一种半导体测试机装置制造方法及图纸

技术编号:27904107 阅读:39 留言:0更新日期:2021-03-31 04:29
本实用新型专利技术公开了一种半导体测试机装置,包括箱体,所述箱体内设置有探针和底座,所述底座与箱体固定连接,所述底座的两侧对称设置有第一限位装置和第二限位装置,所述底座的一侧设置有滑动板,所述滑动板的一侧设置有垫板,所述垫板与滑动板固定连接,所述垫板的一侧设置有第二橡胶垫,所述第二橡胶垫固定连接有第二横板,所述第二横板与垫板固定连接,所述垫板的一侧设置有第一横板,所述第一横板的一侧固定连接有第一橡胶垫,所述第一横板的另一侧固定连接有把手,所述第一横板的两侧对称设置有第二伸缩装置和第一伸缩装置,以上部件的配合使用能实现对被检测芯片的限位,避免探针与芯片接触时产生位移,避免针尖划伤芯片表面。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试机装置
本技术涉及一种测试机装置,具体是一种半导体测试机装置。
技术介绍
芯片是一种将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路,集成电路芯片的测试分类包括:晶圆测试、芯片测试和封装测试,芯片测试是在晶圆经过切割、减薄工序,成为一片片独立的片之后的测试,其一般是将芯片放在测试平台上,用探针探到芯片中事先确定的测试点,探针上可以通过直流电流和交流信号,可以对其进行各种电气参数测试。在对芯片进行检测的过程中需要对芯片进行放置固定,以便后续进行测试,芯片在测试过程中,测试探针接触芯片后形成固定支点,芯片往往会随机跳动,导致探针存在偏移,不仅影响测试效率,同时针尖容易划伤芯片表面。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体测试机装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体测试机装置,包括箱体,所述箱体内设置有探针和底座,所述底座与箱体固定连接,所述底座的两侧对称设置有第一限位装置和第二限位装置,所述底座的一侧设置有滑动板,所述滑动板的一侧设置有垫板,所述垫板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体测试机装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内设置有探针(2)和底座(6),所述底座(6)与箱体(1)固定连接,所述底座(6)的两侧对称设置有第一限位装置(8)和第二限位装置(14),所述底座(6)的一侧设置有滑动板(12),所述滑动板(12)的一侧设置有垫板(20),所述垫板(20)与滑动板(12)固定连接,所述垫板(20)的一侧设置有第二橡胶垫(17),所述第二橡胶垫(17)固定连接有第二横板(18),所述第二横板(18)与垫板(20)固定连接,所述垫板(20)的一侧设置有第一横板(13),所述第一横板(13)的一侧固定连接有第一橡胶垫(16),所述第一横板(13)...

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试机装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内设置有探针(2)和底座(6),所述底座(6)与箱体(1)固定连接,所述底座(6)的两侧对称设置有第一限位装置(8)和第二限位装置(14),所述底座(6)的一侧设置有滑动板(12),所述滑动板(12)的一侧设置有垫板(20),所述垫板(20)与滑动板(12)固定连接,所述垫板(20)的一侧设置有第二橡胶垫(17),所述第二橡胶垫(17)固定连接有第二横板(18),所述第二横板(18)与垫板(20)固定连接,所述垫板(20)的一侧设置有第一横板(13),所述第一横板(13)的一侧固定连接有第一橡胶垫(16),所述第一横板(13)的另一侧固定连接有把手(4),所述第一横板(13)的两侧对称设置有第二伸缩装置(19)和第一伸缩装置(21)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体测试机装置,其特征在于:所述第二限位装置(14)包括丝杆(7)和支板(9),所述丝杆(7)外套设有支板(9),所述丝杆(7)与支板(9)螺纹连接,所述支板(9)与底座(6)固定连接,所述第一限位装置(8)和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:卞杰锋
申请(专利权)人:苏州全威电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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