基于超声振动式机械手的Micro LED阵列方法技术

本发明专利技术公开了一种基于超声振动式机械手的Micro LED阵列方法，包括底板、通过四个支撑柱连接在底板一端的顶板、设于顶板底面的滑移抓取机构、设于底板上且位于顶板下方的料盘、设于底板另一端的光学良率检测机构以及设于底板上且位于料盘与光学良率检测机构之间的干燥震动机构；并在可控超声震动器的工作下使Micro LED在竖直方向振动进行Micro LED之间静电吸附排列以及在水平方向振动进行Micro LED传送，然后利用光学良率检测机构确保Micro LED阵列的排列良率，实现微米级微元件的高良率定向排列。

【技术实现步骤摘要】
基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法
本专利技术涉及一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法。
技术介绍
MicroLED(微型发光二极管)是将LED结构设计进行薄膜化、微小化、阵列化，其尺寸仅在1μm～10μm等级左右，由于其具有良好的稳定性及寿命，以及低功耗、色彩饱和度高、对比度强、反应速度快等优势，被广泛的应用在显示领域。目前限制MicroLED显示技术发展的瓶颈主要包括巨量转移技术，巨量转移技术即如何将大量微小尺度的MicroLED转移到大尺寸的转移板上，是Micro-LED产品量产化的重要技术。在对MircoLED单体进行转移之前，需要对其进行定向均匀化排列，而目前并没有一种对如此尺寸量级的微元件进行定向排列，且保证排列良率的有效手段。因此，急需提供一种既能对如此尺寸量级的微元件进行定向排列，又能保证排列良率的装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法。为实现上述目的，本专利技术的具体方案如下：一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法，包括底板、通过四个支撑柱连接在底板一端的顶板、设于顶板底面的滑移抓取机构、设于底板上且位于顶板下方的料盘、设于底板另一端的光学良率检测机构以及设于底板上且位于料盘与光学良率检测机构之间的干燥震动机构；所述滑移抓取机构包括设于顶板底面的直线滑移部件、设于直线滑移部件的输出端上的垂直位移部件、设于垂直位移部件的输出端上的超声磁性抓取头，所述直线滑移部件用于带动超声磁性抓取头沿水平方向移动，所述垂直位移部件用于带动超声磁性抓取头沿竖直方向移动，所述超声磁性抓取头通过一悬臂连接在垂直位移部件上，所述悬臂的一端连接在垂直位移部件的输出端上，所述悬臂的另一端连接在超声磁性抓取头上；所述超声磁性抓取头包括压电微动片、第一超声震动器和座体，所述压电微动片设于悬臂上，所述第一超声震动器设于压电微动片上，所述座体设于第一超声震动器上，所述座体的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片，每个所述微震动片的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极，所述线性磁电极具有吸附平面；所述干燥震动机构包括可控超声震动器、料槽、U形的隔离罩、静压氮气喷板，所述可控超声震动器设于底板上，所述料槽设于可控超声震动器，所述隔离罩的开口朝下，所述隔离罩的两端固定在可控超声震动器上，所述静压氮气喷板固定在隔离罩的内顶面上并位于料槽的上方；所述光学良率检测机构包括第二超声震动器、发光源、光学玻璃板、荧光板支架和荧光接收板，所述第二超声震动器设于底板上并贴靠可控超声震动器远离料盘的一端，所述第二超声震动器具有容置槽，所述发光源设于容置槽内，所述光学玻璃板固定在容置槽上并位于发光源的上方，所述荧光板支架设于第二超声震动器上，所述荧光接收板设于荧光板支架与光学玻璃板相对的表面上。其中，所述线性磁电极的横截面为正八边形，其外接圆直径为MicroLED两引脚间距的2/3；所述线性磁电极的棱角处设有圆角，所述圆角的半径为线性磁电极的外接圆直径的1/8。其中，所述料槽的表面设有一层聚四氟乙烯涂层。其中，所述发光源为紫外线光源。其中，所述光学良率检测机构还包括分光透镜，所述分光透镜设于发光源与光学玻璃板之间。