电感部件和电感部件的制造方法技术

本发明专利技术提供能够抑制在本体的内部中电感布线的位置与设计位置的背离的电感部件和电感部件的制造方法。在电感部件中，在本体的内部设置有电感布线(31)。电感布线(31)具有布线主体(60)和在电感布线(31)的高度方向上与布线主体(60)邻接的裙部(70)。布线主体(60)的高度方向的尺寸大于裙部(70)的高度方向的尺寸。裙部(70)在高度方向上越离开布线主体(60)则电感布线(31)的宽度方向的尺寸越大。裙部(70)的末端(72)的宽度方向的尺寸(X1)大于布线主体(60)的宽度方向的尺寸(X0)。

【技术实现步骤摘要】
电感部件和电感部件的制造方法
本专利技术涉及电感部件和电感部件的制造方法。
技术介绍
专利文献1记载有在具有磁性的本体的内部设置有布线的电感部件的一个例子。专利文献1：日本特开2016-6830号公报对于如上述那样在本体的内部设置有布线的电感部件而言，有时布线的位置相对于设计位置背离。设计位置是通过设计决定的布线的位置。若像这样在本体的内部，布线的位置相对于设定位置背离，则存在电感部件的性能改变的担忧。因此，谋求抑制布线的位置与设计位置间的背离。
技术实现思路
用于解决上述课题的电感部件具备：本体，其具有磁性；和电感布线，其沿着上述本体的内部的第1平面上设置。在将与上述第1平面正交的方向作为上述电感布线的高度方向，将沿着上述第1平面的方向中的与上述电感布线的延伸方向和上述高度方向双方正交的方向作为上述电感布线的宽度方向。在这种情况下，上述电感布线具有布线主体和在上述高度方向上与上述布线主体邻接的裙部。上述布线主体的上述高度方向的尺寸大于上述裙部的上述高度方向的尺寸，上述裙部在上述高度方向上越离开上述布线主体则上述宽度方向的尺寸越大。在将上述裙部的上述高度方向的靠上述布线主体侧的端部作为基端，将上述裙部的上述高度方向的上述布线主体相反侧的端部作为末端的情况下，上述裙部的上述末端的上述宽度方向的尺寸大于上述布线主体的上述宽度方向的尺寸。在与电感布线邻接的部分膨胀或收缩的情况下，有时欲使电感布线在上述宽度方向上位移的力亦即位移力作用于电感布线。电感布线的上述高度方向的尺寸越大，则这样的位移力越大。而且，在将电感布线的上述高度方向的一端所面接触的部分作为被接触部分的情况下，若该电感布线的上述高度方向的一端与被接触部分间的紧贴力小，则存在由于位移力使电感布线的上述宽度方向的位置改变的担忧。此处，若该电感布线的上述高度方向的一端的上述宽度方向的尺寸越大，则电感布线的上述高度方向的一端所面接触的被接触部分与该电感布线的上述高度方向的一端之间的紧贴力越大。因此，在上述结构中，电感布线具有布线主体和裙部。裙部的基端与布线主体连接。而且，裙部的末端的上述宽度方向的尺寸大于布线主体的上述宽度方向的尺寸。因此，与电感布线不具有裙部的情况比较，电感布线的上述高度方向的一端处的上述宽度方向的尺寸变大。作为其结果，电感布线的上述高度方向的一端与被接触部分之间的紧贴力变大。由此，即便上述那样的位移力作用于电感布线，也能够与紧贴力大对应地抑制因位移力而使电感布线在上述宽度方向上位移。用于解决上述课题的电感部件的制造方法是在具有磁性的本体的内部设置有电感布线的电感部件的制造方法。该制造方法具备：树脂层形成工序，在基板上形成树脂层；晶种膜形成工序，在上述树脂层上形成晶种膜；图案形成工序，通过在上述晶种膜上对保护膜进行刻画图案，从而形成上述电感部件的开口有上述电感布线形状的布线图案；能量降低工序，使上述晶种膜的表面能量降低；导电层形成工序，在将上述晶种膜中的没有被上述保护膜覆盖的部分作为晶种层的情况下，对上述布线图案供给导电性材料，从而形成导电层，由此通过该导电层和上述晶种层形成上述电感布线；保护膜除去工序，除去上述保护膜；以及本体形成工序，除去上述基板和上述树脂层中至少上述基板，形成在内部设置有上述电感布线的上述本体。根据上述结构，通过执行导电层形成工序，从而形成电感布线。在通过保护膜除去工序除去保护膜时，有时电感布线从保护膜受到上述位移力。此时，若电感布线与树脂层之间的紧贴力小，则存在电感布线在上述宽度方向上位移的担忧。