一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了属于气体分离检测技术领域的一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置，所述装置包括测试系统、充气系统、真空系统和排气系统；测试系统包括样品室、热电偶和监测装置；充气系统包括储气罐、减压阀、针阀、压力计和缓冲罐，两个储气罐并联连接针阀，针阀通过连接管路固定连接样品室进气端；真空系统包括真空泵、球阀，可同时对充气系统和测试系统进行抽气；排气系统包括背压阀和阻火器，阻火器通过单向背压阀与样品室排气端相连。本实用新型专利技术可实现钯基气体分离膜气体选择系数的测定，设备操作简便，试样容易安装且便于多次测量。

【技术实现步骤摘要】
一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置
本技术属于气体分离纯化
，尤其涉及一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置。
技术介绍
钯基气体分离膜包括纯钯膜、钯合金膜和钯基复合膜，具有非常高的氢气选择透过性，广泛应用于催化、氢气分离与纯化及脱氢加氢反应等领域。特别是有些工业领域需要超纯氢气，例如半导体工业的MOCVD工艺，当然，如果分离膜有缺陷或膜的密封性不好，氢气的纯度就会下降。钯基气体分离膜气体选择系数通常用同温同压下不同气体渗透通量的比值(α)来表示，是分离膜致密度和纯化性能的重要评价依据。目前没有针对钯基气体分离膜气体选择系数的标准测试方法，现有的测试装置结构复杂、操作较繁复，且没有尾气安全排放装置，存在安全隐患。
技术实现思路
针对现有技术的上述问题，本技术基于气相渗透原理，提供了一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置，包括测试系统、充气系统、真空系统和排气系统；所述测试系统包括样品室12、热电偶11和监测装置；监测装置包括质量流量计16和转子流量计17，二者分别通过球阀III13和球阀IV14并联接入样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置，其特征在于，包括测试系统、充气系统、真空系统和排气系统；/n所述测试系统包括样品室(12)、热电偶(11)和监测装置；监测装置包括质量流量计(16)和转子流量计(17)，二者分别通过球阀III(13)和球阀IV(14)并联接入样品室(12)；/n样品室(12)的内腔(24)外围包裹水冷套(25)，两侧和顶端分别开通连接管路(20)，连接充气系统、真空系统和排气系统；热电偶(11)安装于样品室(12)内腔(24)；/n分离膜试样(19)底端焊接试样简底(26)，将其从样品室(12)顶端插入，采用样品室上法兰(21)、金属密封圈(22)、样品室下法兰(...

【技术特征摘要】
1.一种钯基气体分离膜的气体选择系数测试装置，其特征在于，包括测试系统、充气系统、真空系统和排气系统；
所述测试系统包括样品室(12)、热电偶(11)和监测装置；监测装置包括质量流量计(16)和转子流量计(17)，二者分别通过球阀III(13)和球阀IV(14)并联接入样品室(12)；
样品室(12)的内腔(24)外围包裹水冷套(25)，两侧和顶端分别开通连接管路(20)，连接充气系统、真空系统和排气系统；热电偶(11)安装于样品室(12)内腔(24)；
分离膜试样(19)底端焊接试样简底(26)，将其从样品室(12)顶端插入，采用样品室上法兰(21)、金属密封圈(22)、样品室下法兰(23)对分离膜试样(19)进行固定，并密封样品室(12)；
所述充气系统包括储气罐、减压阀、针阀(5)、压力计(9)及缓冲罐(10)，储气罐Ⅰ(1)和储气罐Ⅱ(2)分别与减压阀Ⅰ(3)和减压阀Ⅱ(4)串联，再并联连...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕琴丽，纪红，杨中元，邬小萍，杨宽，
申请(专利权)人：国合通用测试评价认证股份公司，
类型：新型
国别省市：北京;11