一种多重过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于剥离液生产设备领域，特别涉及一种多重过滤装置，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。

【技术实现步骤摘要】
一种多重过滤装置
本技术属于剥离液生产设备领域，特别涉及一种多重过滤装置。
技术介绍
随着国内半导体，液晶面板及光电产业的持续发展，带动了相关所用化学品的发展；剥离液是在半导体及液晶面板等领域常用的化学品，在电子化学品制备领域的关键在于控制并达到其所要求的含杂质量和颗粒度；在剥离液生产过程中会通过过滤工序去除一部分的杂质，在现有的过滤装置中存在过滤不彻底的问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决现有技术的上述问题，本技术提供一种过滤彻底的多重过滤装置。(二)技术方案为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：一种多重过滤装置，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。上述的多重过滤装置中，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表。上述的多重过滤装置中，所述第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀。上述的多重过滤装置中，还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接。上述的多重过滤装置中，所述第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀。(三)有益效果本技术的有益效果是：通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。附图说明图1为本技术多重过滤装置的结构示意图。【附图标记说明】1：剥离液装置；2：第一球阀；3：第二球阀；4：第一过滤装置；5：第二过滤装置；6：第三过滤装置；7：第四过滤装置；8：废水缓存罐；9：液位控制阀；10：第一回流泵；11：第二回流泵；12：超纯水装置；13：压力表；14：第三球阀；15：第四球阀；16：第五球阀；17：第六球阀；18：第七球阀；19：流量阀；20：第一止回阀；21：第二止回阀。具体实施方式为了更好的解释本技术技术，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本技术技术作详细描述。本技术最关键的构思在于：通过设置多个过滤装置，且相互相连接，设置废水缓存装置、超纯水装置、第一球阀和第二球阀。请参照图1所示，一种多重过滤装置，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。本技术所述的多重过滤装置的工作原理：各个球阀在初始状态为关闭状态，首先开启剥离液装置后，再开启第一球阀，将剥离液输送至第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行过滤，过滤出的废水输送至废水缓存罐中，过滤工序完成后的剥离液输送至装置外；开启第一回流泵和第二回流泵将脱重塔中的剥离液，再开启第二球阀，打回第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行过滤后输送出装置外；完成过滤工序后，开启超纯水装置，超纯水装置中的水分打入第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行清理后再排出装置外。从上述描述可知，通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。进一步的，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表。从上述描述可知，通过在第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表，有利于检测第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置内的压力状态。进一步的，所述第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀。从上述描述可知，通过在第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀，有利于控制剥离液的流动状态。进一步的，还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接。从上述描述可知，通过还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接，有利于检测管道内的流量状态。进一步的，所述第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀。从上述描述可知，通过在第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀，有利于防止剥离液倒流。请参照图1所示，本技术的实施例一为：一种多重过滤装置，包括剥离液装置1、第一球阀2、第二球阀3、第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6、第四过滤装置7、废水缓存罐8、液位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多重过滤装置，其特征在于，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种多重过滤装置，其特征在于，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。


2.根据权利要求1所述的多重过滤装置，其特征在于，所述第一过滤装置、第二过滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：林秋玉，吴宏俊，
申请(专利权)人：福建钰融科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35