在上述结构中，通过能量降低工序，使晶种膜的表面能量降低。这样，晶种膜与保护膜之间的紧贴性降低，因此保护膜中的划分布线图案的部分从晶种膜剥离。在该状态下通过导电层形成工序将导电性材料向布线图案供给。此时，导电性材料也流入从晶种膜剥离了的保护膜与这晶种膜之间的间隙。作为其结果，形成具有布线主体和在上述高度方向上与布线主体邻接的裙部的电感布线。由此，与电感布线不具有裙部的情况比较，能够使电感布线中与树脂层接触的面的上述宽度方向的尺寸变大。即，相对于电感布线从保护膜受到的位移力，电感布线与树脂层之间产生的紧贴力没有变小。因此，即便在保护膜除去工序中位移力从保护膜作用于电感布线，也能够与紧贴力大对应地抑制由于位移力使电感布线在上述宽度方向上位移。而且，通过得到保护膜除去工序和本体形成工序，能够制造上述的电感部件。根据上述电感部件和电感部件的制造方法，能够抑制在本体的内部中电感布线的位置与设计位置之间的背离。附图说明图1是示意性地表示电感部件的一实施方式的立体图。图2是该电感部件的剖视图。图3是表示在图2中的3-3线处剖切了该电感部件的情况下的剖切面的图。图4是将该电感部件的电感布线的剖切面放大的图。图5是对电感部件的制造方法的一实施方式进行说明的流程图。图6是该制造方法的说明图。图7是该制造方法的说明图。图8是该制造方法的说明图。图9是该制造方法的说明图。图10是该制造方法的说明图。图11是该制造方法的说明图。图12是该制造方法的说明图。图13是该制造方法的说明图。图14是该制造方法的说明图。图15是表示实施例的电感部件与比较例的电感部件的比较结果的表。图16是表示变更例的电感部件的电感布线的剖切面的图。附图标记说明10…电感部件；20…本体；31、32、131…电感布线；33MAX…最大部位；35…晶种层；36…导电层；50…树脂层；60、260…布线主体；60A…连结区域；61…连结部位；70、270…裙部；71…基端；72…末端；100…基板；135…晶种膜；150…树脂层；150A…基底树脂层；150B…图案用树脂层；160…保护膜；PT…布线图案；VI…第1平面。具体实施方式以下，根据图1～图15对电感部件和电感部件的制造方法的一实施方式进行说明。此外，附图有时为了容易理解而将构成要素放大示出。有时构成要素的尺寸比率与实际情况不同，或者与其他图中的内容不同。另外，在剖视图中标注剖面线，但有时为了容易理解而省略一部分构成要素的剖面线。＜电感部件＞如图1所示，电感部件10具备由磁性材料构成的本体20。即，本体20具有磁性。例如，本体20由包含金属磁性粉的树脂构成。在由包含金属磁性粉的树脂构成本体20的情况下，作为金属磁性粉，可举出例如铁、镍、铬、铜和铝以及它们的合金。另外，作为包含金属磁性粉的树脂，可举出环氧树脂等树脂材料。若考虑绝缘性、成形性，则优选将聚酰亚胺树脂、丙烯酸树脂、酚醛树脂采用为该树脂。此外，在通过包含金属磁性粉的树脂构成本体20的情况下，对于本体20而言，优选金属磁性粉相对于其全重量包含60wt％以上。另外，为了提高包含金属磁性粉的树脂的填充性，进一步优选使树脂包含重度分布不同的两种或者三种金属磁性粉。此外，本体20也可以取代金属磁性粉而由包含铁氧体粉的树脂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电感部件，其特征在于，具备：/n本体，其具有磁性；和/n电感布线，其沿着所述本体的内部的第1平面上设置，/n在将与所述第1平面正交的方向作为所述电感布线的高度方向，将沿着所述第1平面的方向中的与所述电感布线的延伸方向和所述高度方向双方正交的方向作为所述电感布线的宽度方向的情况下，/n所述电感布线具有：布线主体和在所述高度方向上与所述布线主体邻接的裙部，/n所述布线主体的所述高度方向的尺寸大于所述裙部的所述高度方向的尺寸，所述裙部在所述高度方向上越离开所述布线主体则所述宽度方向的尺寸越大，/n在将所述裙部的所述高度方向的靠所述布线主体侧的端部作为基端，将所述裙部的所述高度方向的所述布线主体相反侧的端部作为末端的情况下，/n所述裙部的所述末端的在所述宽度方向上的尺寸大于所述布线主体的在所述宽度方向上的尺寸。/n

