一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统技术方案

本发明专利技术公开一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统，包括激励信号源、可调电感以及双极性探头，激励信号源一端电性连接可调电感，可调电感另一端与双极性探头的左探头电性连接，激励信号源的另一端与双极性探头的右探头电性连接，左探头和右探头内嵌在探头架中；左探头和右探头的上端分别电性连接信号放大电路的输入端，信号放大电路电性连接低通滤波器的输入端，低通滤波器的输出端与数据处理器输入端连接，数据处理器输出端连接显示器；该器件具有结构简单紧凑、灵敏度高、成本低廉等优点。浓度探头尺寸微小，便于微机电系统集成，能够用于微细电解加工电解液微量浓度变化的测量，提高微细电解加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统
本专利技术属于传感器领域，尤其涉及一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统。
技术介绍
微细电解加工是利用电解加工技术，属于非接触式加工，理论上能够获得微米甚至纳米级的加工精度，可广泛应用于航空航天、军事、机器人和MEMS等多个领域。电解液种类及其浓度是电解加工最重要的工艺参数，由于电解液存在非线性特性，对其浓度测量较为复杂，而微细电解加工使用电解液浓度较低，需要很高的测量精度，因此，对电解加工电解液浓度的测量和控制并没有受到太多的学者关注。目前，液体浓度的测量在石油、煤矿、食品及环保等行业中有较为广泛的应用。市面上现有的离子浓度传感器大多只能检测单一离子浓度，且传感器结构庞大复杂，测量精度较低，难以适用于高精密微细电解加工中电解液离子浓度的测量。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的不足，提供一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统。为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统，包括激励信号源、可调电感以及双极性探本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统，包括激励信号源（2）、可调电感（1）以及双极性探头，所述激励信号源（2）一端电性连接可调电感（1），所述可调电感（1）另一端与双极性探头的左探头（4）电性连接，所述激励信号源（2）的另一端与双极性探头的右探头（5）电性连接，所述左探头（4）和右探头（5）内嵌在探头架（3）中；所述左探头（4）和右探头（5）的上端分别电性连接信号放大电路的输入端，所述信号放大电路电性连接低通滤波器的输入端，所述低通滤波器的输出端与数据处理器输入端连接，所述数据处理器输出端连接显示器。/n

【技术特征摘要】
1.一种双极式微型离子浓度传感器及其测量系统，包括激励信号源（2）、可调电感（1）以及双极性探头，所述激励信号源（2）一端电性连接可调电感（1），所述可调电感（1）另一端与双极性探头的左探头（4）电性连接，所述激励信号源（2）的另一端与双极性探头的右探头（5）电性连接，所述左探头（4）和右探头（5）内嵌在探头架（3）中；所述左探头（4）和右探头（5）的上端分别电性连接信号放大电路的输入端，所述信号放大电路电性连接低通滤波器的输入端，所述低通滤波器的输出端与数据处理器输入端连接，所述数据处理器输出端连接显示器。


2.根据权利要求1所述的一种双极式微...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵传军，许立忠，王冀鹏，黄天用，
申请(专利权)人：燕山大学，
类型：发明
国别省市：河北;13