【技术实现步骤摘要】
一种用于废气净化导管中的结块清除装置及其使用方法
本专利技术涉及电子半导体加工
，属于芯片制造相关装备，特别是涉及一种用于芯片制造工艺废气净化导管中的结块清除装置及其使用方法。
技术介绍
在芯片制造、封装测试等电子半导体行业的制造工艺过程中，例如气相化学沉积(CVD)、磊晶(Epitaxy)、半导体化合物(CompoundSemiconductor)等工艺。会有大量的容易自燃的工艺气体产生。该类工艺气体中，典型的如硅烷，硼烷，三甲基铝等，其与空气中的氧气极其容易氧化。被空气中的氧气氧化后，直接生成二氧化硅，氧化硼，三氧化二铝等颗粒粉末。颗粒物粉末在工艺尾气进口处即与空气/氧气混合处容易挂壁在管壁上，并集聚。并且容易形成对工艺尾气管路入口处的堵塞。对工艺尾气处理系统的安全平稳运行造成负面影响。有粉末集聚和堵塞的情况发生时，导致进入氧化的工艺尾气流量逐渐较少，并最终形成对前端正常的生产活动产生负面影响。甚至会对安全生产产生威胁。由此，对一般的自燃工艺尾气处理装置的运行，均需要人工定期维护和清理进口管路系统，以此避免...
【技术保护点】
1.一种用于废气净化导管中的结块清除装置，包括氧化室、进气组件和引风机，其特征在于，所述氧气室内安装有过滤器，所述过滤器内部安装有气管，所述气管穿过所述氧气室向上通向氧气室外部，所述气管上端安装有所述引风机，所述气管一侧的所述氧气室上安装有清除装置，所述清除装置包括控制器、切换阀、气缸和导杆，所述控制器与所述切换阀连接，所述切换阀与所述气缸连接，所述气缸上设置有导杆，所述导杆上连接有挡板，所述导杆安装于进气装置内，所述进气装置包括立管和进气管，所述立管一侧设置有进气孔，所述进气孔与所述进气管成夹角固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于废气净化导管中的结块清除装置，包括氧化室、进气组件和引风机，其特征在于，所述氧气室内安装有过滤器，所述过滤器内部安装有气管，所述气管穿过所述氧气室向上通向氧气室外部，所述气管上端安装有所述引风机，所述气管一侧的所述氧气室上安装有清除装置，所述清除装置包括控制器、切换阀、气缸和导杆，所述控制器与所述切换阀连接，所述切换阀与所述气缸连接，所述气缸上设置有导杆，所述导杆上连接有挡板，所述导杆安装于进气装置内，所述进气装置包括立管和进气管，所述立管一侧设置有进气孔，所述进气孔与所述进气管成夹角固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述挡板包括上挡圈和下挡板，所述上挡圈安装于所述下挡板的边沿处，所述下挡板中心位置安装有旋转管，所述旋转管内安装有转轴，所述转轴与旋转清理装置转动连接，所述旋转清理装置安装于所述导杆上。
3.根据权利要求2所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述下挡板包括外圈、内圈、筋、固定孔和透气孔，所述外圈与所述内圈通过所述筋连接，所述内圈上设置有固定孔，所述外圈与所述内圈、筋之间形成透气孔。
4.根据权利要求2所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述旋转清理装置包括旋转电机和旋转盘，所述旋转盘固定于所述旋转电机上，所述旋转盘延伸于所述上挡板与所述上挡圈之间的边沿处。
5.根据权利要求3所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述旋转盘包括多个旋转板，多个所述旋转板通过外围圈连接，所述外围圈一侧安装有金属刷，所述金属刷固定于所述外圈一侧周圈上。
6.根据权利要求2或5所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述透气孔的形状与所述旋转板的形状相同。
7.根据权利要求3所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述筋上安装有通电线圈，所述通电线圈安装于所述筋上端面。
8.根据权利要求5所述的一种用于废气净化导管中的结块清除装置，其特征在于，所述旋转板的形状为鸟翼型。
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【专利技术属性】
技术研发人员：王成林，杨少康，
申请(专利权)人：瑞燃上海环境工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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