【技术实现步骤摘要】
一种带有定位机构的长晶炉及装炉方法
本申请涉及一种带有定位机构的长晶炉及装炉方法，属于晶体生长领域。
技术介绍
目前在半导体长晶过程中，需要按照工艺要求将原料组件放置在长晶炉内的规定位置。现有技术中采用的方式为人工凭经验目测调整原料组件，将原料组件放置在大致要求位置，再通过手持测距尺调整原料组件的水平相对位置完成操作。现有技术需要反复多次调整、测量，操作繁琐，工作效率低，人工成本大；同时工作精度低，测量误差大，无法满足严格的工艺要求，从而影响所制备的晶体的质量。
技术实现思路
为了解决上述问题，本申请提出了一种带有定位机构的长晶炉及装炉方法，通过设置调水平组件提供了水平基准，以使定位机构水平放置在长晶炉体开口上方；通过设置支撑件连接调水平组件和光源组件以使光源形成的光束基于同一水平面，准确地在目标位置形成光圈；通过光源组件形成的光圈定位原料组件的位置，以使原料组件准确放置在目标位置；使用该定位机构一次操作即可将原料组件准确放置在目标位置，工作精度高，测量误差小，能够满足严格的工艺要求；该装炉方法易...
【技术保护点】
1.一种长晶炉的装炉方法，其特征在于，其包括下述步骤：/n提供原料组件和长晶炉，所述长晶炉包括定位机构和长晶炉体，所述定位机构包括调水平组件、光源组件和支撑件，所述调水平组件和所述光源组件分别与所述支撑件连接；/n根据所述调水平组件的结果调整所述支撑件水平安装在长晶炉体的开口上方，所述光源组件中的光源形成的光束自所述开口进入所述长晶炉体内并在目标位置形成光圈，所述原料组件经所述长晶炉体的底部开口移动至所述长晶炉体内的光圈形成的目标位置，装炉完成。/n
【技术特征摘要】
1.一种长晶炉的装炉方法，其特征在于，其包括下述步骤：
提供原料组件和长晶炉，所述长晶炉包括定位机构和长晶炉体，所述定位机构包括调水平组件、光源组件和支撑件，所述调水平组件和所述光源组件分别与所述支撑件连接；
根据所述调水平组件的结果调整所述支撑件水平安装在长晶炉体的开口上方，所述光源组件中的光源形成的光束自所述开口进入所述长晶炉体内并在目标位置形成光圈，所述原料组件经所述长晶炉体的底部开口移动至所述长晶炉体内的光圈形成的目标位置，装炉完成。
2.根据权利要求1所述的长晶炉的装炉方法，其特征在于，将所述原料组件放置于升降台后自所述长晶炉体底部开口上升至长晶炉内的目标高度位置；
根据光束在升降台顶面或置于升降台上的下盖顶面形成的光圈调整所述原料组件，以至所述原料组件的径向横截面与所述光圈重合，即将所述原料组件调整至所述目标位置。
3.一种带有定位机构的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉包括定位机构和长晶炉体；
所述定位机构包括调水平组件、光源组件和支撑件，所述调水平组件和所述光源组件分别与所述支撑件连接；所述调水平组件调整所述支撑件水平安装在长晶炉体的开口上方，所述光源组件中的光源形成的光束自所述开口进入所述长晶炉体内并在目标位置形成光圈，以定位原料组件的位置；
所述支撑件搭接在所述长晶炉体的顶部开口，所述原料组件经所述长晶炉体的底部开口放置在所述长晶炉体内。
4.根据权利要求3所述的长晶炉，其特征在于，所述支撑件为平面板状结构，所述支撑件搭接在所述长晶炉体的开口上方，所述光源组件连接在所述支撑件的底面，所述调水平组件连接在所述支撑件的顶面...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈安宇，李钊，张耀文，张亮，湛希栋，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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