一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，包括真空腔体，所述真空腔体内安装有红外探测器，所述真空腔体的腔壁上开设有信号传输窗口，所述信号传输窗口的内侧安装有内无线通信模块，所述所述信号传输窗口的外侧安装有与内无线通信模块配合传输的外无线通信模块；所述内无线通信模块与红外探测器信号传输连接；所述外无线通信模块与控制器信号传输连接。

【技术实现步骤摘要】
一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件
本技术涉及一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件。
技术介绍
随着科学技术的发展，世界各地许多科学家都在积极开展新材料尤其是薄膜材料的研究。薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因：(1)现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多材料组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段；(2)器件的微小型化不仅可以保持器件原有的功能并使之更加强化，而且随着器件的尺寸减小并接近了电子或其他粒子量子化运动的微观尺度，薄膜材料或其器件将显示出许多全新的物理现象。薄膜技术作为器件微型化的关键技术，是制备这类具有新型功能器件的有效手段；(3)薄膜技术作为材料制备的有效手段，可以将各种不同材料灵活地复合在一起，构成具有优异特性的复杂材料体系，发挥每种材料各自的优势，避免单一材料的局限性．薄膜材料学在科学技术以及国民经济的各个领域发挥着越来越大的作用。而薄膜材料是通过超高真空薄膜制备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体底部设置有坩埚，所述坩埚上方设置有旋转伞架，所述旋转伞架上均布有多个基板；/n所述坩埚的侧上方设置有电子枪，所述电子枪加热端朝向坩埚方向；/n所述真空腔体内安装有红外探测器，所述真空腔体的腔壁上开设有信号传输窗口，所述信号传输窗口的内侧安装有内无线通信模块，所述信号传输窗口的外侧安装有与内无线通信模块配合传输的外无线通信模块；/n所述内无线通信模块与红外探测器信号传输连接；所述外无线通信模块与控制器信号传输连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体底部设置有坩埚，所述坩埚上方设置有旋转伞架，所述旋转伞架上均布有多个基板；
所述坩埚的侧上方设置有电子枪，所述电子枪加热端朝向坩埚方向；
所述真空腔体内安装有红外探测器，所述真空腔体的腔壁上开设有信号传输窗口，所述信号传输窗口的内侧安装有内无线通信模块，所述信号传输窗口的外侧安装有与内无线通信模块配合传输的外无线通信模块；
所述内无线通信模块与红外探测器信号传输连接；所述外无线通信模块与控制器信号传输连接。


2.如权利要求1所述的基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：所述红外探测器设置在旋转伞架的上方。


3.如权利要求2所述的基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：所述真空腔体为一体成型的钢制罐体，所述信号传输窗口为石英玻璃窗，所述石英玻璃窗外缘与钢制罐体密封连接。


4.如权利要求3所述的基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：所述信号传输窗口为外凸型窗口，所述内无线通信模块设置在外凸型窗口内。


5.如权利要求4所述的基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：所述内无线通信模块设置有多个，均设置在外凸型窗口内。


6.如权利要求1所述的基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，其特征在于：所述旋转伞架上方设置有与旋转伞架弧度相适配的弧形导轨，所述弧形导轨上方设置有驱动丝杆，所述驱动丝杆与驱动组...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌，刘亮，
申请(专利权)人：合肥邦诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34