一种基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器制造技术

本公开提供了一种基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器，包括：第一马赫曾德尔干涉仪、第二马赫曾德尔干涉仪及第三马赫曾德尔干涉仪，第一马赫曾德尔干涉仪的两个输出端通过连接波导分别与第二马赫曾德尔干涉仪的输入端及第三马赫曾德尔干涉仪的输入端相连构成二级滤波器级联结构，其中，第一马赫曾德尔干涉仪、第二马赫曾德尔干涉仪及第三马赫曾德尔干涉仪均包括分光器、相移波导及合束器，其中，分光器用于将输入光束进行50∶50均匀分光，得到两路光束；相移波导用于将两路光束中不同波长的光通过相位干涉输出两路特定相位波长的光；合束器用于将两路特定相位波长的光进行合束，并分别输出至连接波导。

【技术实现步骤摘要】
一种基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器
本公开涉及光纤通信与集成光学
，具体涉及基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器。
技术介绍
随着网络和通讯技术的发展，人们对于信息量的需求成爆炸式增长。传统的电通信已经无法满足人们的需求，光通信正在引领通信领域的潮流。波分复用(WDM，Wavelength-DivisionMultiplexing)技术是光通信系统中的关键技术，是当前提升光网络通信容量的核心内容之一。其中信道间隔20nm的粗波分复用技术，被广泛应用于各种短距离互联。基于级联马赫曾德尔干涉仪(Mach-Zehnderinterferometer，MZI)结构的滤波器是一种常见的波分复用器。相较于阵列波导光栅(ArrayedWaveguideGrating，AWG)，波导布拉格光栅(WaveguideBraggGrating)等方案，级联马赫曾德尔干涉仪同时具有较低的串扰与损耗，以及较小的器件尺寸。但是，传统的级联马赫曾德尔多为非等臂长的结构，较多的波导弯曲会加大器件的损耗。同时该结构工艺容差较差，波导宽度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器，其特征在于，包括：第一马赫曾德尔干涉仪(1)、第二马赫曾德尔干涉仪(2)及第三马赫曾德尔干涉仪(3)，所述第一马赫曾德尔干涉仪的两个输出端通过连接波导(4)分别与所述第二马赫曾德尔干涉仪的输入端及所述第三马赫曾德尔干涉仪的输入端相连构成二级滤波器级联结构，其中，/n所述第一马赫曾德尔干涉仪(1)、所述第二马赫曾德尔干涉仪(2)及所述第三马赫曾德尔干涉仪(3)均包括分光器(10)、相移波导(20)及合束器(30)，其中，所述分光器(10)用于将输入光束进行50：50均匀分光，得到两路光束；所述相移波导(20)用于将所述两路光束中不同波长的光...

【技术特征摘要】
1.一种基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器，其特征在于，包括：第一马赫曾德尔干涉仪(1)、第二马赫曾德尔干涉仪(2)及第三马赫曾德尔干涉仪(3)，所述第一马赫曾德尔干涉仪的两个输出端通过连接波导(4)分别与所述第二马赫曾德尔干涉仪的输入端及所述第三马赫曾德尔干涉仪的输入端相连构成二级滤波器级联结构，其中，
所述第一马赫曾德尔干涉仪(1)、所述第二马赫曾德尔干涉仪(2)及所述第三马赫曾德尔干涉仪(3)均包括分光器(10)、相移波导(20)及合束器(30)，其中，所述分光器(10)用于将输入光束进行50：50均匀分光，得到两路光束；所述相移波导(20)用于将所述两路光束中不同波长的光通过相位干涉输出两路特定相位波长的光；所述合束器(30)用于将所述两路特定相位波长的光进行合束，并分别输出至连接波导(4)。


2.根据权利要求1所述的基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器，其特征在于，所述分光器(10)及所述合束器(30)均为2×2多模干涉耦合器，所述2×2多模干涉耦合器包括两个输入锥形波导(101)、耦合区波导(102)及两个输出锥形波导(103)，所述两个输入锥形波导(101)及两个输出锥形波导(103)分别与所述耦合区波导(102)两端对称相连。


3.根据权利要求1所述的基于非等臂宽马赫曾德干涉仪的四通道粗波分复用器，其特征在于，所述相移波导(20)包括第一相移波导(210)及第二相移波导(220)，所述第一相移波导(210)包括依次首尾连接的第一锥形波导(201)、第二锥形波导(202)、宽条形直波导(204)、第三锥形波导(203)及第四锥形波导(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪良，赵至尊，杨林，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11