【技术实现步骤摘要】
一种自动化光学测量仪
本技术涉及激光
，尤其涉及一种自动化光学测量仪。
技术介绍
激光的光学参数有功率或能量、光谱、近场光斑、远场光斑及发散角、光束质量因子M2。激光功率与能量一般用激光功率能量计测量，激光的光谱及中心波长λ可用光纤光谱仪测量，激光近场光斑一般用光束截面分析仪来测量，激光远场光斑及发散角、光束质量因子M2一般用M2分析仪测量。一般M2分析仪只能通过测量激光聚焦后约5倍瑞利长度范围内约20个不同位置的光斑，从而找到聚焦后的束腰直径ω及发散角θ，并得到M2＝(πωθ)/(4λ)，M2聚焦前后保持不变，从而得到聚焦前原始光斑的M2。在实现本技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：聚焦光斑的束腰位置不一定是在聚焦镜的名义焦距点上，在聚焦镜的名义焦距F处的光斑直径d不一定是束腰直径ω，而未聚焦前的原始光斑发散角Θ定义为Θ＝d/F。一般的激光光束要么需要搭建光路测量功率或能量、光谱，要么需要搭建另一个光路测量近场光斑，要么需要搭建第三个光路测量聚焦后的远场光斑及发散角、光束质量因子M2，不能做...
【技术保护点】
1.一种自动化光学测量仪，其特征在于，包括：第一分光镜、反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、中性滤光片、光束分析仪、聚焦镜、功率能量计、光纤光谱仪、第二分光镜以及第三分光镜，所述第一分光镜、反射镜、聚焦镜、第二分光镜以及功率能量计由上至下依次同轴设置，所述第三分光镜、第一直角棱镜、中性滤光片以及光束分析仪依次同轴设置，所述第二分光镜远离所述第一分光镜的一侧设置有所述光纤光谱仪，所述第一直角棱镜的一侧平行设置有所述第二直角棱镜，所述反射镜的位置可移动，入射激光光束经过第一分光镜后，依次通过聚焦镜以及第二分光镜，一部分透射至功率能量计，一部分反射至所述第三分光镜，到达第三分光镜...
【技术特征摘要】
1.一种自动化光学测量仪，其特征在于，包括：第一分光镜、反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、中性滤光片、光束分析仪、聚焦镜、功率能量计、光纤光谱仪、第二分光镜以及第三分光镜，所述第一分光镜、反射镜、聚焦镜、第二分光镜以及功率能量计由上至下依次同轴设置，所述第三分光镜、第一直角棱镜、中性滤光片以及光束分析仪依次同轴设置，所述第二分光镜远离所述第一分光镜的一侧设置有所述光纤光谱仪，所述第一直角棱镜的一侧平行设置有所述第二直角棱镜，所述反射镜的位置可移动，入射激光光束经过第一分光镜后，依次通过聚焦镜以及第二分光镜，一部分透射至功率能量计...
【专利技术属性】
技术研发人员：王川，王辉文，
申请(专利权)人：武汉东隆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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