【技术实现步骤摘要】
一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统及其控制方法
本专利技术涉及运动控制
，具体为一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统及其控制方法。
技术介绍
随着激光技术的不断发展以及激光技术深入半导体行业，激光已经在半导体领域多道工序取得成功应用。广为熟知的激光打标，使得精细的半导体芯片标识不再是个难题。激光切割半导体晶圆，一改传统接触式刀轮切割弊端，解决了诸如刀轮切割易崩边、切割慢、易破坏表面结构等诸多问题。运动控制起源于早期的伺服控制。简单地说，运动控制就是对机械运动部件的位置、速度等进行实时的控制管理，使其按照预期的运动轨迹和规定的运动参数进行运动。早期的运动控制技术主要是伴随着数控技术、机器人技术和工厂自动化技术的发展而发展的。早期的运动控制器实际上是可以独立运行的专用的控制器，往往无需另外的处理器和操作系统支持，可以独立完成运动控制功能、工艺技术要求的其他功能和人机交互功能。这类控制器可以成为独立运行的运动控制器。这类控制器主要针对专门的数控机械和其他自动化设备而设计，往往已根据应用行业的工艺要求...
【技术保护点】
1.一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在于：所述高精度运动控制系统包括有上位机、通讯模块、执行机构和动态检测装置，所述上位机依据所需要的切割工况对工况进行数字化建模并生成相应的控制执行指令，所述执行机构用于对上位机所发送的控制执行指令进行执行，所述动态检测装置用于对执行机构进行监测和位置识别，所述通讯模块用于接收上位机以及动态检测装置的相应指令和信号，并发送传递相应信号至执行机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在于：所述高精度运动控制系统包括有上位机、通讯模块、执行机构和动态检测装置，所述上位机依据所需要的切割工况对工况进行数字化建模并生成相应的控制执行指令，所述执行机构用于对上位机所发送的控制执行指令进行执行，所述动态检测装置用于对执行机构进行监测和位置识别，所述通讯模块用于接收上位机以及动态检测装置的相应指令和信号，并发送传递相应信号至执行机构。
2.根据权利要求1所述的一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在：所述执行机构具体为驱动电机带动激光切割设备，所述驱动电机为伺服电机或步进电机，且所述驱动电机至少设有一组。
3.根据权利要求1所述的一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在于：所述通讯模块具体采用TCP/IP或CAN总线通讯协议。
4.根据权利要求1所述的一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在于：所述上位机具体采用ARM+FPGA架构，所述上位机中设有ARM板和FPGA板。
5.根据权利要求4所述的一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统，其特征在于：所述ARM板包括交互界面、编译模块、控制模块以及文件管理，所述交互界面用于显示和输入相应信息，编译模块用于对信号进行编译处理，所述控制模块基于切割工况进行数字化建模生成相应控制指令，所述文...
【专利技术属性】
技术研发人员：上官端森，蒋冰，
申请(专利权)人：苏州华光智控电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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