一种磷烷尾气回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于尾气处理装置技术领域，尤其为一种磷烷尾气回收装置，包括底座、壳体、稀释仓和进气管，所述壳体固定连接在底座上表面，所述底座共有四个，并且排列在壳体下表面，所述稀释仓开设在壳体内部，所述进气管固定连接在稀释仓上表面，所述进气管上端固定连接有第一导气管，所述第一导气管的表面设置有第一阀门，所述壳体侧面固定连接有支撑台；本实用新型专利技术，通过设置限位杆、弹簧和卡槽，当人们氮气罐进行固定时，人们需要拉动把手，从而得以将限位杆拉入限位槽中，然后将氮气罐搭接在定位槽中，然后将把手松开，在弹簧的作用下从而得以将限位杆推出限位槽中，并且与开设在氮气罐表面的卡槽相卡接，从而实现对氮气罐进行固定的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种磷烷尾气回收装置
本技术属于尾气处理装置
，具体涉及一种磷烷尾气回收装置。
技术介绍
电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体，由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体，在充装前需要对残余气体进行处理置换，由于磷烷气体属于剧毒品，排放需小于0.3mg/m3，工业上通常采用燃烧法进行处理，实际吸收效果并不理想，仍有部分磷烷气体进入空气中,为解决以上问题，我们推出了以下装置。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种磷烷尾气回收装置，具有结构简单，操作便捷，并且具有方便使用的特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磷烷尾气回收装置，包括底座、壳体、稀释仓和进气管，所述壳体固定连接在底座上表面，所述底座共有四个，并且排列在壳体下表面，所述稀释仓开设在壳体内部，所述进气管固定连接在稀释仓上表面，所述进气管上端固定连接有第一导气管，所述第一导气管的表面设置有第一阀门，所述壳体侧面固定连接有支撑台，所述支撑台上表面固定连接有限位台，所述限位台上表面开设有定位槽，所述定位槽内部搭接有氮气罐，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磷烷尾气回收装置，包括底座（1）、壳体（2）、稀释仓（3）和进气管（4），其特征在于：所述壳体（2）固定连接在底座（1）上表面，所述底座（1）共有四个，并且排列在壳体（2）下表面，所述稀释仓（3）开设在壳体（2）内部，所述进气管（4）固定连接在稀释仓（3）上表面，所述进气管（4）上端固定连接有第一导气管（5），所述第一导气管（5）的表面设置有第一阀门（6），所述壳体（2）侧面固定连接有支撑台（7），所述支撑台（7）上表面固定连接有限位台（8），所述限位台（8）上表面开设有定位槽（9），所述定位槽（9）内部搭接有氮气罐（10），所述氮气罐（10）上端设置有快速连接器（17），所述快速连接...

【技术特征摘要】
1.一种磷烷尾气回收装置，包括底座（1）、壳体（2）、稀释仓（3）和进气管（4），其特征在于：所述壳体（2）固定连接在底座（1）上表面，所述底座（1）共有四个，并且排列在壳体（2）下表面，所述稀释仓（3）开设在壳体（2）内部，所述进气管（4）固定连接在稀释仓（3）上表面，所述进气管（4）上端固定连接有第一导气管（5），所述第一导气管（5）的表面设置有第一阀门（6），所述壳体（2）侧面固定连接有支撑台（7），所述支撑台（7）上表面固定连接有限位台（8），所述限位台（8）上表面开设有定位槽（9），所述定位槽（9）内部搭接有氮气罐（10），所述氮气罐（10）上端设置有快速连接器（17），所述快速连接器（17）上端设置有氮气导管（18），所述氮气导管（18）与氮气罐（10）通过快速连接器（17）固定连接，所述氮气导管（18）表面固定连接有第二阀门（19），所述氮气导管（18）穿设在稀释仓（3）内，所述氮气导管（18）的另一端固定连接有喷头（20），所述壳体（2）内部开设有导气仓（21），所述导气仓（21）内部固定连接有抽气扇（22），所述抽气扇（22）的侧面固定连接有第二导气管（23），所述第二导气管（23）的另一端穿设在稀释仓（3）内部，所述壳体（2）内部开设有回收仓（24），所述回收仓（24）表面穿设有第三导气管（26），所述第三导气管（26）的另一端穿设在导气仓（21）内部，所述回收仓（24）内部储存有碱液（25），所述第三导气管（26）的另一端穿设在碱液（25）液面以下，所述碱液（25）为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管（26）的材质为耐腐蚀材质，所述回收仓（24）...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，胡超群，林海宁，罗龙，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35