介质波导滤波器及其制备方法技术

本公开涉及介质波导滤波器及其制备方法，该介质波导滤波器的制备方法包括：形成介质本体，所述介质本体包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有盲孔；在所述盲孔的底部进行光刻，形成用于调低频率的辅助孔；在所述介质本体的表面形成图案化的金属层。本公开实施例提供的技术方案中，通过采用光刻工艺，在盲孔底部形成用于调低频率的辅助孔，可实现将滤波器的频率向低频调节，改善了生产过程中频率偏高批次产品的频率无法下调的问题；且由于采用了非接触调试方法，相比于传统打磨调试方式，有利于减少损耗，降低调试成本。

【技术实现步骤摘要】
介质波导滤波器及其制备方法
本公开涉及通信
，尤其涉及一种介质波导滤波器及其制备方法。
技术介绍
随着通信技术的发展，对通信装置中滤波器(包括陶瓷介质波导滤波器，简称陶瓷滤波器)的尺寸和性能方面要求较高，陶瓷滤波器在5G领域的应用具有优势，随着5G基站大规模建设，其将充分受益于5G技术带来的变革。陶瓷滤波器的制备方式主要是在介质陶瓷表面镀上金属层，在金属层上去掉不需要的金属材料形成所需的金属图案，即进行去金属化处理，以形成耦合电容图形，实现滤波的功能。为满足陶瓷滤波器的频率需求，在陶瓷滤波器的生产加工中，需要对其频率进行调试。传统采用人工打磨的方式去除不需要的金属材料，但该方式形成微小尺寸的难度较大，且耗材较多，成本较高。为了改善上述问题，可采用光刻工艺进行频率调试。但光刻工艺中，光源从上往下垂直光刻，限制了调试只能从低频往高频方向调试，在批量生产中无法对频率高的产品(即滤波器)进行电性能调试。
技术实现思路
为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种介质波导滤波器及其制备方法。...

【技术保护点】
1.一种介质波导滤波器的制备方法，其特征在于，包括：/n形成介质本体，所述介质本体包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有盲孔；/n在所述盲孔的底部进行光刻，形成用于调低频率的辅助孔；/n在所述介质本体的表面形成图案化的金属层。/n

【技术特征摘要】
1.一种介质波导滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
形成介质本体，所述介质本体包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有盲孔；
在所述盲孔的底部进行光刻，形成用于调低频率的辅助孔；
在所述介质本体的表面形成图案化的金属层。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述形成介质本体包括：
将陶瓷介质材料压制成生坯；
在预设温度下将所述生坯烧结成陶瓷介质本体。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，当所述介质波导滤波器的频率需要降低时，增大所述辅助孔的深度和/或增大所述辅助孔的截面面积。


4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述在所述盲孔的底部进行光刻，包括：
在预设光束半径和预设光束能量下，光刻所述盲孔的底部；
其中，所述辅助孔的截面面积与所述光束半径呈正比例，所述辅助孔的深度与所述光束能量呈正比例。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：金志刚，黎健，曾卓玮，
申请(专利权)人：京信射频技术广州有限公司，京信通信技术广州有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44