【技术实现步骤摘要】
一种制备均匀薄膜的复合涂布装置及方法
本公开涉及涂布设备领域，特别涉及一种制备均匀薄膜的复合涂布装置及方法。
技术介绍
本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的
技术介绍
，并不必然构成现有技术。旋转涂覆和刮涂为常用的涂料涂布方式。匀胶机又称为旋涂机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机﹑旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机。匀胶机适用于微电子、半导体、制版﹑新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关,可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用；刮涂机又称为刮刀涂膜机，是指将涂料施工于基底上的一道或多道涂层所形成的固态连续膜的机器。专利技术人发现，旋涂法具备薄膜厚度精确可控、高性价比、节能、低污染等优势，但是由于表面张力的作用，旋涂法制备的薄膜边缘不均匀，会出现咖啡环效应。同时由于旋涂方法本身的限制，难以制备大面积均匀薄膜；刮涂法能够精确控制湿...
【技术保护点】
1.一种制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，包括相对设置的旋转台和刮平件，刮平件中部通过弹性件悬吊在机架上，刮平件远离旋转台的一侧的两端分别抵接有调节机构，用于改变刮平件与旋转台的间距，旋转台转动安装在机架上，并连接驱动机构，用于带动旋转台相对于刮刀转动。/n
【技术特征摘要】
1.一种制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，包括相对设置的旋转台和刮平件，刮平件中部通过弹性件悬吊在机架上，刮平件远离旋转台的一侧的两端分别抵接有调节机构，用于改变刮平件与旋转台的间距，旋转台转动安装在机架上，并连接驱动机构，用于带动旋转台相对于刮刀转动。
2.如权利要求1所述的制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，所述机架上安装有供料机构，供料机构包括供料缸和导管，导管一端连通供料缸，另一端作为输出端朝向旋转台。
3.如权利要求1所述的制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，所述机架上设有工作腔，工作台、刮平件均位于工作腔内。
4.如权利要求1所述的制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，所述旋转台设有朝向刮平件的工作台，工作台远离刮平件的一侧设有控温机构，另一侧朝向刮平件，用于承载基底。
5.如权利要求4所述的制备均匀薄膜的复合涂布装置，其特征在于，所述工作台连接有吸附机构，吸附机构包括气源和吸管，吸管一端连通气源，另一端连接工作台，用于吸附基底。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张成鹏，季金，梁允豪，杨少华，辛宜荣，窦建淇，邹斌，王继来，史振宇，赵国庆，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：山东;37
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