本专利技术的有益效果为：本专利技术通过滑移抓取机构利用超声微震动原理与电磁线性吸附原理相结合实现MicroLED的定向吸附抓取，然后利用干燥震动机构的静压氮气喷板对MicroLED进行干燥处理，并在可控超声震动器的工作下使MicroLED在竖直方向振动进行MicroLED之间静电吸附排列以及在水平方向振动进行MicroLED传送，然后利用光学良率检测机构确保MicroLED阵列的排列良率，实现微米级微元件的高良率定向排列。附图说明图1是MicroLED的示意图；图2是本专利技术的结构示意图；图3是本专利技术的滑移抓取机构的结构示意图；图4是本专利技术的超声磁性抓取头的结构示意图；图5是图4中I处的局部放大示意图；图6是本专利技术的干燥震动机构的结构示意图；图7是本专利技术的光学良率检测机构的结构示意图；附图标记说明：1-底板；2-顶板；3-滑移抓取机构；31-直线滑移部件；32-垂直位移部件；33-超声磁性抓取头；331-压电微动片；332-第一超声震动器；333-座体；334-微震动片；335-线性磁电极；34-悬臂；4-料盘；5-光学良率检测机构；51-第二超声震动器；52-发光源；53-光学玻璃板；54-荧光板支架；55-荧光接收板；56-分光透镜；6-干燥震动机构；61-可控超声震动器；62-料槽；63-隔离罩；64-静压氮气喷板。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细的说明，并不是把本专利技术的实施范围局限于此。如图1所示，为了便于MicroLED的定向排列，生产MicroLED时，在其两引脚之间的凹槽上沉积一层铁磁材料，形成铁磁性沉积层，使MicroLED带有磁性。如图2至图7所示，本实施例所述的一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法，包括底板1、通过四个支撑柱连接在底板1一端的顶板2、设于顶板2底面的滑移抓取机构3、设于底板1上且位于顶板2下方的料盘4、设于底板1另一端的光学良率检测机构5以及设于底板1上且位于料盘4与光学良率检测机构5之间的干燥震动机构6；所述滑移抓取机构3包括设于顶板2底面的直线滑移部件31、设于直线滑移部件31的输出端上的垂直位移部件32、设于垂直位移部件32的输出端上的超声磁性抓取头33，所述直线滑移部件31用于带动超声磁性抓取头33沿水平方向移动，所述垂直位移部件32用于带动超声磁性抓取头33沿竖直方向移动，所述超声磁性抓取头33通过一悬臂34连接在垂直位移部件32上，所述悬臂34的一端连接在垂直位移部件32的输出端上，所述悬臂34的另一端连接在超声磁性抓取头33上；所述超声磁性抓取头33包括压电微动片331、第一超声震动器332和座体333，所述压电微动片331设于悬臂34上，所述第一超声震动器332设于压电微动片331上，所述座体333设于第一超声震动器332上，所述座体333的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片334，每个所述微震动片334的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极335，所述线性磁电极335具有吸附平面；所述干燥震动机构6包括可控超声震动器61、料槽62、U形的隔离罩63、静压氮气喷板64，所述可控超声震动器61设于底板1上，所述料槽62设于可控超声震动器61，所述隔离罩63的开口朝下，所述隔离罩63的两端固定在可控超声震动器61上，所述静压氮气喷板64固定在隔离罩63的内顶面上并位于料槽62的上方；所述光学良率检测机构5包括第二超声震动器51、发光源52、光学玻璃板53、荧光板支架54和荧光接收板55，所述第二超声震动器51设于底板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于超声振动式机械手的Micro