【技术特征摘要】
20191008 JP 2019-1851651.一种电感部件，其特征在于，具备：
本体，其具有磁性；和
电感布线，其沿着所述本体的内部的第1平面上设置，
在将与所述第1平面正交的方向作为所述电感布线的高度方向，将沿着所述第1平面的方向中的与所述电感布线的延伸方向和所述高度方向双方正交的方向作为所述电感布线的宽度方向的情况下，
所述电感布线具有：布线主体和在所述高度方向上与所述布线主体邻接的裙部，
所述布线主体的所述高度方向的尺寸大于所述裙部的所述高度方向的尺寸，所述裙部在所述高度方向上越离开所述布线主体则所述宽度方向的尺寸越大，
在将所述裙部的所述高度方向的靠所述布线主体侧的端部作为基端，将所述裙部的所述高度方向的所述布线主体相反侧的端部作为末端的情况下，
所述裙部的所述末端的在所述宽度方向上的尺寸大于所述布线主体的在所述宽度方向上的尺寸。


2.根据权利要求1所述的电感部件，其特征在于，
所述布线主体具有连结区域，所述连结区域在所述高度方向上越离开所述裙部的连结部位则所述宽度方向的尺寸越大。


3.根据权利要求1或2所述的电感部件，其特征在于，
在将该电感布线的与所述电感布线的延伸方向正交的横截面中所述高度方向的尺寸中的最大的尺寸作为最大尺寸的情况下，
所述最大尺寸比所述裙部的所述末端的所述宽度方向的尺寸之比为“0.89”以下。


4.根据权利要求1或2所述的电感部件，其特征在于，
在将该电感布线的与所述电感布线的延伸方向正交的横截面中所述高度方向的尺寸中的最大的尺寸作为最大尺寸的情况下，
所述最大尺寸比所述裙部的所述末端的所述宽度方向的尺寸之比为“0.86”以下。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的电感部件，其特征在于，
所述电感布线是彼此组成不同的晶种层和导电层在所述高度方向上排列的构造，
通过所述晶种层构成所述裙部的所述末端。


6.根据权利要求5所述的电感部件，其特征在于，
所述晶种层的所述高度方向的尺寸不足所述裙部的所述高度方向的尺寸的一半。


7.根据权利要求1～6中任一项所述的电感部件，其特征在于，
还具备：设置于所述本体的内部的树脂层，
所述裙部的所述末端与所述树脂层...

【专利技术属性】
技术研发人员：三宅敢，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP