一种降低多弧铬靶生产成本的方法技术

本发明专利技术提供一种降低多弧铬靶生产成本的方法，包括以下步骤：步骤一、准备好20号钢包套；步骤二、制备密度比铬粉振实密度高10%的304不锈钢屑压块，通过液压机，将纯净干燥的304不锈钢屑压制成密度为4.62g/cm

【技术实现步骤摘要】
一种降低多弧铬靶生产成本的方法
本专利技术属于粉末冶金领域，特别涉及一种可以显著降低多弧铬靶加工成本的方法。
技术介绍
多弧离子镀膜技术是采用阴极电弧蒸发源的一种离子镀技术。从19世纪美国专利技术家爱迪生提出利用真空电弧进行镀膜的设想并申请美国专利，到20世纪80年代后，我国引进大量设备和技术，多弧离子镀获得了迅速的发展。多弧离子镀的基本组成包括真空镀膜室、阴极弧源、基片、负偏压电源，真空系统。其中阴极弧源是多弧离子镀的核心，它所产生的金属等离子体自动维持阴极和镀膜室之间的弧光放电。微小的弧斑在阴极靶面迅速徘徊，弧斑电流密度很大，达到105~107A/cm2，电压为20V左右。由于微弧能量密度非常大，弧斑发射金属蒸气流的速度可以达到108m/s，阴极靶本身既是蒸发源，又是离化源。外加磁场可以改变阴极弧斑在阴极靶面的移动速度，并且使得弧斑均匀和细化，以达到阴极靶面均匀烧蚀，延长靶材的使用寿命。阴极弧斑高的能流密度，在阴极表面上形成微小熔池，导致阴极靶材剧烈蒸发。热发射和场致发射共同导致电子发射，而且电子被阴极表面的强电场加速，以极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种降低多弧铬靶生产成本的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一、准备好20号钢包套；/n步骤二、制备密度比铬粉振实密度高10%的304不锈钢屑压块，通过液压机，将纯净干燥的304不锈钢屑压制成密度为4.62g/cm

【技术特征摘要】
1.一种降低多弧铬靶生产成本的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、准备好20号钢包套；
步骤二、制备密度比铬粉振实密度高10%的304不锈钢屑压块，通过液压机，将纯净干燥的304不锈钢屑压制成密度为4.62g/cm3的压块；
步骤三、将步骤一中钢包套的最底层放入步骤二中制成的304不锈钢屑压块，然后将计算好重量的铬粉和304不锈钢屑压块交替装入钢包套，钢包套的最上层也放入304不锈钢屑压块；
步骤四、真空脱气：在温度为450℃，真空度小于2*10-3Pa条件下，对步骤三中获得的钢包套进行脱气，直至钢包套内部气体脱除彻底，保温结束后，用氧乙炔火焰三道封焊脱气管，确保气体不再进入钢包套内部；
步骤五、热等静压：将步骤四中封焊好的钢包套送入热等静压机，进行热等静压；
步骤六、机加工成品：经过步骤五的热等静压之后的钢包套，其外表面会显现规律的凸起，即为304不锈钢屑压块的位置，在此位置进行锯切，然后进行成品机加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭凌剑，彭方平，彭夏元，
申请(专利权)人：江苏应用元素科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32