LED阵列方法，其特征在于，包括底板（1）、通过四个支撑柱连接在底板（1）一端的顶板（2）、设于顶板（2）底面的滑移抓取机构（3）、设于底板（1）上且位于顶板（2）下方的料盘（4）、设于底板（1）另一端的光学良率检测机构（5）以及设于底板（1）上且位于料盘（4）与光学良率检测机构（5）之间的干燥震动机构（6）；/n所述滑移抓取机构（3）包括设于顶板（2）底面的直线滑移部件（31）、设于直线滑移部件（31）的输出端上的垂直位移部件（32）、设于垂直位移部件（32）的输出端上的超声磁性抓取头（33），所述直线滑移部件（31）用于带动超声磁性抓取头（33）沿水平方向移动，所述垂直位移部件（32）用于带动超声磁性抓取头（33）沿竖直方向移动，所述超声磁性抓取头（33）通过一悬臂（34）连接在垂直位移部件（32）上，所述悬臂（34）的一端连接在垂直位移部件（32）的输出端上，所述悬臂（34）的另一端连接在超声磁性抓取头（33）上；/n所述超声磁性抓取头（33）包括压电微动片（331）、第一超声震动器（332）和座体（333），所述压电微动片（331）设于悬臂（34）上，所述第一超声震动器（332）设于压电微动片（331）上，所述座体（333）设于第一超声震动器（332）上，所述座体（333）的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片（334），每个所述微震动片（334）的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极（335），所述线性磁电极（335）具有吸附平面；/n所述干燥震动机构（6）包括可控超声震动器（61）、料槽（62）、U形的隔离罩（63）、静压氮气喷板（64），所述可控超声震动器（61）设于底板（1）上，所述料槽（62）设于可控超声震动器（61），所述隔离罩（63）的开口朝下，所述隔离罩（63）的两端固定在可控超声震动器（61）上，所述静压氮气喷板（64）固定在隔离罩（63）的内顶面上并位于料槽（62）的上方；/n所述光学良率检测机构（5）包括第二超声震动器（51）、发光源（52）、光学玻璃板（53）、荧光板支架（54）和荧光接收板（55），所述第二超声震动器（51）设于底板（1）上并贴靠可控超声震动器（61）远离料盘（4）的一端，所述第二超声震动器（51）具有容置槽，所述发光源（52）设于容置槽内，所述光学玻璃板（53）固定在容置槽上并位于发光源（52）的上方，所述荧光板支架（54）设于第二超声震动器（51）上，所述荧光接收板（55）设于荧光板支架（54）与光学玻璃板（53）相对的表面上；/n工作时，将批量的Micro LED平铺在料盘4上，然后直线位移电机带动垂直位移部件32和超声磁性抓取头33移动至料盘4的正上方，然后垂直位移部件32的电磁推杆工作，带动超声磁性抓取头33下探，同时每个线性磁电极335通电并产生磁场，在接近料盘4中的MicroLED时，超声磁性抓取头33的压电微动片331工作，使线性磁电极335缓缓接触料盘4上的Micro LED，防止Micro LED被压伤造成Micro LED放置后产生功能性不良，此时Micro LED被不规则吸附，随后超声磁性抓取头33的第一超声震动器332工作，带动每个微震动片334使线性磁电极335震动，使得线性磁电极335的吸附平面与Micro LED凹槽内的铁磁性沉积层接触并吸附，完成Micro LED的抓取，通过设置吸附平面，使得线性磁电极335的磁性只有在线性磁电极335的吸附平面与Micro LED的铁磁性沉积层接触才能抓取住Micro LED，这样就使得Micro LED只能被定向吸附，完成Micro LED的定向吸附抓取；/nMicro LED被定向吸附抓取完成后，电磁推杆带动超声磁性抓取头33上升，同时直线位移电机带动超声磁性抓取头33朝向干燥震动机构6移动，且使超声磁性抓取头33伸入隔离罩63内，然后电磁推杆再次带动超声磁性抓取头33下探，然后超声磁性抓取头33的每个线性磁电极335断电，使被吸附住的Micro LED放置在料槽62的靠近料盘4的一端，此时静压氮气喷板64会喷出干燥氮气，对Micro LED进行干燥，且能够清洁Micro LED表面，与此同时，可控超声震动器61带动料槽62上的Micro LED进行上下震动，在干燥环境中，Micro LED与Micro LED之间的立面相互摩擦产生静电，使得Micro LED之间相互吸附，避免Micro LED之间的空隙部位产生降低产品排列良率，然后可控超声震动器61带动料槽62上的Micro LED进行水平震动，使排列在一起的Micro LED朝向光学良率检测机构5方向移动，并移动至光学良率检测机构5的光学玻璃板53上；/n排列完成的Micro LED移动至光学玻璃板53...

