挡板(15)滑动连接上座体(1)内壁，所述上座体(1)同侧外壁安装有两个安装电机(13)，两个安装电机(13)与两个第一丝杠(12)一一对应，所述安装电机(13)输出轴连接第一丝杠(12)。


4.根据权利要求1所述的一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，所述蛇形管(18)上安装有皮带轮一(19)，所述上座体(1)内设置有驱动电机(21)，所述驱动电机(21)输出轴连接皮带轮二(20)，四个皮带轮一(19)与皮带轮二(20)之间通过皮带传动连接。


5.根据权利要求1所述的一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，所述第一合流腔(16)与冷却水箱(22)之间设置有回流管(23)，所述回流管(23)连通第一合流腔(16)、冷却水箱(22)，所述冷却水箱(22)与冷凝泵(25)之间设置有连接管(24)，所述连接管(24)安装于冷凝泵(25)抽水口，所述连接管(24)与冷却水箱(22)相连通，所述第二合流腔(17)与冷凝泵(25)之间设置有输送管(26)，所述输送管(26)安装于冷凝泵(25)出水口，所述输送管(26)与第二合流腔(17)相连通。


6.根据权利要求1所述的一种散热性好的磁浮平面电机，其特征在于，所述固定板(27)下表面安装有固定电机(28)，所述固定电机(28)输出轴连接第二丝杠(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：于建英，夏立影，
申请(专利权)人：常州迅捷磁浮技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32