一种具有自动定位的MEMS陀螺仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，包括自动定位MEMS陀螺仪本体，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的内顶侧开设有内定位槽，所述内定位槽的嵌入连接有内盖板，所述内盖板的顶端固定连接有导热板，所述导热板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端边缘处固定连接有散热侧板，所述散热侧板的外表面均匀设置有若干散热鳍片。本实用新型专利技术中，在自动定位MEMS陀螺仪本体运行时，其内部的热量通过内盖板上的导热板传递至均热盖板上，均热盖板上的热量会将热量传递至与其接触的壳体上，同时均热盖板上剩余的热量会逐渐散向散热侧板上的散热鳍片，散热鳍片在与空气接触的过程中将热量通过空气导出，进而提升了该自动定位MEMS陀螺仪本体的散热能力。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自动定位的MEMS陀螺仪
本技术涉及MEMS陀螺仪
，尤其涉及一种具有自动定位的MEMS陀螺仪。
技术介绍
微机械MEMS是英文MicroElectroMechanicalsystems的缩写，即微电子机械系统，微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统，这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动，它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统，微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响，它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科；公开号为CN21060本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，包括自动定位MEMS陀螺仪本体；其特征在于，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的内顶侧开设有内定位槽，所述内定位槽的嵌入连接有内盖板，所述内盖板的顶端固定连接有导热板，所述导热板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端边缘处固定连接有散热侧板，所述散热侧板的外表面均匀设置有若干散热鳍片，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的外侧壁对应散热侧板的位置开设有外定位槽，且散热侧板与外定位槽之间嵌入连接，所述外定位槽与散热侧板的底侧缝隙处填充有防水胶。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，包括自动定位MEMS陀螺仪本体；其特征在于，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的内顶侧开设有内定位槽，所述内定位槽的嵌入连接有内盖板，所述内盖板的顶端固定连接有导热板，所述导热板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端边缘处固定连接有散热侧板，所述散热侧板的外表面均匀设置有若干散热鳍片，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的外侧壁对应散热侧板的位置开设有外定位槽，且散热侧板与外定位槽之间嵌入连接，所述外定位槽与散热侧板的底侧缝隙处填充有防水胶。


2.根据权利要求1所述的一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述内盖板的底端边缘处固定连接有防护...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑林，郑小艳，
申请(专利权)人：无锡云汉物联网科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32