【技术特征摘要】
1.一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法，其特征在于，包括底板（1）、通过四个支撑柱连接在底板（1）一端的顶板（2）、设于顶板（2）底面的滑移抓取机构（3）、设于底板（1）上且位于顶板（2）下方的料盘（4）、设于底板（1）另一端的光学良率检测机构（5）以及设于底板（1）上且位于料盘（4）与光学良率检测机构（5）之间的干燥震动机构（6）；
所述滑移抓取机构（3）包括设于顶板（2）底面的直线滑移部件（31）、设于直线滑移部件（31）的输出端上的垂直位移部件（32）、设于垂直位移部件（32）的输出端上的超声磁性抓取头（33），所述直线滑移部件（31）用于带动超声磁性抓取头（33）沿水平方向移动，所述垂直位移部件（32）用于带动超声磁性抓取头（33）沿竖直方向移动，所述超声磁性抓取头（33）通过一悬臂（34）连接在垂直位移部件（32）上，所述悬臂（34）的一端连接在垂直位移部件（32）的输出端上，所述悬臂（34）的另一端连接在超声磁性抓取头（33）上；
所述超声磁性抓取头（33）包括压电微动片（331）、第一超声震动器（332）和座体（333），所述压电微动片（331）设于悬臂（34）上，所述第一超声震动器（332）设于压电微动片（331）上，所述座体（333）设于第一超声震动器（332）上，所述座体（333）的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片（334），每个所述微震动片（334）的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极（335），所述线性磁电极（335）具有吸附平面；
所述干燥震动机构（6）包括可控超声震动器（61）、料槽（62）、U形的隔离罩（63）、静压氮气喷板（64），所述可控超声震动器（61）设于底板（1）上，所述料槽（62）设于可控超声震动器（61），所述隔离罩（63）的开口朝下，所述隔离罩（63）的两端固定在可控超声震动器（61）上，所述静压氮气喷板（64）固定在隔离罩（63）的内顶面上并位于料槽（62）的上方；
所述光学良率检测机构（5）包括第二超声震动器（51）、发光源（52）、光学玻璃板（53）、荧光板支架（54）和荧光接收板（55），所述第二超声震动器（51）设于底板（1）上并贴靠可控超声震动器（61）远离料盘（4）的一端，所述第二超声震动器（51）具有容置槽，所述发光源（52）设于容置槽内，所述光学玻璃板（53）固定在容置槽上并位于发光源（52）的上方，所述荧光板支架（54）设于第二超声震动器（51）上，所述荧光接收板（55）设于荧光板支架（54）与光学玻璃板（53）相对的表面上；
工作时，将批量的MicroLED平铺在料盘4上，然后直线位移电机带动垂直位移部件32和超声磁性抓取头33移动至料盘4的正上方，然后垂直位移部件32的电磁推杆工作，带动超声磁性抓取头33下探，同时每个线性磁电极335通电并产生磁场，在接近料盘4中的MicroLED时，超声磁性抓取头33的压电微动片331工作，使线性磁电极335缓缓接触料盘4上的MicroLED，防止MicroLED被压伤造成MicroLED放置后产生功能性不良，此时MicroLED被不规则吸附，随后超声磁性抓...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄加伟，
申请(专利权)人：斯佩新昌科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33