高低温探针台测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高低温探针台测试装置，高低温探针台测试装置包括：底座、冷热台组件和多个探针组件。底座限定出盛放腔；底座设置有循环冷媒接口，冷热台组件设置于底座且对被测元件进行升温及降温，冷热台位于盛放腔内；多个探针组件设置于盛放腔。由此，通过底座、冷热台组件和多个探针组件配合，冷热台组件能够对被测元件升温和降温，可以为被测元件提供一个变化的热场，并且，多个探针组件可同时对多个被测元件的电学、电化学等参数进行检测，可以提升高低温探针台测试装置的检测效率，同时，高低温探针台测试装置可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。

【技术实现步骤摘要】
高低温探针台测试装置
本技术涉及检测领域，尤其是涉及一种高低温探针台测试装置。
技术介绍
目前半导体及生物化学等材料被广泛研究，材料的发展也制约着科技的发展，如何开发出更高端的新材料成为当下热点，众所周知，材料受温度、电信号、周围环境等影响，这也就需要对测量装置的不断升级，满足材料测量要求。相关技术中，现有高低温探针台测试装置比较笨重，无法进行实现升温降温控制或测试耗费的制冷剂及电量多，无法进行多通道测试及不能同时施加电场、温度场、气氛环境，且无法实现高低温同时兼容，不能测试样品表面温度。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出了一种高低温探针台测试装置，该高低温探针台测试装置能够使高低温探针台测试装置同时对多个被测元件的温度进行检测，可以提升高低温探针台测试装置的工作效率。根据本技术的高低温探针台测试装置包括：底座，所述底座限定出盛放腔，所述盛放腔密封为被测元件提供真空环境或者气氛环境，所述底座设置有循环冷媒接口；冷热台组件，所述冷热台组件设置于所述底座，且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高低温探针台测试装置，其特征在于，包括：/n底座，所述底座限定出盛放腔，所述盛放腔密封为被测元件提供真空环境或者气氛环境，所述底座设置有循环冷媒接口；/n冷热台组件，所述冷热台组件设置于所述底座且对所述被测元件进行升温及降温，所述冷热台组件的冷热台位于所述盛放腔内；/n多个探针组件，多个所述探针组件可移动地设置于所述盛放腔，多个所述探针组件适于与所述冷热台配合以检测所述被测元件。/n

【技术特征摘要】
1.一种高低温探针台测试装置，其特征在于，包括：
底座，所述底座限定出盛放腔，所述盛放腔密封为被测元件提供真空环境或者气氛环境，所述底座设置有循环冷媒接口；
冷热台组件，所述冷热台组件设置于所述底座且对所述被测元件进行升温及降温，所述冷热台组件的冷热台位于所述盛放腔内；
多个探针组件，多个所述探针组件可移动地设置于所述盛放腔，多个所述探针组件适于与所述冷热台配合以检测所述被测元件。


2.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件围绕所述冷热台布置且相对所述冷热台可移动；
所述冷热台为扁平状。


3.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，还包括：
多个安装座，多个所述安装座设置于所述盛放腔内，多个所述安装座与多个所述探针组件一一对应，所述探针组件可移动地设置于所述安装座；
绝缘底板，所述绝缘底板设置于所述安装座与所述底座之间。


4.根据权利要求3所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件包括：第一探针组件，所述第一探针组件包括第一探针杆、第一探针轴、第一探针头和热电偶，所述第一探针杆可移动地设置于所述安装座，所述第一探针轴设置于所述第一探针杆，所述第一探针头设置于所述第一探针轴，所述热电偶设置于所述第一探针头，所述热电偶适于与所述冷热台止抵。


5.根据权利要求3所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件包括：第二探针组件和第三探针组件，所述第二探针组件和所述第三探针组件均包括第二探针杆、第二探针轴和第二探针头，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖钊，肖石，汪金文，
申请(专利权)人：上海同果智能科技有限公司，果果仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31