一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备，包括反应装置，所述反应装置为密闭容器且连接有进气管路、循环管路，其特征在于，所述反应装置上还连接有稳压管路，所述稳压管路包括用于收集所述反应装置内杂质气体的集气管路、用于排出所述集气管路中收集的杂质气体的泄压装置，所述集气管路上还设置有用于检测集气管路气压的气压检测模组，所述集气管路中气压较大时所述气压检测模组将所述泄压装置启动。气液二相物质反应时存在的杂质气体能够及时的通过集气管路排出，且由于气压检测模组可以根据气压大小控制泄压装置的启闭，从而能够及时调节反应装置内的气压大小，维持气压稳定，有利于反应进行，提高反应转化率，提高产能。

【技术实现步骤摘要】
一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备
本技术涉及光伏臭氧清洗
，尤其涉及一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备。
技术介绍
随着光伏电池转化效率的逐步提高，对制程过程的洁净度要求也越来越高。目前在光伏湿法清洗中，一般采用HF+HCL或RCA清洗来清洗金属杂质和对硅片脱水，但HF+HCL清洗不能很好的去除一些有机污染，而RCA清洗法中的双氧水具有不稳定性，很难达成量产的状态。臭氧水是臭氧气体和水的混合液体，臭氧是氧气的同素异形体，具有极强的氧化性，其水溶液尤其对有机脏污具有很好的清洗能力，在污水处理、医疗、环保、光伏、半导体等领域具有非常广泛的应用。以往在污水处理等方向上运用臭氧水时对其浓度的要求不是很高，随着近年的技术进步和市场推广，臭氧水清洗工艺在光伏、半导体等产品的生产工艺上表现出优异的清洗效果，因此利用臭氧可实时制备的便利性，用臭氧清洗工艺代替RCA工艺，减少氨氮排放及双氧水的消耗量。至于臭氧清洗工艺，目前常规使用的臭氧药液混合制备装置是采用文丘里混合器混合循环系统，依靠文丘里混合器把臭氧发生器产生的臭氧混合气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液反应体系的稳压循环系统，包括反应装置，所述反应装置为密闭容器且连接有进气管路(2)、循环管路，其特征在于，所述反应装置上还连接有稳压管路，所述稳压管路包括用于收集所述反应装置内杂质气体的集气管路、用于排出所述集气管路中收集的杂质气体的泄压装置，所述集气管路上还设置有用于检测集气管路气压的气压检测模组，所述集气管路中气压较大时所述气压检测模组将所述泄压装置启动。/n

【技术特征摘要】
1.一种气液反应体系的稳压循环系统，包括反应装置，所述反应装置为密闭容器且连接有进气管路(2)、循环管路，其特征在于，所述反应装置上还连接有稳压管路，所述稳压管路包括用于收集所述反应装置内杂质气体的集气管路、用于排出所述集气管路中收集的杂质气体的泄压装置，所述集气管路上还设置有用于检测集气管路气压的气压检测模组，所述集气管路中气压较大时所述气压检测模组将所述泄压装置启动。


2.根据权利要求1所述的一种气液反应体系的稳压循环系统，其特征在于，所述集气管路包括插接于所述反应装置内的集气管(5)、与所述集气管(5)连通并位于反应装置外部的液位管(6)，所述气压检测模组安装于所述液位管(6)上。


3.根据权利要求2所述的一种气液反应体系的稳压循环系统，其特征在于，所述液位管(6)的一端与所述反应装置连通，另一端与所述集气管(5)的顶端连通，所述气压检测模组包括至少两个安装于所述液位管(6)上的液位测量装置。


4.根据权利要求2所述的一种气液反应体系的稳压循环系统，其特征在于，所述集气管路上还设置有反吹管路(8)，所述反吹管路(8)一端连接有压缩空气进口。


5.根据权利要求1所述的一种气液反应体系的稳压循环系统，其特征在于，所述进气管路(2)的一端连接气源，另一端连通所述反应装置的进气口，且所述进气管路(2)上沿进气路径依次设有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，申斌，田源，李雄朋，范生刚，任金枝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32