一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池及其制备方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池技术领域，针对N型Topcon电池电极成本高及光电转化效率低的问题，公开了提供一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池及其制备方法，电池正面设有正面银主栅和正面铝细栅，电池背面设有背面银主栅和背面铝细栅；上述电池的制备方法：制绒→B扩散→去BSG→碱抛光→背面LPCVD沉积隧穿氧化层和多晶硅层→背面P扩散→去PSG→去绕镀→正面AlO

【技术实现步骤摘要】
一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池及其制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
，尤其是涉及一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池及其制备方法。
技术介绍
Topcon太阳能电池（隧穿氧化层钝化接触，TunnelOxidePassivatedContact）是一种使用超薄氧化层作为钝化层结构的太阳电池。其中，N型Topcon电池在结构上，基体为N型Si，正面通过B扩散的方式得到P+掺杂层，并在正面通过ALD或是PECVD的方式沉积对应的AlOx/SiNx钝化介质膜；在背面通过LPCVD的方式沉积隧穿氧化层和多晶硅，并通过原位P掺杂或是本征P扩散的方式得到N+掺杂层；正背面通常采用丝网印刷的方式得到对应的金属电极，正面使用银铝浆，背面使用银浆；一方面相比于P型PERC电池，N型Topcon电池背面采用银浆，虽然能保证较高的双面率，但同时增加了电池的制造成本，因此为了同时满足N型Topcon电池提效和降本的原则，背面应尽可能减少银浆的使用；另一方面也应尽可能降低电池正面银浆的使用，才能较PERC电池在成本和效率上占据绝对的优势。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池的制备方法，其特征是，电池包括N型衬底（1），N型衬底（1）正面由内向外依次设有P型掺杂区层（6）、AlO

【技术特征摘要】
1.一种具有双面铝浆电极的N型Topcon电池的制备方法，其特征是，电池包括N型衬底（1），N型衬底（1）正面由内向外依次设有P型掺杂区层（6）、AlOx层（7）及SiNxHy层（8），N型衬底（1）的背面由内向外依次设有隧穿氧化层（9）、N型掺杂多晶硅层（10）及SiNxHy层（8），正面所述SiNxHy层（8）上设有正面银主栅（2）和正面铝细栅（3），背面所述SiNxHy层（8）上设有背面银主栅（4）和背面铝细栅（5）；上述电池的制备方法为：制绒→B扩散→去BSG→碱抛光→背面LPCVD沉积隧穿氧化层和多晶硅层→背面P扩散→去PSG→去绕镀→正面AlOx层和SiNxHy层沉积→背面SiNxHy沉积→正/背面UV激光消融→丝网印刷。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征是，包括如下具体制备步骤：
A、金属化前的N型双面电池制备，采用N型单晶硅片为基底，N型硅片的正面依次通过B扩散形成P型掺杂区层，PECVD的方式沉积AlOx层及SiNxHy层，在N型硅片的背面依次通过LPCVD的方式沉积隧穿氧化层和多晶硅层，通过P扩散形成N型掺杂多晶硅层，PECVD沉积SiNxHy层；
B、在电池的正表面使用UV激光消融去除部分AlOx层及SiNxHy层钝化介质膜；在电池的背面使用UV激光消融去除部分SiNxHy层钝化介质膜；
C、在电池的正表面使用铝浆印刷烧结形成局部接触点H型正面铝细栅线电极，正面银主栅采用分段式设计，正面银主栅分布于铝细栅线中，正面铝细栅根数为106-122，宽度为25-40um，高度为10-25um；正面银主栅每段长度为2-8mm，宽0.1-2mm，高4-8um，根数为5-12；
D、在电池的背面使用弱烧穿型铝浆印刷烧结形成局部接触点H型背面铝细栅线电极，背面铝细栅根数为...

【专利技术属性】
技术研发人员：丰明璋，何胜，徐伟智，
申请(专利权)人：浙江正泰太阳能科技有限公司，海宁正泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33